技術(shù)編號：6822610
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明背景1．本發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及包含供在集成電路中使用的薄膜鐵電體的方法與裝置。更具體地，鄰接鐵電薄膜分層的超晶格材料的光滑底電極結(jié)構(gòu)通過較少的印記與較長的存儲保持時間而改進鐵電電容器的存儲保持特征。2．對問題的概述薄膜鐵電材料用在各種非易失性隨機存取存儲器中。例如，頒布給Koike的美國專利No.5,600,587討論了采用由鐵電電容器與開關(guān)晶體管構(gòu)成的存儲單元的鐵電非易失性隨機存取存儲器。頒布給Omura的美國專利No.5,495,438討論了由并聯(lián)...
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