技術(shù)編號：6820797
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其是涉及通過去除由缺陷引起的短路電流通路，來制造具有優(yōu)異性能的光電元件的方法。近年來，隨著諸如太陽電池的光電元件的面積的增加，已經(jīng)開發(fā)出包括具有大面積的半導體膜例如非晶硅膜的多層光電元件。為了制造大面積的光電元件，連續(xù)處理技術(shù)例如輥到輥技術(shù)引人注目。但是，這種技術(shù)難以制造具有多層結(jié)構(gòu)而且在大面積上無缺陷的光電元件。例如在包括多個非晶硅等的層疊薄膜的光電元件的情形，半導體層淀積中的灰塵影響引起的針孔和缺陷容易導致分路和短路。已知這些分路和短路會...
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