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半導體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6820168

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本發(fā)明涉及半導體器件,特別涉及配有半導體存儲器的半導體器件,在構(gòu)成存儲器單元陣列的擴散層圖形中,存儲器在該擴散層的圖形密度低的區(qū)域配置形成虛擬(dummy)圖形。一般來說,在配備常規(guī)的半導體存儲器的半導體器件中,大多通過重復配置有同一形狀或同一尺寸的圖形,來構(gòu)成作為形成該半導體存儲器的存儲器單元陣列。作為其一例,圖3表示平面型掩模ROM的平面圖。圖3中,在半導體存儲器內(nèi)的存儲器單元部分11和存儲器單元部分13中,按同一線寬且等間隔地反復敷設的狀態(tài)配置N+擴...
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