技術(shù)編號：6818263
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基片對齊器設(shè)備。技術(shù)背景集成電路(IC)由半導(dǎo)體材料的基片(晶片)生產(chǎn)。在IC制造期間，晶片典型 地容納在盒內(nèi)且移動到處理站，在處理站處通過基片運(yùn)輸器將晶片從盒移除且放置在晶 片對齊器內(nèi)以實(shí)現(xiàn)對于進(jìn)一步晶片處理所希望的預(yù)先確定的定向。在常規(guī)對齊器中，基片運(yùn)輸器可以將晶片放置在晶片對齊器上且然后在晶片對 齊過程期間從對齊器移開。這由于在晶片對齊過程前和過程后的基片運(yùn)輸器延伸和收回 導(dǎo)致增加的晶片對齊時間。同樣，如果將晶片的對齊特征或基準(zhǔn)放置在例如對...
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