技術(shù)編號:6818247
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及TFT的制作,尤其涉及一種降低背溝道刻蝕型TFT漏電率的方法。 背景技術(shù)薄膜晶體管TFT(Thin Film Transistor)液晶顯示器在現(xiàn)代生活中有著廣泛的應(yīng) 用,如手機顯示屏、電腦的顯示器、MP3、MP4顯示屏等等,其中顯示畫面均勻、高解析度、無竄 擾等是高品質(zhì)TFT-LCD的關(guān)鍵要求,而與此有關(guān)的是TFT的電性參數(shù)-漏電流(Ioff),漏 電流是薄膜三極管TFT的一個重要電性參數(shù),若其過大,則影響TFT的開關(guān)特性,從而導(dǎo)致 TFT-I...
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