技術編號：6816748
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及低襯底損耗的集成電路(IC)中的電導體和制作這種導體的方法，特別涉及制作螺旋電感的方法以及集成電路電感。如今，在頻率范圍為1-2GHz的高速電子應用中使用的是增強型硅雙極型、CMOS型和BiCMOS型電路，它們取代了以前只能由元素周期表中Ⅲ-Ⅴ族材料制備的器件。當制作如諧振器和濾波器等模塊時，高頻電路通常需要電感元件。所有集成電路共有的一個問題是如何實現(xiàn)具有高品質因子Q和高工作頻率的集成電路電感，其中的工作頻率受諧振頻率的限制。品質因子，即Q值，...
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