技術(shù)編號(hào):6815926
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)在采用光刻技術(shù)的半導(dǎo)體的微制造中使用的抗蝕劑組合物含有樹(shù)脂。在專(zhuān)利文獻(xiàn)JP2006-276851-A中描述了一種具有下面的結(jié)構(gòu)單元的樹(shù)脂和一種含有該樹(shù)脂的化學(xué)放大型光致抗蝕劑組合物。權(quán)利要求1.一種樹(shù)脂,所述樹(shù)脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的結(jié)構(gòu)單元;2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹(shù)脂,其中由式(I)表示的化合物是由式(III)表示的化合物;3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樹(shù)脂,其中所述由式(I)表示的化合物是由式(IV)表示 的化合物;其...
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