技術(shù)編號(hào)：6815644
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及處理用于液晶顯示器件等的玻璃基板的。背景技術(shù) 在LCD(液晶顯示器)等的制造工序中，為了在LCD用的玻璃基板上形成ITO(氧化銦錫膜)的薄膜和電極圖形，而利用與用于半導(dǎo)體器件的制造同樣的光蝕法技術(shù)。在光蝕法技術(shù)中，是在玻璃基板上涂敷光敏抗蝕劑，并把其曝光，進(jìn)而顯影。在抗蝕劑的涂敷后曝光前，或者在曝光后顯影前加熱基板。這些加熱處理是用于使抗蝕劑中的溶劑蒸發(fā)、或者使由曝光的駐波效果所造成的抗蝕劑圖形的變形減小的處理。在涂敷抗蝕劑的工序中，例如用涂敷裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。