技術(shù)編號：6815166
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別是涉及在集成電路元件上形成一大電容結(jié)構(gòu)的方法。通常，若要增加集成電路元件的密度，必須設法減小每一結(jié)構(gòu)如金屬線、晶體管的柵極的大小并縮小組成集成電路元件各結(jié)構(gòu)問的距離?？s小元件結(jié)構(gòu)的大小，通常是為了滿足用于集成電路元件制造的“設計規(guī)則”。就動態(tài)隨機存取存儲器(Dynamic Random Access Memory；DRAM)而言，數(shù)據(jù)一般是藉由對在半導體基底上的電容器陣列的每個電容器做選擇性的充電或放電，來達到儲存的目的。大致上，一個二...
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