技術(shù)編號：6814730
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本說明書公開的發(fā)明涉及具有結(jié)晶性的薄膜半導(dǎo)體。還涉及薄膜半導(dǎo)體的制造方法。還涉及利用該薄膜半導(dǎo)體的半導(dǎo)體裝置。還涉及該半導(dǎo)體裝置的制造方法。已知在玻璃基板、石英基板上形成具有結(jié)晶性的硅膜并用該硅膜制造薄膜晶體管(以下稱之為TFT)的技術(shù)。將該薄膜晶體管稱之為高溫多晶硅TFT、低溫多晶硅TFT。高溫多晶硅TFT是利用800℃、900℃以上的比較高的溫度的加熱處理作為結(jié)晶性硅膜的制造方法的技術(shù)。該技術(shù)可以說是利用單晶硅晶片的IC的制造工藝的派生技術(shù)。當(dāng)然，作為...
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