技術編號：6811755
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種設有一化學氣相淀積(“CVD”)裝置的氣體回收設備，所述CVD裝置包括一氣體輸入部分，該部分具有一條用來供應稀釋惰性氣體的惰性氣體供應通道以及一條用來供應清洗氣體的清洗氣體供應通道，每條所述通道都與CVD裝置連結，此外，CVD裝置還包括一個用來釋放廢氣的廢氣排放部分。本發(fā)明還涉及一種設有一腐蝕裝置的氣體回收設備，所述腐蝕裝置包括一個氣體輸入部分，該部分具有一條用來供應稀釋惰性氣體的惰性氣體供應通道以及一條用來供應腐蝕氣體的腐蝕氣體供應通道，每...
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