技術編號：6805466
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及監(jiān)視處理系統(tǒng)中的處理，并且尤其涉及利用帶有集成傳輸部件的監(jiān)視部件來監(jiān)視處理。背景技術 半導體工業(yè)中的集成電路(IC)的制造典型地在等離子體反應器內(nèi)利用等離子體形成并幫助為從基片上去掉材料并在基片上沉積材料所需要的表面化學。通常，在真空條件下通過把電子加熱到足以保持與供給的處理氣體的電離碰撞的能量上在等離子體反應器中形成等離子體。另外，加熱的電子可以具有足以保持離解碰撞的能量，并且選擇預定條件(例如，室壓，氣體流率等)下的特定氣體組從而產(chǎn)生適于在室...
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