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場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)、其半導(dǎo)體存儲(chǔ)單元及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6805182

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本發(fā)明是關(guān)于一種場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)、一種相關(guān)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)單元與其相關(guān)的制造方法,且特別是關(guān)于一種可用于動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取(DRAM)內(nèi)存中的場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體技術(shù)中,特別使用具最高集成密度的最先進(jìn)技術(shù)來制造所謂的動(dòng)態(tài)隨機(jī)訪問存儲(chǔ)器(DRAM);然而隨著封裝密度或集成密度的提高,在DRAM半導(dǎo)體內(nèi)存中會(huì)產(chǎn)生下述困難為控制DRAM半導(dǎo)體存儲(chǔ)單元中選擇晶體管的短溝道行為(滾降,roll-off),在所有的生產(chǎn)技術(shù)中,皆必須增加相關(guān)的井摻雜(welldoping)...
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