技術編號：6798000
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般涉及制造半導體集成電路各種芯片的領域，以及更準確地說，涉及互補金屬氧化物半導體各種芯片的制造方法。在現(xiàn)有技術中已知的一種類型的半導體集成電路就是通常所說的互補金屬氧化物半導體或CMOS。各種CMOS集成電路顯示出較快的開關時間和較低的電力消耗。因此，各種CMOS集成電路十分適合于多種多樣的包括計算機的應用。一種典型的CMOS制造工藝一開始時在一塊低電阻率的襯底上形成一層高電阻率外延層。其次用傳統(tǒng)的光刻工藝生產(chǎn)出一片所要求的電子元件或集成電路。為了...
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