技術(shù)編號(hào):6797396
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種加熱裝置,特別是一種晶圓加熱裝置。背景技術(shù)晶圓制造乃是整個(gè)科技產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)且最關(guān)鍵的一部分,其中,熱處理是重要的一環(huán)。公知的晶圓加熱器中,其多件式的組件具有較多焊點(diǎn),且其焊點(diǎn)在經(jīng)過(guò)加熱機(jī)臺(tái)往復(fù)的操作后,結(jié)構(gòu)強(qiáng)度容易弱化,真空度易受影響。當(dāng)真空度受到影響時(shí),需要花許多時(shí)間測(cè)漏,機(jī)臺(tái)因而無(wú)法運(yùn)作,延誤生產(chǎn)進(jìn)程。發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,本實(shí)用新型提供了一種晶圓加熱裝置,特別是一種具有一體成型元件并可改善真空度的晶圓加熱裝置。本實(shí)用新型解...
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