技術(shù)編號:6790648
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種CMOS圖像傳感器及其制造方法。背景技術(shù)現(xiàn)代圖像傳感器的廣泛應(yīng)用,驅(qū)使CMOS (Complementary Metal OxideSemiconductor,互補金屬氧化物半導(dǎo)體)圖像傳感器向越來越小的尺寸發(fā)展。隨著像素尺寸的縮小,與之密切相關(guān)的感光二極管的滿阱電子、暗電流、串?dāng)_、飽和溢出等性能參數(shù)面臨著嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。因此,更加有效的像素結(jié)構(gòu)和制造工藝成為影響高質(zhì)量像素關(guān)鍵因素之 一?,F(xiàn)有技術(shù)中的CMOS圖像傳感器像素...
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