技術(shù)編號:6790019
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種芯片頂起的方法及模塊,且特別是有關(guān)于一種可改善頂起失敗的芯片頂起的方法及模塊。背景技術(shù)為符合未來芯片產(chǎn)品輕、薄、短、小的設(shè)計需求,芯片尺寸及厚度、凸塊尺寸及間距等亦隨之薄化及縮小,甚至,多顆芯片堆迭的3D產(chǎn)品封裝需求亦開始顯現(xiàn)。晶圓于切割工藝中分離成多個芯片并于芯片之間形成切割道,其中為了提高晶圓的利用率,芯片之間的切割道越來越窄,使芯片與芯片之間的距離也相對越來越接近,容易導致后續(xù)在取芯片時的頂起芯片過程中,芯片彼此碰撞造成芯片損壞的問...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。