技術(shù)編號(hào):6762861
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,特別是涉及與以微型計(jì)算機(jī)為代表的具有邏輯運(yùn)算功能的半導(dǎo)體器件裝載于同一襯底上的半導(dǎo)體非易失性存儲(chǔ)器件的構(gòu)造及其可靠性的提高。背景技術(shù) 半導(dǎo)體非易失性存儲(chǔ)器件廣泛使用浮置柵極型。近些年來(lái),人們對(duì)把電荷存儲(chǔ)在電荷俘獲膜中的MONOS型或MNOS型存儲(chǔ)器有了新的認(rèn)識(shí),對(duì)用于大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)用途或與邏輯用半導(dǎo)體器件裝載于同一硅襯底上的混載用途的應(yīng)用等進(jìn)行了重新評(píng)價(jià)。以下,把單個(gè)半導(dǎo)體非易失性存儲(chǔ)元件叫做存儲(chǔ)單元,把包括多個(gè)存儲(chǔ)單元的、具有非...
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