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基于負(fù)微分電阻特性的混合set/cmos靜態(tài)存儲(chǔ)單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6740338

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本實(shí)用新型涉及基于負(fù)微分電阻特性的混合SET/CM0S靜態(tài)存儲(chǔ)單元。背景技術(shù)當(dāng)MOS管的特征尺寸隨著摩爾定律的發(fā)展進(jìn)入IOOnm以后,其可靠性及電學(xué)特性由于受到量子效應(yīng)的影響面臨著諸多的挑戰(zhàn)。存儲(chǔ)器作為當(dāng)今IC產(chǎn)業(yè)最重要的設(shè)備 之一,隨著MOS管特征尺寸的逐漸縮小,其穩(wěn)定性和集成度也面臨著挑戰(zhàn)。單電子晶體管(single-electron transistor, SET)作為新型的納米電子器件,有望成為MOS管進(jìn)入納米領(lǐng)域后的有力替代者。SET由庫(kù)侖島、柵...
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