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光盤生產(chǎn)線濺鍍機專用靶材的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6738177

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[0001]本實用新型涉及ー種光盤生產(chǎn)線濺鍍機專用靶材,具體的說是ー種外形更適合6.0生產(chǎn)線濺鍍機使用的濺鍍用靶材。背景技術(shù)在光盤生產(chǎn)過程中,要用濺鍍機轟擊濺鍍靶材在光盤上濺射上ー層反射層,靶材的外部形狀關(guān)系到濺鍍層是否均勻,從而影響盤片的質(zhì)量。這就要求我們找到一種適合6.0線生產(chǎn)線濺鍍機的濺鍍靶材外部形狀。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是要提供一種適合6. 0生產(chǎn)線濺鍍機的濺鍍靶材外部形狀,使濺鍍層更加均勻,提高盤片的質(zhì)量。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的,該靶材...
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