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圖案檢視中偶生缺陷的驗(yàn)證的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6655244

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本發(fā)明涉及用于對(duì)諸如電路之類的圖案進(jìn)行自動(dòng)化光學(xué)檢視的系統(tǒng) 與方法,更具體的說,是涉及用于減少在檢視期間所檢測到的候選缺陷數(shù) 量的系統(tǒng)與方法。背景技術(shù)電路(例如印刷電路板、互連裝置與平板顯示器)的制造通常包括自動(dòng) 化光學(xué)檢視操作。自動(dòng)化光學(xué)檢視通常識(shí)別一系列的候選缺陷,包括實(shí)際 缺陷與虛假缺陷。在自動(dòng)化光學(xué)檢視之后,將包含電路圖案的面板供應(yīng)至驗(yàn)證臺(tái),于此處fH古候選缺陷,然后將其識(shí)別為實(shí)際缺陷或?yàn)樘摷偃毕荨?如有可能,將修復(fù)實(shí)際缺陷。虛假缺陷包括,例如,隨...
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