技術(shù)編號：6481470
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)系統(tǒng)級設(shè)計中的一種變截面梁建模方法，屬于微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計領(lǐng)域。 背景技術(shù) 在MEMS結(jié)構(gòu)中，為了實現(xiàn)梁的某些設(shè)計目標(biāo)，如應(yīng)力集中小、體積小、強(qiáng)度高、重量輕、穩(wěn)定性佳等，并且考慮梁所受彎矩的大小沿軸線變化時，常采用寬度隨長度線性變化的變截面梁代替常規(guī)的等截面梁來優(yōu)化結(jié)構(gòu)。如在微加速度計、微機(jī)械陀螺等慣性器件中，絕大多數(shù)懸臂梁所承受的彎矩都是沿其軸向變化的，因此必須保證懸臂梁結(jié)構(gòu)自由端具有較小的剛度來產(chǎn)生較大的形變，以使敏感...
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