技術(shù)編號(hào)：6415482
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及光刻，更具體地涉及用于光掩模訂單的電子訂單登記和自動(dòng)處理的方法和系統(tǒng)。背景技術(shù) 由于半導(dǎo)體器件制造商不斷生產(chǎn)更小的器件，因此不斷迫切需要用于制造這些器件的光掩模。光掩模，也稱(chēng)作光刻版或掩模，通常包括在襯底上形成圖形化層(例如鉻或硅化鉬)的襯底(例如，高純石英或玻璃)。該圖形化層包括表示可以在光刻系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶片上的電路圖形的圖案。隨著半導(dǎo)體器件的特征尺寸減小，對(duì)應(yīng)的光掩模上的電路圖形也變得更小且更復(fù)雜。因此，訂購(gòu)光掩模過(guò)程中涉及的技術(shù)說(shuō)...
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