專利名稱：用于光掩模訂單的電子訂單登記和自動處理的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及光刻，更具體地涉及用于光掩模訂單的電子訂單登記和自動處理的方法和系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體器件制造商不斷生產(chǎn)更小的器件，因此不斷迫切需要用于制造這些器件的光掩模。光掩模，也稱作光刻版或掩模，通常包括在襯底上形成圖形化層(例如鉻或硅化鉬)的襯底(例如，高純石英或玻璃)。該圖形化層包括表示可以在光刻系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶片上的電路圖形的圖案。隨著半導(dǎo)體器件的特征尺寸減小，對應(yīng)的光掩模上的電路圖形也變得更小且更復(fù)雜。因此，訂購光掩模過程中涉及的技術(shù)說明越來越復(fù)雜。例如，光掩模的一個訂單文件可能有35-40頁詳細技術(shù)說明。
當(dāng)前，對于大多數(shù)訂單和客戶，掩模訂單的訂單登記和技術(shù)方案功能是手動執(zhí)行的。即使存在自動化，這種自動化也是客戶專用的、不靈活的且容易經(jīng)常出故障。當(dāng)前，手動的光掩模訂單登記和技術(shù)方案有很大的人為錯誤風(fēng)險，由于延長的訂單處理時間(“周期”)經(jīng)常導(dǎo)致延遲，并且通常需要大量人力來準(zhǔn)備用于生產(chǎn)的訂單。
先前解決這些問題的一個嘗試是產(chǎn)生了由半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際(Semiconductor Equipment and Materials International)(見www.semi.org)發(fā)布的Semi P10標(biāo)準(zhǔn)。Semi P10標(biāo)準(zhǔn)是數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)規(guī)范，意圖(1)便于軟件系統(tǒng)之間的掩模訂單數(shù)據(jù)的傳輸；(2)允許由掩?？蛻糇詣影才庞唵?；以及，(3)允許自動化處理訂單和自動化傳送/處理數(shù)據(jù)。
通過使用Semi P10標(biāo)準(zhǔn)，為掩?？蛻艋蜓谀＼囬g獨立寫入的軟件應(yīng)當(dāng)能夠與由其它方寫入的軟件明確通信。Semi P10標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)僅僅定義傳送文件(通常通過ASCII文件傳送)的數(shù)據(jù)格式。該標(biāo)準(zhǔn)沒有規(guī)定特定的數(shù)據(jù)庫或編程語言。
Semi P10標(biāo)準(zhǔn)有5個關(guān)鍵缺點(1)缺乏靈活性；(2)有限的工業(yè)應(yīng)用；(3)不容易為人閱讀；(4)未規(guī)定特定使用方式(即，編程語言或數(shù)據(jù)庫)；以及(5)未提出其它基本前端操作。
圖1說明了當(dāng)前用于光掩模的訂單處理的一種類型的Semi P10處理。由于SEMI P10標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定了訂單登記的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，從客戶接收的Semi文件100可能比所需的更復(fù)雜。例如，Semi P10標(biāo)準(zhǔn)建立了用于識別Semi文件1000的工業(yè)領(lǐng)域“標(biāo)簽”集合。這些標(biāo)簽必須用于特定訂單且必須表示每個訂單中相同的元件。因此，客戶和掩模車間在他們可以如何使用Semi文件100的方面受到限制。對于一些客戶，這導(dǎo)致提供比簡單的訂單所必需的更為復(fù)雜的文件。
Semi P10標(biāo)準(zhǔn)的使用需要一個公司放棄長期使用的用于提交掩模訂單的系統(tǒng)或者需要客戶將他們的光掩模訂貨輸出(通常存儲為專有文件(proprietary file)格式)轉(zhuǎn)換成Semi P10標(biāo)準(zhǔn)。因此，已經(jīng)證明公司極不情愿轉(zhuǎn)變到Semi P10標(biāo)準(zhǔn)。
通常，當(dāng)在掩模車間接收到Semi文件100時，該文件呈現(xiàn)兩種不同路徑。第一路徑是訂單準(zhǔn)備101，其將掩模訂單裝載入制造系統(tǒng)中以便該訂單可以在無塵室寫出。通常，訂單準(zhǔn)備101從預(yù)分析程序(pre-parser)102開始，該預(yù)分析程序102分割訂單信息以將其導(dǎo)入適當(dāng)?shù)姆治龀绦蛴媱?parser program)。例如National 104、TI106、IBM 108和Motorola 110的分析程序計劃將訂單信息從Semi P10標(biāo)準(zhǔn)格式轉(zhuǎn)變成諸如DPI標(biāo)準(zhǔn)Semi文件112的標(biāo)準(zhǔn)文件類型。在塊114處的另一個自動化轉(zhuǎn)換過程之后，DPI標(biāo)準(zhǔn)Semi文件112被轉(zhuǎn)換成Demi文件116，該Demi文件116允許訂單載入到DPI的Oracle數(shù)據(jù)庫132(即，eMaskTM)中。
對于典型的多頁訂單，遵從Semi P10標(biāo)準(zhǔn)的ASCII格式的Semi文件100經(jīng)常包括四十或更多頁單倍行距文本。雖然這對于自動化系統(tǒng)可能是令人滿意的，但是不使用自動化接收Semi P10標(biāo)準(zhǔn)的訂單的掩模制造商面臨將這種大量的文本轉(zhuǎn)變成訂單的令人氣餒的任務(wù)。作為示例，在使用TI的semi-分析程序(允許對TI訂單自動使用SemiP10標(biāo)準(zhǔn))之前，客戶服務(wù)技術(shù)人員經(jīng)常使用20頁的“密鑰”來手動解密該文件。
第二路徑是數(shù)據(jù)準(zhǔn)備118，該數(shù)據(jù)準(zhǔn)備118創(chuàng)建寫準(zhǔn)備信息，該信息進入光刻工具用于制造光掩模。由于與訂單準(zhǔn)備101相比，數(shù)據(jù)準(zhǔn)備118通常是手動操作，其經(jīng)常被認為是光掩模訂購中的關(guān)鍵路徑。
在一些為技術(shù)制定者準(zhǔn)備數(shù)據(jù)的初始程序的例行程序(諸如FEAutomation 120和sBridge 122)之后，訂單文件進入技術(shù)方案的手動操作，所述技術(shù)方案基于獲得訂單中指定的光掩模選擇適當(dāng)?shù)奶幚磉^程和例行程序。在使用CD分析程序計劃126進行分析數(shù)據(jù)方案之后，該數(shù)據(jù)經(jīng)過KMS腳本128被轉(zhuǎn)換成機器語言，使得該數(shù)據(jù)可以為機器界面130設(shè)置并由此裝載入到DPI的Oracle數(shù)據(jù)庫132(即，eMaskTM)中。
Semi P10標(biāo)準(zhǔn)的其它問題在于未提供要如何使用該標(biāo)準(zhǔn)的指令。雖然這可能意圖增加該標(biāo)準(zhǔn)的靈活性，相反，其增加了混亂并限制了使用。
Semi P10標(biāo)準(zhǔn)被指定為掩?？蛻艉凸庋谀Ｖ圃焐掏ㄐ庞唵蔚姆绞?。Semi P10標(biāo)準(zhǔn)未提出訂購確認和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備的任何剩余步驟。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的教授，大大減少或消除了和描述所需產(chǎn)品(諸如光掩模)所必需的訂單或其它信息的輸入和處理相關(guān)的缺點和問題。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，制造光掩模部件過程中用于訂單登記和處理的方法包括電子接收產(chǎn)品訂單信息文件。該產(chǎn)品訂單信息文件被自動轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式。規(guī)則引擎(rules engine)通過將一組預(yù)定義的客戶要求應(yīng)用到該產(chǎn)品訂單信息文件來自動處理已轉(zhuǎn)換的產(chǎn)品訂單信息，使得該產(chǎn)品訂單信息載入訂單登記模塊中。該訂單登記模塊然后根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息文件自動創(chuàng)建生產(chǎn)光掩模部件所必需的數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，用于光掩模部件的電子訂單登記和自動處理的系統(tǒng)包括計算機可讀媒質(zhì)以及編碼在該計算機可讀媒質(zhì)中的可執(zhí)行指令。當(dāng)該可執(zhí)行指令被執(zhí)行時，其指示計算機執(zhí)行包括電子接收任何格式的產(chǎn)品訂單信息文件的操作。這些計算機操作也包括自動將產(chǎn)品訂單信息文件轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式。此外，這些計算機操作包括使用規(guī)則引擎施加一組預(yù)定義的客戶要求到該產(chǎn)品訂單信息文件來自動處理已轉(zhuǎn)換的產(chǎn)品訂單信息文件，使得該產(chǎn)品訂單信息文件裝載入訂單登記模塊中。最后，這些計算機操作包括訂單登記模塊，根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息文件來自動創(chuàng)建生產(chǎn)掩模部件所需的數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，制造光掩模部件的方法包括電子接收任何格式的產(chǎn)品訂單信息文件。該方法自動將產(chǎn)品訂單信息文件轉(zhuǎn)換成XML數(shù)據(jù)庫格式。該方法使用規(guī)則引擎施加一組預(yù)定義的客戶要求到該產(chǎn)品訂單信息文件來自動處理該XML數(shù)據(jù)庫格式，使得該產(chǎn)品訂單信息文件裝載入訂單登記模塊中。該方法根據(jù)至少一條與該產(chǎn)品訂單信息文件相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)選擇包括客戶說明的模板。該方法通過自動將該產(chǎn)品訂單信息與該模板比較來識別任何不一致，從而驗證該產(chǎn)品訂單信息。該方法根據(jù)產(chǎn)品訂單信息、使用訂單登記模塊自動創(chuàng)建生產(chǎn)光掩模部件所必需的數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的某些實施例的重要技術(shù)優(yōu)點包括通過使用自動化的系統(tǒng)替換現(xiàn)有接收訂單信息的手動處理，減少了制造光掩模所需的周期。
本發(fā)明的某些實施例的另外的技術(shù)優(yōu)點包括靈活的系統(tǒng)，這些系統(tǒng)接收多種不同格式中的任何一種格式的訂單信息并產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)化格式的訂單登記。
某些實施例的另外的重要技術(shù)優(yōu)點包括通過減少操作者的參與來減少由訂單處理導(dǎo)致的錯誤。
在本發(fā)明的各種實施例中可能出現(xiàn)所有、一些或不出現(xiàn)這些技術(shù)優(yōu)點。從附圖、說明和權(quán)利要求中，其它技術(shù)優(yōu)點對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員將變得明顯。


通過下面結(jié)合附圖的說明，可以獲得對本發(fā)明及其優(yōu)點更充分的理解，其中相同的參考數(shù)字表示相同的特征，且其中圖1示出了現(xiàn)有Semi P10處理系統(tǒng)的一個例子；圖2示出了根據(jù)本發(fā)明教授的訂單登記和處理系統(tǒng)或方法制造的光掩模組件的截面視圖；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例，用于訂單登記和轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式的流程圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例，用于處理標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式和驗證訂單登記數(shù)據(jù)的流程圖；以及圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例，用于生產(chǎn)光掩模的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程的流程圖。
具體實施例方式
此處描述的本發(fā)明與光掩模訂購系統(tǒng)一起使用。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，原始光掩模訂單可以由客戶或任何其它操作者、人為或非人為提供，能夠以電子格式表示對光掩模的特定要求。本領(lǐng)域的技術(shù)人員也應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明的通用方法和系統(tǒng)可以應(yīng)用于除光掩模生產(chǎn)以外的其它領(lǐng)域。
通過參照圖2至圖5，能最好地理解本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其優(yōu)點，其中相同的參考數(shù)字表示相似和一致的部分。
圖2示出了符合原型說明的光掩模組件10的截面視圖。光掩模組件10包括耦合到薄膜組件14的光掩模12。襯底16和圖形化層18形成光掩模12(或者稱為掩?；蚬饪贪?，光掩模12可以有各種尺寸和形狀，包括但不限于圓形、矩形或正方形。光掩模12也可以是各種光掩模類型，包括但不限于，一次掩模、5英寸光刻版、6英寸光刻版、9英寸光刻版或其它任何可以用于將電路圖形的圖像投影到半導(dǎo)體晶片上的適當(dāng)尺寸的光刻版。光掩模12還可以是二元掩模、相移掩模(PSM)、光學(xué)逼近校正(OPC)掩?；蛉魏纹渌愋偷倪m于在光刻系統(tǒng)中使用的掩模。
光掩模12包括形成在襯底16上的圖形化層18，當(dāng)其暴露于光刻系統(tǒng)中的電磁能量時，將圖形投影到半導(dǎo)體晶片(未特別示出)的表面上。襯底16可以是諸如石英、合成石英、熔凝石英、氟化鎂(MgF2)、氟化鈣(CaF2)的透明材料，或者任何其它適合的材料，所述適合的材料透射至少百分之七十五(75％)的波長為大約10納米(nm)～450nm之間的入射光。在可供選擇的實施例中，襯底16可以是諸如硅的反射材料，或者任何其它適當(dāng)?shù)牟牧?，所述適當(dāng)?shù)牟牧戏瓷浯笥诖蠹s百分之五十(50％)的波長為大約10nm～450nm之間的入射光。
圖形化層18可以是諸如鉻、氮化鉻、金屬氧-碳-氮(M-O-C-N)的金屬材料，其中金屬選自包括鉻、鈷、鐵、鋅、鉬、鈮、鉭、鈦、鎢、鋁、鎂和硅的組，以及任何其它適合的材料，所述適合的材料吸收波長在紫外線(UV)范圍、深紫外線(DUV)范圍、真空紫外線(VUV)范圍和/或超紫外線(EUV)范圍的電磁能量。在一個可供選擇的實施例中，圖形化層18可以是諸如硅化鉬(MoSi)的部分透射材料，其在UV、DUV、VUV和/或EUV范圍內(nèi)具有大約1％～大約30％的透射率。在其它實施例中，圖形化層18可以具有任何適當(dāng)數(shù)量的材料層。這些層對于光刻系統(tǒng)的曝光波長可以是不透明的、部分透射的和/或透明的。
框架20和薄膜(pellicle film)22可以形成薄膜組件14。框架22通常由陽極化鋁形成，當(dāng)然它也可以由不銹鋼、塑料或者其它適合的材料形成，所述適合的材料暴露于光刻系統(tǒng)內(nèi)的電磁能量時不退化或除氣。薄膜22可以是由諸如硝化纖維、醋酸纖維素、非晶含氟聚合物的材料形成的薄膜膜片，所述非晶含氟聚合物是例如由E.I.duPont de Nemours and Company制造的TEFLONAF、或者由Asahi Glass制造的CYTOP，或者其它對于UV、DUV、EUV和/或VUV范圍內(nèi)的波長基本透明的適合的薄膜。薄膜22可以使用諸如旋轉(zhuǎn)鑄造的傳統(tǒng)技術(shù)制備。
薄膜22通過確保污染物處于遠離光掩模12的規(guī)定距離來保護光掩模12不受污染物(諸如灰塵顆粒)損害。這在光刻系統(tǒng)中特別重要。在光刻過程中，光掩模組件10暴露于由光刻系統(tǒng)內(nèi)的能量源產(chǎn)生的電磁能量下。該電磁能量可包括各種波長的光，諸如大約在汞弧燈的I線和G線之間的波長、或者DUV、VUV或EUV光。在操作中，薄膜22設(shè)計成允許電磁能量的大的百分比透過它。聚集在薄膜22上的污染物可能在正被處理的晶片表面處的焦點之外，因此，晶片上的曝光圖形應(yīng)該是清楚的。根據(jù)本發(fā)明的教授形成的薄膜22可以令人滿意地與所有類型的電磁能量一起使用并且不限于本申請中描述的光波。
光掩模組件10包括用于構(gòu)造成品的各種光掩模部件?？紤]到對于每個光掩模部件可用的大數(shù)量的選擇和說明，光掩模組件10的訂單登記和處理可以很具體并且是客戶專用的。如下所示，用于光掩模部件的訂單登記和處理的方法可用于制造光掩模組件10的至少一個部件或幾個光掩模組件10。
圖3示出了用于訂單登記和轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160的流程圖。自動化訂購光掩模組件10的至少一個部件通常需要客戶或其它操作者以電子形式向掩模車間提交產(chǎn)品訂單信息，通常稱為“文書工作(paperwork)”。典型地，該文書工作通過電子郵件和文件傳輸協(xié)議接收。
因此，客戶通常分為兩種不同類別。第一類是已經(jīng)選擇遵循SemiP10標(biāo)準(zhǔn)的客戶，通常稱為Semi客戶140，他們根據(jù)Semi P10標(biāo)準(zhǔn)提交產(chǎn)品訂單信息，即Semi文件144。第二類客戶是不遵循Semi P10標(biāo)準(zhǔn)的客戶，并且通常認為是非Semi客戶142，他們將以非Semi格式146發(fā)送產(chǎn)品訂單信息。Semi文件144和非Semi文件146通常可以稱為產(chǎn)品訂單信息文件。
無論文件是否遵循Semi P10標(biāo)準(zhǔn)，通常在應(yīng)用服務(wù)器148處由光掩模車間接收產(chǎn)品訂單信息文件。產(chǎn)品訂單信息的示例性文件格式包括但不限于電子表格文件(例如Microsoft ExcelTM)、文字處理文件(例如Microsoft WordTM)、ASCII文本文件或者postscript文件。一旦接收到，訂單信息自動被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)文件格式154，諸如可擴展標(biāo)識語言(XML)格式。產(chǎn)品訂單信息的轉(zhuǎn)換可以是完全“不需人為干預(yù)的”操作，因此一旦提交訂單信息其就會自動發(fā)生，如塊150和塊152所示。
在一個示例性實施例中，通過XML“模式”發(fā)生轉(zhuǎn)換。XML模式表示共享的詞表并允許機器執(zhí)行定義規(guī)則。XML模式提供定義XML文件的結(jié)構(gòu)、內(nèi)容和語義的方法。本發(fā)明的一個實施例需要開發(fā)獨特的掩模制造模式。
該轉(zhuǎn)換過程可以采用客戶和制造專用的XML“結(jié)構(gòu)”，所述結(jié)構(gòu)使用上面的掩模制造模式提供用于將客戶信息轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160(諸如規(guī)范DPI semi標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式)的邏輯。通過使該過程自動化，最新的訂單信息文件可以在少于一分鐘內(nèi)被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160。
在某些實施例中，該XML結(jié)構(gòu)限于每個客戶和/或制造組合一個結(jié)構(gòu)。該XML結(jié)構(gòu)可以優(yōu)選被進一步具體定義，用于分別與Semi文件144或非Semi文件146、Semi文件156或用于非Semi文件158的XML結(jié)構(gòu)一起使用。
一旦該轉(zhuǎn)換完成，產(chǎn)品訂單信息文件存儲在標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160中。標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160包括標(biāo)準(zhǔn)semi數(shù)據(jù)庫格式，且在一些實施例中，也包括沒有包括在semi標(biāo)準(zhǔn)格式中的客戶專用信息，諸如未被Semi P10標(biāo)準(zhǔn)覆蓋的客戶要求的額外功能。標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160對于其它軟件應(yīng)用(eMaskTM、sBridge、數(shù)據(jù)斷裂引擎等)是可用的，所述其它軟件應(yīng)用可以選擇性使用或操作客戶訂單專用信息。
圖4示出了用于處理標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160和驗證訂單登記數(shù)據(jù)的流程圖。一旦客戶的特定電子提交被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160，則產(chǎn)品訂單信息自動裝載入eMaskTM處理模塊166的訂單登記模塊168中，而不需要操作者提示。該自動化取代了現(xiàn)有的手動訂單登記功能。優(yōu)選在該自動化中包含兩個子處理。
eMaskTM處理模塊166的一個子處理是自動化模板選擇處理162，該處理162基于與客戶說明的一致性，允許在訂單到達之前完成該訂單的50-80％。然而，當(dāng)手動輸入一個訂單時，操作者必須基于以下標(biāo)準(zhǔn)中的至少一個為每個訂單選擇模板，所述標(biāo)準(zhǔn)是客戶、制造、產(chǎn)品類型、描述和模板級別。在自動化的模板選擇處理162下，系統(tǒng)基于上述標(biāo)準(zhǔn)、使用“基于規(guī)則的分析”處理164(優(yōu)選采用XML格式)自動選擇適當(dāng)?shù)哪０濉４送?，自動化的模板選擇處理162還可以包括識別掩模要在哪個區(qū)域被制造以支持特定區(qū)域模板的選擇。
在一個優(yōu)選實施例中，基于規(guī)則的分析處理164是作為觸發(fā)事件(例如客戶訂單的接收)的結(jié)果而開始。在基于規(guī)則的分析處理之后應(yīng)用到客戶訂單的規(guī)則通常是部分基于客戶定義，所述客戶定義是如何處理在該客戶訂單中接收到的他或她的數(shù)據(jù)。根據(jù)訂單的客戶或復(fù)雜性，每個客戶可能有少至25條為他或她的訂單建立的規(guī)則，而其它客戶可能有超過150條規(guī)則。通常，規(guī)則是獨立于客戶被定義的，從而這些規(guī)則可以與特定序列中的客戶相關(guān)聯(lián)。例如，當(dāng)為客戶計算格柵時，首先必須將地址規(guī)則應(yīng)用到數(shù)據(jù)以便獲得與隨后的規(guī)則一起使用的地址信息，以計算正確格柵。
一旦選擇了正確模板，可以通過自動比較該模板和產(chǎn)品訂單信息來驗證或證明該訂單，所述產(chǎn)品訂單信息先前已經(jīng)被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160，如塊169所示。如果系統(tǒng)識別出該模板所期望的和作為該訂單的一部分而被電子提交的不一致，則優(yōu)選該系統(tǒng)通過電子郵件和到工作進程屏幕(work-in-progress screen)的輸入來通知(多個)操作者，如塊170所示。如果沒有識別出訂單和模板之間有差別，則系統(tǒng)可以例如通過電子郵件發(fā)送“成功上載”通知到適當(dāng)?shù)?多個)操作者并將該訂單釋放到技術(shù)方案和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備處理。釋放后的訂單可以使得訂單登記模塊根據(jù)產(chǎn)品訂單信息文件為光掩模部件的生產(chǎn)自動創(chuàng)建生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。此外，被釋放的每個訂單可以基于使用的特定區(qū)域諸如區(qū)域174、176、176，其可以分別包括例如亞洲、歐洲或北美洲，并且該訂單為了這種使用以標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160存儲或保存。通常，自動化處理的使用允許訂單登記過程具有小于0.5％的錯誤率。
然而，如果不一致被確定以使得通知操作者有錯誤，操作者然后可以將該處理移到手動操作，如塊172所示。在該手動操作中，操作者可以選擇不同的模板來與訂單數(shù)據(jù)比較或者可以修改訂單數(shù)據(jù)以與該模板一致。在另一情況中，該處理允許手動干涉來解決系統(tǒng)不能解決的問題或不一致性。
圖5示出了用于生產(chǎn)光掩模組件10的至少一個部件的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程180的流程圖。在根據(jù)產(chǎn)品訂單信息文件構(gòu)建標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160之后，訂單登記和處理可以移動到數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程180。
對于很多提供足夠信息的客戶，本發(fā)明也提供了數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程180的充分地“不需要人為干預(yù)的”過程。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程180可以包括光刻指令的創(chuàng)建(作業(yè)卡片組(job deck)創(chuàng)建)、技術(shù)方案和圖形格式化(數(shù)據(jù)斷裂(data fracturing))。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程180使用和存取在訂單登記和轉(zhuǎn)換過程中建立的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160，如塊182所示。該數(shù)據(jù)準(zhǔn)備過程使用應(yīng)用服務(wù)器148、通過上面的相同的XML模式和類似的XML模板結(jié)構(gòu)來操作標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160。典型地，該過程能夠在小于大約1小時的時間里為光掩模部件的生產(chǎn)準(zhǔn)備生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。
例如，日志文件184可以是塊180中創(chuàng)建的斷裂數(shù)據(jù)。日志文件184可以通過塊186轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)日志文件格式188，其可以包括標(biāo)準(zhǔn)XML格式。類似的，可以使用類似于前述的XML結(jié)構(gòu)的XML日志結(jié)構(gòu)190來配置標(biāo)準(zhǔn)日志文件格式188。一旦日志文件184的轉(zhuǎn)換完成，則信息以標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式160被保存以便由不同的制造區(qū)域使用。
雖然已經(jīng)詳細地描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解可以在不脫離由所附權(quán)利要求書定義的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，作出各種變化、替代和改變。
權(quán)利要求
1.一種用于光掩模部件制造中訂單登記和處理的方法，包括電子接收該掩模部件的產(chǎn)品訂單信息文件；將該產(chǎn)品信息文件自動轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式；使用規(guī)則引擎向該產(chǎn)品訂單信息文件施加一組預(yù)定義的客戶要求來自動處理已轉(zhuǎn)換的產(chǎn)品訂單信息文件，使得該產(chǎn)品訂單信息文件裝載入訂單登記模塊中，以及使用訂單登記模塊來根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息文件為光掩模部件的生產(chǎn)自動創(chuàng)建。
2.權(quán)利要求1的方法，還包括基于至少一個標(biāo)準(zhǔn)，自動選擇包括客戶說明的模板；通過自動將該產(chǎn)品訂單信息文件與該模板比較以識別任何不一致來驗證該產(chǎn)品訂單信息文件。
3.權(quán)利要求2的方法，還包括基于產(chǎn)品訂單信息文件的驗證，通知操作者識別出的不一致。
4.權(quán)利要求3的方法，其中通知包括電子郵件通知。
5.權(quán)利要求2的方法，還包括在識別出至少一個不一致之后，手動選擇用于產(chǎn)品訂單信息文件的模板。
6.權(quán)利要求2的方法，還包括選自包括客戶、制造、產(chǎn)品類型、模板級別和模板區(qū)域的組中的至少一個標(biāo)準(zhǔn)。
7.權(quán)利要求1的方法，其中產(chǎn)品訂單信息文件是基于semi文件的格式。
8.權(quán)利要求1的方法，其中產(chǎn)品訂單信息文件是基于非semi文件的格式。
9.權(quán)利要求1的方法，其中標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式包括標(biāo)準(zhǔn)semi數(shù)據(jù)庫格式。
10.權(quán)利要求9的方法，其中標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式還包括不包含在semi標(biāo)準(zhǔn)格式中的客戶說明信息。
11.權(quán)利要求1的方法，還包括將產(chǎn)品訂單信息轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)文件格式。
12.權(quán)利要求11的方法，還包括根據(jù)XML結(jié)構(gòu)，以可擴展標(biāo)識語言(XML)格式配置產(chǎn)品訂單信息。
13.權(quán)利要求12的方法，其中XML構(gòu)造包括說明信息。
14.權(quán)利要求1的方法，其中用于光掩模部件生產(chǎn)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件包括光刻指令和圖形化信息。
15.權(quán)利要求1的方法，其中創(chuàng)建用于生產(chǎn)光掩模部件的生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件還包括使用產(chǎn)品訂單信息文件選擇客戶專用的訂單模板，用于為光掩模部件的生產(chǎn)準(zhǔn)備生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。
16.權(quán)利要求1的方法，還包括將產(chǎn)品訂單信息在小于大約1分鐘的時間內(nèi)轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式。
17.權(quán)利要求1的方法，還包括在小于大約1小時的時間內(nèi)為光掩模部件的生產(chǎn)準(zhǔn)備生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。
18.權(quán)利要求1的方法，還包括以由多個制造場所可用的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式保存生產(chǎn)光掩模部件所必須的數(shù)據(jù)。
19.權(quán)利要求1的方法，還包括訂單登記過程的誤差率小于0.5％的方法。
20.一種用于光掩模部件訂單的電子訂單登記和自動處理的系統(tǒng)，包括計算機可讀媒質(zhì)；以及在該計算機可讀媒質(zhì)中編碼的可執(zhí)行指令，該可執(zhí)行指令可用于指示計算機電子接收產(chǎn)品訂單信息文件；自動將該產(chǎn)品訂單信息文件轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式；使用規(guī)則引擎向該產(chǎn)品訂單信息文件施加一組預(yù)定義的客戶要求來自動處理已轉(zhuǎn)換的產(chǎn)品訂單信息文件，使得該產(chǎn)品訂單信息文件裝載到訂單登記模塊中；以及根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息文件自動創(chuàng)建用于光掩模部件生產(chǎn)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。
21.權(quán)利要求20的系統(tǒng)，該可執(zhí)行指令進一步能夠基于至少一條標(biāo)準(zhǔn)選擇包括客戶說明的模板；以及通過自動比較該產(chǎn)品訂單信息文件與該模板來識別至少一個不一致，從而驗證該產(chǎn)品訂單信息文件。
22.權(quán)利要求21的系統(tǒng)，還包括該可執(zhí)行指令進一步能夠在驗證操作期間通知操作者是否有不一致被識別出。
23.權(quán)利要求21的系統(tǒng)，還包括該可執(zhí)行指令進一步能夠有利于在識別出產(chǎn)品訂單信息文件和所選模板之間的至少一個不一致之后，手動選擇用于產(chǎn)品訂單信息文件的模板。
24.一種制造光掩模部件的方法，包括電子接收產(chǎn)品訂單信息文件；自動將該產(chǎn)品訂單信息文件轉(zhuǎn)換成XML數(shù)據(jù)庫格式；使用規(guī)則引擎向該產(chǎn)品訂單信息文件施加一組預(yù)定義的客戶要求來自動處理該XML數(shù)據(jù)庫格式，使得該產(chǎn)品訂單信息文件裝載到訂單登記模塊中；以及基于在該產(chǎn)品訂單信息文件中指示的至少一條標(biāo)準(zhǔn)，選擇包括客戶說明的模板；通過自動將該產(chǎn)品訂單信息與該模板比較來識別任何不一致，從而驗證該產(chǎn)品訂單信息；以及根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息，使用訂單登記模塊來自動創(chuàng)建用于指示光掩模部件生產(chǎn)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件。
25.權(quán)利要求24的方法，還包括在產(chǎn)品訂單信息文件的驗證期間電子通知操作者是否識別出任何不一致。
26.權(quán)利要求25的方法，其中電子通知包括產(chǎn)生電子郵件通知。
27.權(quán)利要求24的方法，還包括在識別出至少一個不一致之后，手動選擇用于產(chǎn)品訂單信息的模板。
28.權(quán)利要求24的方法，其中生產(chǎn)數(shù)據(jù)文件包括光刻指令和圖形化信息。
全文摘要
公開了用于光掩模訂單的電子訂單登記和自動處理的方法和系統(tǒng)。光掩模部件的制造過程中訂單登記和處理的方法包括電子接收產(chǎn)品訂單信息文件。產(chǎn)品訂單信息被自動轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫格式。然后使用規(guī)則引擎將一組預(yù)定義的客戶要求應(yīng)用到該產(chǎn)品訂單信息文件來自動處理轉(zhuǎn)換后的產(chǎn)品訂單信息文件，使得該產(chǎn)品訂單信息載入訂單登記模塊。該訂單登記模塊用于根據(jù)該產(chǎn)品訂單信息文件自動產(chǎn)生對于生產(chǎn)光掩模部件所必要的生產(chǎn)文件。
文檔編號G06Q30/00GK1679040SQ03820512
公開日2005年10月5日 申請日期2003年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月28日
發(fā)明者P·惠格, W·B·奈頓 申請人:杜邦光掩公司