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Esd保護電路單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6371271

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所公開的電路和方法涉及集成電路。更具體地,所公開的系統(tǒng)和方法涉及用于集成電路的靜電放電(“ESD”)保護。背景技術(shù)隨著集成電路(“1C”)器件的不斷縮小,當前的趨勢為制造以下集成電路具有更淺的結(jié)深度、更薄的柵極氧化物、輕摻雜漏極(“LDD”)結(jié)構(gòu)、淺溝槽隔離(“STI”)結(jié)構(gòu)和自對準硅化物(“自對準多晶硅化物”)工藝,所有這些都用于先進的亞四分之一微米互補金屬氧化物半導(dǎo)體(“CMOS”)技術(shù)。由于ESD事件,所有這些工藝都引起相關(guān)的CMOS IC產(chǎn)品變得更...
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