技術(shù)編號(hào)：6283764
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種過程控制系統(tǒng)，尤其涉及用于在過程控制系統(tǒng)和半導(dǎo)體制作及制造工具之間進(jìn)行通信的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù) 在傳統(tǒng)上，從制造工具收集處理數(shù)據(jù)的方法涉及借助于在工具控制器和工具之間多路復(fù)用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的SECS數(shù)據(jù)接口，在工具和工具控制器例如設(shè)備接口程序之間分接信號(hào)線路。這種多路復(fù)用和分接可能影響處理數(shù)據(jù)的質(zhì)量并干擾在工具與工具控制器之間的通信。當(dāng)這種分接方法在某種程度上用于標(biāo)準(zhǔn)的200mm的晶片的制造時(shí)，隨著被處理的晶片越來越大并且成本越來越高，現(xiàn)在要求更...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。