專利名稱：用于在過程控制系統(tǒng)中傳遞數(shù)據(jù)的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種過程控制系統(tǒng)，尤其涉及用于在過程控制系統(tǒng)和半導體制作及制造工具之間進行通信的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
在傳統(tǒng)上，從制造工具收集處理數(shù)據(jù)的方法涉及借助于在工具控制器和工具之間多路復用工業(yè)標準的SECS數(shù)據(jù)接口，在工具和工具控制器例如設(shè)備接口程序之間分接信號線路。這種多路復用和分接可能影響處理數(shù)據(jù)的質(zhì)量并干擾在工具與工具控制器之間的通信。
當這種分接方法在某種程度上用于標準的200mm的晶片的制造時，隨著被處理的晶片越來越大并且成本越來越高，現(xiàn)在要求更快地和更精確地收集處理數(shù)據(jù)，并且所述數(shù)據(jù)的收集不得干擾處理數(shù)據(jù)的傳輸或防止自動化活動。此外，數(shù)據(jù)收集服務(wù)還必須有助于對設(shè)備接口系統(tǒng)和制造工具進行缺陷反饋和過程的調(diào)整。
此外，因為工業(yè)通信標準的協(xié)議SECS，SECS II和GEM的限制，對過程處理工具增加高速數(shù)據(jù)收集向來上一種復雜的破壞性的處理。此外，大部分的工程數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)都使用多個通信模塊，這面臨許多技術(shù)挑戰(zhàn)。此外，使用專有的通信格式用于在制造工具和過程控制器之間進行通信限制了先進的過程控制用戶的軟件的選擇。
具有一種用于在制造工具和先進的過程控制系統(tǒng)之間接口的簡單的方法將是有幫助的，其提供制造工具過程控制數(shù)據(jù)的工程數(shù)據(jù)收集能力，而不干擾在處理工具和設(shè)備接口機器之間的通信。

發(fā)明內(nèi)容
一方面，本發(fā)明提供一種用于在過程控制系統(tǒng)中的多個裝置之間傳遞處理數(shù)據(jù)的方法。在一個實施例中，所述方法包括以下步驟接收來自設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)，以及選擇一組從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送到一個處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
所述方法還包括以下步驟把選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成一種打開格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，并把配置的處理數(shù)據(jù)發(fā)送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
在另一方面，本發(fā)明提供一種通信編制器裝置，用于在過程控制系統(tǒng)內(nèi)的多個裝置之間傳送處理數(shù)據(jù)。在一個實施例中，所述裝置包括通信管理器，其適用于把從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)格式化成為適用于通信編制器的格式，以及數(shù)據(jù)探測器，用于選擇預定的一組通信編制器數(shù)據(jù)格式處理數(shù)據(jù)，以報告給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
所述通信管理器還適用于配置所述選擇的一組處理數(shù)據(jù)成為打開數(shù)據(jù)格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，并適用于傳送所述配置的處理數(shù)據(jù)到所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。一個數(shù)據(jù)管理程序提供所述通信管理器的監(jiān)視和管理。
在另一個方面中，本發(fā)明提供一種計算機程序產(chǎn)品，在一個實施例中，所述程序產(chǎn)品包括計算機可用的介質(zhì)，其具有被包括在其中的計算機可讀的代碼裝置，用于使計算機在過程控制系統(tǒng)的多個裝置之間傳送處理數(shù)據(jù)。在所述計算機程序產(chǎn)品中的所述計算機可讀的代碼裝置包括計算機可讀的程序代碼裝置，用于使計算機接收來自一個設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)。
所述計算機程序產(chǎn)品中的計算機可讀代碼裝置還包括計算機可讀的程序代碼裝置，用于使計算機選擇一組從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送給一個處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。所述計算機程序產(chǎn)品中的計算機可讀代碼裝置還包括計算機可讀的程序代碼裝置，用于使計算機配置呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的所選擇的一組處理數(shù)據(jù)成為打開格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，并用于使計算機把所述配置的數(shù)據(jù)傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
在另一方面，本發(fā)明提供一種半導體制作和制造過程控制系統(tǒng)，在一個實施例中，所述系統(tǒng)包括處理數(shù)據(jù)控制裝置，其適用于提供從至少一個制造工具接收的處理數(shù)據(jù)的處理監(jiān)視和處理分析，并適用于對至少一個制造工具提供控制指令。
所述半導體制作和制造過程控制系統(tǒng)還包括設(shè)備接口裝置，其適用于接收來自至少一個相關(guān)的制造工具的數(shù)據(jù)，并根據(jù)從所述處理數(shù)據(jù)控制裝置接收的控制指令對所述至少一個相關(guān)的制造工具提供控制，以及通信編制器裝置，其適用于在所述過程控制裝置和所述設(shè)備接口裝置之間進行連接，并幫助在過程控制裝置和設(shè)備接口裝置之間進行的信息通信和數(shù)據(jù)通信。所述通信編制器裝置適用于接收來自所述設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)，并選擇一組從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。所述通信編制器裝置還適用于把選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成打開格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，并把所述配置的處理數(shù)據(jù)傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。


在下面的說明中結(jié)合

本發(fā)明的上述的方面和其它的特征，其中圖1是用于實施包括本發(fā)明的特征的通信編制器系統(tǒng)的一個實施例的過程控制系統(tǒng)的方塊圖；圖2是使用包括本發(fā)明的特征的通信編制器用于處理數(shù)據(jù)的從設(shè)備接口系統(tǒng)到處理數(shù)據(jù)控制器的數(shù)據(jù)流圖的一個實施例；圖3是使用包括本發(fā)明的特征的通信編制器用于處理數(shù)據(jù)的從處理數(shù)據(jù)控制器到設(shè)備接口系統(tǒng)的數(shù)據(jù)流圖的一個實施例；圖4是包括本發(fā)明的特征的通信編制器系統(tǒng)的一個實施例的示意圖；圖5是本發(fā)明的方法的一個實施例的流程圖，用于說明由包括本發(fā)明特征的通信編制器進行的從設(shè)備接口系統(tǒng)到處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理；圖6是本發(fā)明的方法的一個實施例的流程圖，用于說明由包括本發(fā)明特征的通信編制器進行的從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)到設(shè)備接口系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理；圖7是用于實施包括本發(fā)明的特征的通信編制器系統(tǒng)的另一個實施例的處理控制系統(tǒng)的方塊圖；圖8是可用于實施本發(fā)明的典型的體系結(jié)構(gòu)的方塊圖；圖9是使用包括本發(fā)明的特征的通信編制器系統(tǒng)用于和設(shè)備接口系統(tǒng)交換數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)流圖的一個實施例。
具體實施例方式
參見圖1，其中示出了包括本發(fā)明的特征的系統(tǒng)10的方塊圖。雖然本發(fā)明參照圖中所示的實施例進行說明，應當理解，本發(fā)明可以利用許多不同的形式來實施。
如圖1所示，其中可以使用本發(fā)明的系統(tǒng)10的一個實施例一般包括一個過程控制系統(tǒng)，其借助于對制造工具12提供計算機控制，適用于控制制造過程。系統(tǒng)10一般包括通信編制器系統(tǒng)30，用于在設(shè)備接口系統(tǒng)14和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20之間傳送處理數(shù)據(jù)和裝置控制指令。在另一個實施例中，系統(tǒng)10可以包括其它合適的元件，用于使得設(shè)備接口裝置能夠和過程控制系統(tǒng)通信。本發(fā)明的特征在于，提供一種連接裝置，其在和制造工具12通信的設(shè)備接口系統(tǒng)(EI)14和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20(例如一種先進的過程控制系統(tǒng)20)之間提供通信鏈路，例如通信編制器30。
通信編制器系統(tǒng)30還提供一種用于在制造工具12和設(shè)備接口系統(tǒng)14之間接口的簡化的方法，該方法不會干擾在制造工具和設(shè)備接口系統(tǒng)之間的通信。制造工具一般包括計算機控制的用于進行操作的機器，例如對工件進行切割或成形。設(shè)備接口系統(tǒng)14可以和一個或幾個制造工具12通信。
參見圖2，其中示出了包括本發(fā)明的特征的系統(tǒng)210的一個實施例，其中系統(tǒng)210可以包括半導體或電子電路制造系統(tǒng)。系統(tǒng)210一般包括通信編制器系統(tǒng)230，其適用于在設(shè)備接口系統(tǒng)214和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220之間接口。通信編制器系統(tǒng)230一般適用于在不同的通信協(xié)議和數(shù)據(jù)格式之間進行轉(zhuǎn)換，確定從設(shè)備接口系統(tǒng)214接收的處理數(shù)據(jù)、事件以及警報的設(shè)置，并管理這些系統(tǒng)的通信和連接狀態(tài)。
這里使用的術(shù)語“處理數(shù)據(jù)”一般指的是由制造工具212產(chǎn)生的數(shù)據(jù)，用于描述制造工具的操作。傳送給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220的處理數(shù)據(jù)可被用于減少實施先進的過程控制的時間，并跟蹤設(shè)備的生產(chǎn)能力，使得能夠提前檢測處理的缺陷，并執(zhí)行合適的自動的或用戶指定的校正操作。
這里使用的術(shù)語“控制數(shù)據(jù)”一般指的是發(fā)送給制造工具212或制造工具控制器214例如設(shè)備接口系統(tǒng)214的數(shù)據(jù)，用于改變制造工具212的操作。
圖2所示的設(shè)備接口系統(tǒng)214一般適用于實時地控制和監(jiān)視一個或幾個制造工具212，例如在半導體制作和制造中使用的那些工具的處理。設(shè)備接口系統(tǒng)214一般控制制造工具212，并通過通信協(xié)議例如半導體工業(yè)標準SEMI設(shè)備通信標準(SECS)和工具進行通信。SECS使得計算機控制的處理設(shè)備能夠使用標準的一致的協(xié)議和各種類型的主計算機通信。國際半導體設(shè)備和材料協(xié)會(SEMI)規(guī)定協(xié)議標準，例如SECS，SECS II，以及一般的設(shè)備型號(GEM)。
如圖2所示，在一個實施例中，通信編制器系統(tǒng)230可以包括數(shù)據(jù)管理器246，數(shù)據(jù)探測器238，以及通信管理器250。通信管理器250一般協(xié)調(diào)通信編制器系統(tǒng)230的輸入、轉(zhuǎn)換和輸出操作，例如接收來自設(shè)備接口系統(tǒng)214的處理數(shù)據(jù)202。數(shù)據(jù)管理器246提供通信編制器系統(tǒng)的通信和連接狀態(tài)的管理206，其中包括監(jiān)視通信管理器250的操作。數(shù)據(jù)探測器238一般地從處理數(shù)據(jù)204確定和選擇一組通信編制器數(shù)據(jù)變量，將其存儲在一個配置數(shù)據(jù)庫中，并產(chǎn)生統(tǒng)計信息和報告。
繼續(xù)參看圖2，通信管理器250適用于把處理數(shù)據(jù)202格式化成為適合將來由通信編制器系統(tǒng)230使用的格式。通信管理器250還適用于把從數(shù)據(jù)探測器238接收的一組處理數(shù)據(jù)204配置成打開的結(jié)構(gòu)格式，例如由先進的過程控制系統(tǒng)220使用的eXtensible MarkupLanguage(XML)可擴展標記語言格式。通信管理器250把XML格式化的處理數(shù)據(jù)208傳送給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220。在一個實施例中，格式化的數(shù)據(jù)208通過XML數(shù)據(jù)借助于TCPIP插座傳送，不脫離本發(fā)明的較寬的范圍，也可以使用其它的數(shù)據(jù)傳送方法，例如無線傳輸方法。數(shù)據(jù)管理器246監(jiān)視和控制通信管理器250，使得能夠啟動和停止通信管理器250。
圖2所示的處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220一般適用于提供由設(shè)備接口系統(tǒng)214控制的至少一個制造工具212的處理監(jiān)視和處理分析。一般地說，處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220對具有多個制造工具212的過程控制系統(tǒng)210提供處理監(jiān)視和處理分析。處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)220例如可以是先進的過程控制系統(tǒng)，其包括用于顯示實時的設(shè)備狀態(tài)的元件、用于分析由制造工具進行的所有處理的元件、用于管理處理方法(processrecipe)的元件，以及用于進行統(tǒng)計機器控制的元件。
參見圖1，過程控制系統(tǒng)10可以包括一個或幾個工作站32。每個工作站32一般適用于主機或者包括一個或幾個設(shè)備接口系統(tǒng)14和通信編制器系統(tǒng)30。在另一個實施例中，工作站32可以包括用于半導體或電子電路的制造的任何合適的元件。工作站32一般包括基于NT或Windows 2000的工作站。不過，在另一個實施例中，可以使用任何合適的計算或處理平臺。每個工作站32和設(shè)備接口系統(tǒng)14也可以適用于和制造執(zhí)行系統(tǒng)16通信，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)用于控制每個設(shè)備接口系統(tǒng)和每個制造工具12的操作，例如用于控制每個制造工具的操作的啟動和停止。
如圖1所示，通信編制器系統(tǒng)30用任何合適的方式例如電纜、無線傳輸或光傳輸被連接在設(shè)備接口系統(tǒng)14和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20之間。通信編制器系統(tǒng)30收集直接來自設(shè)備接口系統(tǒng)14的數(shù)據(jù)，而不收集來自制造工具12和設(shè)備接口系統(tǒng)14之間的通信信號15的數(shù)據(jù)。通信信號15一般可以是SECS II或GEM格式的。用這種方式，通信編制器系統(tǒng)不和在制造工具12和設(shè)備接口系統(tǒng)14之間的通信信號15連接。
仍然參看圖1，在一個實施例中，通信編制器30可被包括在軟件系統(tǒng)中，例如來自Brooks Automation，Inc，的APCbuilderTM系統(tǒng)30，但并不限于此，因為不脫離本發(fā)明的寬的范圍，通信編制器系統(tǒng)可以被包括在軟件、硬件或固件中。通信編制器系統(tǒng)30和設(shè)備接口系統(tǒng)14可以在Windows NT或Windows 2000工作站32的環(huán)境中實施。不過，本發(fā)明不限于此，因為通信編制器系統(tǒng)可以在許多類型的硬件和軟件系統(tǒng)上實施。雖然所示的通信編制器系統(tǒng)位于和設(shè)備接口系統(tǒng)14相同的計算機上，但通信編制器30可以是一個獨立的裝置，或者位于一個單獨的計算機系統(tǒng)上。
參見圖1，處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20可以是一種先進的過程控制系統(tǒng)例如Brooks-SentinelTM先進的過程控制產(chǎn)品。這種先進的過程控制系統(tǒng)20一般適用于提供從至少一個制造工具12接收的處理數(shù)據(jù)的處理監(jiān)視和處理分析，并適用于向至少一個制造工具12提供呈控制數(shù)據(jù)形式的控制指令。先進的過程控制系統(tǒng)20可以包括先進的運行對運行(run to run)數(shù)據(jù)庫22，運行對運行控制服務(wù)器24，用于接收來自設(shè)備接口系統(tǒng)14的處理數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)服務(wù)器26，以及用于存儲處理數(shù)據(jù)的處理數(shù)據(jù)庫28。
雖然示出并說明了用于半導體制作和制造的處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20，不脫離本發(fā)明的構(gòu)思，處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20可以包括其它的元件，例如處理方法系統(tǒng)。處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20可以只執(zhí)行監(jiān)視和報告的功能，并且可以不包括運行控制元件，這不脫離本發(fā)明的范圍。雖然處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)可以在Unix上實現(xiàn)，但本發(fā)明不限于此，因為處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)可以在許多類型的硬件和軟件系統(tǒng)上實現(xiàn)。
圖9表示通信管理器950的實施例，其中包括通信管理器950的實施例的處理數(shù)據(jù)和控制數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)流。通信管理器950包括通信驅(qū)動器模塊934，用于從設(shè)備接口系統(tǒng)(未示出)接收呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)，并用于向設(shè)備接口系統(tǒng)發(fā)送呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的控制數(shù)據(jù)。
繼續(xù)參看圖9，通信驅(qū)動器模塊向AFC模塊936傳遞處理數(shù)據(jù)902，并接收來自AFC模塊936的控制數(shù)據(jù)902。AFC模塊936把處理數(shù)據(jù)從和特定的通信驅(qū)動器934相關(guān)的通信驅(qū)動器數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換成預定的通信編制器變量。AFC模塊936還把控制數(shù)據(jù)從控制數(shù)據(jù)格式變換成和特定的通信驅(qū)動器934相關(guān)的通信驅(qū)動器數(shù)據(jù)格式。AFC模塊936把處理數(shù)據(jù)904傳遞給通信編制器942，以便配置成為打開的數(shù)據(jù)格式，以便傳遞給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(未示出)。
圖9中的通信處理器936把過程控制數(shù)據(jù)906傳遞給運行控制管理器944，以便傳遞給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(未示出)。運行控制管理器944從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)接收控制數(shù)據(jù)，配置打開的數(shù)據(jù)格式的控制數(shù)據(jù)，并把控制數(shù)據(jù)908傳遞給AFC模塊和通信驅(qū)動器模塊934，以便把數(shù)據(jù)配置成設(shè)備接口系統(tǒng)的數(shù)據(jù)格式。
雖然示出并說明了包括通信驅(qū)動器模塊934，AFC系統(tǒng)936，運行控制管理器944和通信處理器942的通信管理器950，但本發(fā)明不限于此，因為通信管理器950包括為了說明方便被分組化的功能，不脫離本發(fā)明的范圍也可以表示為相同功能的其它的分組。
圖3是通過通信編制器系統(tǒng)330的控制數(shù)據(jù)流的一個實施例。一般地說，控制數(shù)據(jù)用于修改制造工具312的功能，例如調(diào)整制造工具，使得糾正由前一個制造工具帶來的工件的改變。如圖3所示，使用包括本發(fā)明的特征的通信編制器系統(tǒng)330，由處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)320產(chǎn)生的控制數(shù)據(jù)302被傳遞給設(shè)備接口系統(tǒng)314。
參見圖3，利用通信管理器350中的元件接收來自先進的過程控制系統(tǒng)320的呈XML數(shù)據(jù)格式的控制數(shù)據(jù)302，所述通信管理器把控制數(shù)據(jù)304傳遞給運行控制管理器344。運行控制管理器344是一個發(fā)送信息的系統(tǒng)，其管理通信編制器系統(tǒng)330和設(shè)備接口系統(tǒng)以及處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)320的相互作用。運行控制管理器344適用于把運行控制數(shù)據(jù)從XML格式配置成由設(shè)備接口系統(tǒng)314使用的數(shù)據(jù)格式304，例如SECS II或GEM數(shù)據(jù)格式。運行控制管理器344把配置的運行控制數(shù)據(jù)傳遞給通信管理器350，通信管理器把配置的運行控制數(shù)據(jù)傳遞306給設(shè)備接口系統(tǒng)314。
雖然示出并說明了設(shè)備接口系統(tǒng)320，可以使用任何合適的裝置用于控制制造工具312，以便連接制造工具312和通信編制器330，這不脫離本發(fā)明的范圍。
參見圖4，其中示出了包括本發(fā)明的特征的半導體制作和制造過程控制系統(tǒng)410的另一個實施例。通信編制器430包括至少一個通信驅(qū)動器模塊434，用于和每個設(shè)備接口系統(tǒng)414通信。通信驅(qū)動器模塊434提供雙向功能，用于把由設(shè)備接口系統(tǒng)414提供的數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)傳遞給通信編制器430，以便把SECS I，SECS II，或GEM制造工具數(shù)據(jù)變量變換成通信編制器430的變量。
繼續(xù)參見圖4，其中具有至少一個通信驅(qū)動器模塊434，例如FAbuilderTM5.0和6.0，STATIONworksTM，TOMTM，SiViewMateTM或一般的驅(qū)動器模塊，用于和通信編制器430連接的每個設(shè)備接口系統(tǒng)使用的每種類型的通信協(xié)議或數(shù)據(jù)格式。雖然示出了和通信編制器系統(tǒng)430通信的兩個設(shè)備接口系統(tǒng)414，但本發(fā)明不限于此，因為不脫離本發(fā)明的范圍，一個或任何數(shù)量的設(shè)備接口系統(tǒng)414可以和通信編制器系統(tǒng)430通信。
如圖4所示，通信驅(qū)動器模塊434和一種APC(先進的過程控制Advanced Process Control)基礎(chǔ)類(AFC)模塊436通信。AFC模塊436在通信驅(qū)動器模塊434和通信編制器通信系統(tǒng)430之間提供鏈接。AFC模塊436提供雙向通信功能，其使得通信編制器系統(tǒng)430能夠把為設(shè)備接口系統(tǒng)14定義的工具12的變量變換為在通信編制器系統(tǒng)430中定義的變量和對象。AFC模塊436提供一種供設(shè)備接口系統(tǒng)14向通信管理器450發(fā)送處理數(shù)據(jù)的方法。AFC模塊436隔離設(shè)備接口系統(tǒng)14的開發(fā)者，使其不暴露于整個通信編制器系統(tǒng)430，并直接和通信驅(qū)動器模塊434的技術(shù)細節(jié)例如程序庫直接相關(guān)。換句話說，設(shè)備接口系統(tǒng)14的開發(fā)者只需知道少量的連接方法，便可利用通信編制器系統(tǒng)的功能。
因此，設(shè)備接口系統(tǒng)14的開發(fā)者只需理解AFC模塊436的方法，便基本上能夠?qū)嵤┩ㄐ啪幹破?0，不需要知道通信編制器系統(tǒng)的其它模塊的操作的技術(shù)細節(jié)。雖然示出并說明了用于在通信驅(qū)動器模塊434和通信編制器通信系統(tǒng)430之間提供鏈接的AFC模塊，但本發(fā)明不限于此，因為不脫離本發(fā)明的構(gòu)思，AFC模塊可以由若干個模塊、類別和方法組成。
繼續(xù)參見圖4，數(shù)據(jù)探測器438把來自設(shè)備接口系統(tǒng)414的處理數(shù)據(jù)變量變換成通信編制器430的數(shù)據(jù)變量。上述用戶定義的變換存儲在配置數(shù)據(jù)庫440中。數(shù)據(jù)探測器438還使得用戶能夠顯示和選擇過程控制所需的變量。從設(shè)備接口系統(tǒng)414通過數(shù)據(jù)探測器438到用戶的處理數(shù)據(jù)變量包括SECS狀態(tài)變量、SECS設(shè)備常數(shù)、用戶變量、SECS事件、其它的集成元件例如檢測器數(shù)據(jù)與/或標準的機械接口(SMIF)，以及SECS報警。其它的處理數(shù)據(jù)包括數(shù)值(enum)變量、位變量以及室和圖表變量。
由數(shù)據(jù)探測器438進行的從設(shè)備接口系統(tǒng)414到通信編制器430的數(shù)據(jù)變量的變換包括兩個屏面呈現(xiàn)配置中的數(shù)據(jù)對象的等級結(jié)構(gòu)圖的樹圖屏面，和用于顯示在當前選擇的樹圖屏面的分支中的數(shù)據(jù)對象的屬性的列表屏面。用戶從顯示屬性的列表屏面編輯、刪除或拖動到樹圖屏面，以便構(gòu)成配置數(shù)據(jù)。雖然說明了使用兩個顯示屏面的數(shù)據(jù)變量的變換，但本發(fā)明不限于此，因為不脫離本發(fā)明的構(gòu)思，可以使用通常使用的向用戶呈現(xiàn)數(shù)據(jù)的方法以及由用戶管理數(shù)據(jù)的方法，例如從列表中選擇數(shù)據(jù)項，并把數(shù)據(jù)剪裁并粘貼到另一個列表中。
繼續(xù)參看圖4，通信編制器430包括兩個消息通知系統(tǒng)，即通信編制器442和運行控制管理器444。通信編制器442管理從設(shè)備接口系統(tǒng)414接收處理數(shù)據(jù)，并把由數(shù)據(jù)探測器438變換和選擇的處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成XML格式，以便和在處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)420中的數(shù)據(jù)服務(wù)器426通信。
如圖4所示，數(shù)據(jù)管理器446提供通信管理器450的管理，包括管理通信處理器442和運行控制管理器444。例如，數(shù)據(jù)管理器446控制通信處理器442和運行控制管理器444的連接狀態(tài)，例如允許通信處理器442和運行控制管理器444的停止和開始。數(shù)據(jù)管理器還控制每個設(shè)備接口話路的話路連接狀態(tài)，并協(xié)調(diào)呈設(shè)備接口系統(tǒng)格式的控制數(shù)據(jù)向設(shè)備接口系統(tǒng)414的傳輸。
參見圖4，運行控制管理器444從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)420接收控制數(shù)據(jù)，例如故障數(shù)據(jù)和處理調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)，并幫助向設(shè)備接口系統(tǒng)414反饋處理調(diào)節(jié)。處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)420的運行控制服務(wù)器424評價傳輸?shù)奶幚頂?shù)據(jù)，并向Brooks-SentinelTM系統(tǒng)420中的運行數(shù)據(jù)庫22提供運行控制服務(wù)，例如先進的運行。由運行控制管理器444發(fā)送給設(shè)備接口系統(tǒng)414的故障數(shù)據(jù)和處理調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)可以使設(shè)備接口系統(tǒng)414警告操作者暫?；蛘吒淖冎圃旃ぞ?12的處理。
參見圖4，處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)420的運行控制服務(wù)器424還通過運行控制管理器444向設(shè)備接口系統(tǒng)414傳輸從度量衡數(shù)據(jù)導出的物理測量數(shù)據(jù)，使得關(guān)于制造工具12的先前經(jīng)歷的反饋可以根據(jù)前面的處理步驟的結(jié)果(例如使用前饋技術(shù))自動地調(diào)節(jié)隨后的處理步驟。
在操作中，并且參見圖5，處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)14被傳遞給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20。在步驟502，通信編制器30從設(shè)備接口系統(tǒng)14接收呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式例如SECS II或GEM的數(shù)據(jù)。在步驟504，通信編制器30選擇至少一組從設(shè)備接口系統(tǒng)14接收的數(shù)據(jù)，其中所述一組數(shù)據(jù)的定義由通信編制器系統(tǒng)用戶預先規(guī)定，并在步506，把所選擇的一組數(shù)據(jù)配置成為打開格式，例如XML。在步驟508，把配置的數(shù)據(jù)傳遞給處理數(shù)據(jù)系統(tǒng)20。
參見圖6，其中示出了用于說明由通信編制器30從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20向設(shè)備接口系統(tǒng)14傳遞控制數(shù)據(jù)流的流程圖。在步驟602，通信編制器30從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20接收呈打開格式的控制數(shù)據(jù)。在步驟604，通信編制器30把控制數(shù)據(jù)從打開格式配置成為設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式，在步驟606，向設(shè)備接口系統(tǒng)14發(fā)送配置的控制數(shù)據(jù)。
圖7表示其中可以應用本發(fā)明的系統(tǒng)700的另一個實施例，其中包括位于和設(shè)備接口系統(tǒng)714分開的單獨的計算機系統(tǒng)702上的通信編制器系統(tǒng)730。設(shè)備接口系統(tǒng)714也和制造執(zhí)行系統(tǒng)716通信。此外，通信編制器系統(tǒng)730只以數(shù)據(jù)收集模式工作，并由唯一的一個通信線704和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)720相連。此外，處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)720不向設(shè)備接口系統(tǒng)714提供過程控制數(shù)據(jù)。因此，只有一個通信線路706位于通信編制器系統(tǒng)730和設(shè)備接口系統(tǒng)714之間。
本發(fā)明可以包括包含在單獨的計算機上執(zhí)行的上述的步驟和指令的軟件和計算機程序。如圖8所示，計算機系統(tǒng)800可以和另一個計算機系統(tǒng)802相連，使得計算機800和802能夠相互發(fā)送信息，并相互接收信息。在一個實施例中，計算機系統(tǒng)810可以包括適用于和網(wǎng)絡(luò)例如以太網(wǎng)通信的服務(wù)器計算機。計算機系統(tǒng)800和802可以用任何常規(guī)的方式連接在一起，包括調(diào)制解調(diào)器、硬線連接或者光纖連接。
一般地說，使用一般在通信信道(例如互聯(lián)網(wǎng)或通過在ISDN線路上的撥號連接)上發(fā)送的通信協(xié)議可以使信息成為對兩個計算機系統(tǒng)800可利用的。計算機系統(tǒng)800和802一般適用于包含機器可讀的程序源代碼的程序存儲裝置，所述源代碼適用于使計算機800和802執(zhí)行本發(fā)明的方法步驟。
可以作為利用光學、磁性能與/或電子線路的機器的一個元件來設(shè)計、制造和使用包含本發(fā)明的特征的程序存儲裝置，用于執(zhí)行本發(fā)明的處理和方法。在另一個實施例中，程序存儲裝置可以包括磁介質(zhì)例如軟盤或計算機硬盤驅(qū)動器，其可以由計算機讀取和執(zhí)行。在其它的另外的實施例中，程序存儲裝置可以包括光盤、只讀存儲器(ROM)軟盤、以及半導體材料和芯片。
計算機系統(tǒng)800和802還可以包括用于執(zhí)行存儲的程序的微處理器。計算機800可以包括在其程序存儲裝置上的數(shù)據(jù)存儲裝置804，用于存儲信息和數(shù)據(jù)。包括含有本發(fā)明的特征的處理和方法步驟的計算機程序或軟件可被存儲在一個或幾個計算機800和802內(nèi)或其它常規(guī)的程序存儲裝置上。在一個實施例中，計算機800和802可以包括用戶接口806，通過所述接口可以訪問本發(fā)明的特征。可以使用戶接口和顯示接口適用于能夠?qū)ο到y(tǒng)30輸入詢問和指令，并呈現(xiàn)所述指令和詢問的結(jié)果。計算機800和802可以包括顯示裝置807，例如打印機或顯示屏，用于顯示計算機的輸出例如顯示報告。
應當理解，上面的說明僅僅是說明性的，用于說明本發(fā)明。不脫離本發(fā)明的構(gòu)思，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以作出許多改變和改型。例如，雖然示出并說明了和處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)通信的通信編制器系統(tǒng)，但本發(fā)明不限于此，因為任何用于從設(shè)備接口系統(tǒng)接收處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)都可以使用所述通信編制器系統(tǒng)作為一個接口。
此外，雖然一些功能和特定的模塊相關(guān)，例如通信管理器，本發(fā)明不限于此，因為不脫離本發(fā)明發(fā)構(gòu)思可以使用所披露的功能的其它的組合。因而，本發(fā)明旨在包括所有這種改變、改型和替換，它們都落在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于在過程控制系統(tǒng)中的多個裝置之間傳遞處理數(shù)據(jù)的方法，所述方法包括以下步驟接收來自一個設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)；選擇一組從所述設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送到一個處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；把選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成一種打開格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；以及把配置的處理數(shù)據(jù)發(fā)送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟從所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)接收呈打開格式的控制數(shù)據(jù)，以對設(shè)備接口系統(tǒng)提供反饋；把所述控制數(shù)據(jù)從打開格式配置成為設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式；以及向設(shè)備接口系統(tǒng)發(fā)送所述配置的控制數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中在所述接收控制數(shù)據(jù)的步驟中，所述控制數(shù)據(jù)是故障數(shù)據(jù)。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，其中在所述接收控制數(shù)據(jù)的步驟中，所述控制數(shù)據(jù)是處理調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中選擇一組處理數(shù)據(jù)的步驟還包括為設(shè)備接口系統(tǒng)定義多組處理數(shù)據(jù)。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中在把數(shù)據(jù)配置成打開格式的步驟中，所述打開格式是可擴展標記語言XML。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括根據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)確定統(tǒng)計信息的步驟。
8.一種通信編制器裝置，用于在過程控制系統(tǒng)內(nèi)的多個裝置之間傳送處理數(shù)據(jù)，所述裝置包括通信管理器，其適用于把從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)格式化成為適用于通信編制器的格式；數(shù)據(jù)探測器，用于選擇預定的一組通信編制器數(shù)據(jù)格式處理數(shù)據(jù)以報告給處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；其中所述通信管理器還適用于把所述選擇的一組處理數(shù)據(jù)配置為打開數(shù)據(jù)格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，并適用于傳送所配置的處理數(shù)據(jù)到所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；以及一個數(shù)據(jù)管理器，用于提供所述通信管理器的監(jiān)視和管理。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述通信管理器還適用于從處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)接收呈打開格式的控制數(shù)據(jù)，用于對設(shè)備接口系統(tǒng)提供反饋；其中所述通信編制器系統(tǒng)還包括一個運行控制管理器，用于把控制數(shù)據(jù)從打開格式配置成為設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式；并且其中通信管理器還適用于把配置的控制數(shù)據(jù)傳送到設(shè)備接口系統(tǒng)。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述控制數(shù)據(jù)是故障數(shù)據(jù)。
11.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述控制數(shù)據(jù)是處理調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)。
12.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中數(shù)據(jù)探測器還適用于為設(shè)備接口系統(tǒng)定義多組處理數(shù)據(jù)。
13.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述的打開數(shù)據(jù)格式是可擴展標記語言XML。
14.一種計算機程序產(chǎn)品，所述程序產(chǎn)品包括計算機可用的介質(zhì)，其具有被包括在其中的計算機可讀的代碼裝置，用于使計算機在過程控制系統(tǒng)的多個裝置之間傳送處理數(shù)據(jù)，在所述計算機程序產(chǎn)品中的所述計算機可讀的代碼裝置包括用于使計算機接收來自一個設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)的計算機可讀的程序代碼裝置；用于使計算機選擇一組從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)的計算機可讀的程序代碼裝置，用于傳送給一個處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；用于使計算機把所選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置為打開格式的計算機可讀的程序代碼裝置，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)；以及用于使計算機把所配置的數(shù)據(jù)傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)的計算機可讀的程序代碼裝置。
15.如權(quán)利要求14所述的計算機程序產(chǎn)品，還包括用于使計算機接收來自處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)的呈打開數(shù)據(jù)格式的控制數(shù)據(jù)的計算機可讀的程序代碼裝置，用于對設(shè)備接口系統(tǒng)提供反饋；用于使計算機把所述控制數(shù)據(jù)從打開數(shù)據(jù)格式配置成為設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的計算機可讀的程序代碼裝置；用于使計算機把配置的控制數(shù)據(jù)傳送給設(shè)備接口系統(tǒng)的計算機可讀的程序代碼裝置。
16.如權(quán)利要求15所述的計算機程序產(chǎn)品，其中所述控制數(shù)據(jù)是故障數(shù)據(jù)。
17.如權(quán)利要求15所述的計算機程序產(chǎn)品，其中所述控制數(shù)據(jù)是處理調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)。
18.如權(quán)利要求14所述的計算機程序產(chǎn)品，還包括用于使計算機確定多組處理數(shù)據(jù)以便從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的計算機可讀的程序代碼裝置。
19.如權(quán)利要求14所述的計算機程序產(chǎn)品，其中所述的打開數(shù)據(jù)格式是可擴展標記語言XML。
20.如權(quán)利要求14所述的計算機程序產(chǎn)品，還包括用于根據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)確定統(tǒng)計信息的計算機可讀的程序代碼裝置。
21.一種半導體制作和制造過程控制系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括處理數(shù)據(jù)控制裝置，其適用于提供從至少一個制造工具接收的處理數(shù)據(jù)的處理監(jiān)視和處理分析，并適用于對所述至少一個制造工具提供控制指令；設(shè)備接口裝置，其適用于接收來自至少一個相關(guān)的制造工具的數(shù)據(jù)，并根據(jù)從所述處理數(shù)據(jù)控制裝置接收的控制指令對所述至少一個相關(guān)的制造工具提供控制，以及通信編制器裝置，其適用于在所述處理控制裝置和所述設(shè)備接口裝置之間進行連接，并幫助處理控制裝置和設(shè)備接口裝置之間進行的信息通信和數(shù)據(jù)通信，所述通信編制器裝置適用于接收來自所述設(shè)備接口系統(tǒng)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)，選擇一組從所述設(shè)備接口系統(tǒng)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，把選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成打開格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，以及把所述配置的處理數(shù)據(jù)傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
全文摘要
一種用于在過程控制系統(tǒng)(20)中的多個裝置(12)之間傳遞處理數(shù)據(jù)的方法，所述方法包括以下步驟接收來自設(shè)備接口系統(tǒng)(14)的呈設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式的處理數(shù)據(jù)，以及選擇一組從設(shè)備接口系統(tǒng)(14)接收的處理數(shù)據(jù)，用于傳送到一個處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)。所述方法還包括把選擇的一組處理數(shù)據(jù)從設(shè)備接口系統(tǒng)數(shù)據(jù)格式配置成一種打開的格式，以便傳送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)，以及把配置的處理數(shù)據(jù)發(fā)送給所述處理數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)。
文檔編號G05B15/02GK1578935SQ02821648
公開日2005年2月9日 申請日期2002年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月31日
發(fā)明者艾邵克·R.·特里帕斯, 姆塔庫瑪·拉瑪鈴甘, 戴維·魯克斯塔利斯 申請人:布魯克斯自動控制公司