技術(shù)編號：6282224
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板處理裝置、基板處理條件變更方法和存儲介質(zhì)，特別是，涉及一種變更基板處理條件的基板處理裝置、基板處理條件變更方法和存儲介質(zhì)。背景技術(shù) 對作為基板的晶片進(jìn)行規(guī)定處理，例如等離子處理的基板處理裝置，在通常情況下，在處理一個晶片期間，不能變更對該晶片進(jìn)行的等離子處理的處理條件。另外，基板處理裝置所執(zhí)行的等離子處理的處理條件稱為工序制法(下面，僅稱為“制法(recipe)”)，制法被保存到與基板處理裝置連接的服務(wù)器等中?；逄幚硌b置具有工序單元，對...
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