技術(shù)編號：6281553
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種統(tǒng)計工藝控制方法，且特別有關(guān)于一種半導(dǎo)體群集的高效能統(tǒng)計工藝控制(Statistical Process Control, SPC )系統(tǒng)與方法。技術(shù)背景現(xiàn)今的12吋半導(dǎo)體廠為了生產(chǎn)資源分享的考量，會將多個半導(dǎo)體的生 產(chǎn)動線予以機動調(diào)整混合，故一批晶片在A晶片廠進入自動搬運系統(tǒng) (AMHS)以在各機臺執(zhí)行工藝時，可能需移動至B晶片廠的機臺執(zhí)行工藝， 而實際上A晶片與B晶片廠為兩個獨立不相關(guān)的實體工廠。若再加上其它 備援晶片廠，則所有晶片廠...
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