技術(shù)編號：6270934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體工藝領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù) 半導體設備中的工藝過程控制非常復雜，這種復雜不僅體現(xiàn)在控制時序和控制邏輯上的復雜，而且體現(xiàn)在對于設備狀態(tài)高可靠性監(jiān)測方面的要求。半導體工藝過程中，工控機需要控制的受控部件很多，需要處理的信號和數(shù)據(jù)以千百計，因此對這些信號和數(shù)據(jù)進行有效的監(jiān)控、保證系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性顯得非常重要。本發(fā)明在于解決其中的一個技術(shù)難題監(jiān)測設備狀態(tài)信號并且高可靠性地判別設備狀態(tài)異常，避免誤判和誤發(fā)告警信號。發(fā)明內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)...
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