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一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)和晶圓測(cè)試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6251039

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本發(fā)明公開了,所述系統(tǒng)包括飛針測(cè)試機(jī)和載板,飛針測(cè)試機(jī)用于對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行測(cè)試,載板用于在飛針測(cè)試機(jī)上承載待測(cè)晶圓,并提供與飛針測(cè)試機(jī)的夾板框相對(duì)應(yīng)的對(duì)位標(biāo)記以及載板版圖,載板版圖與待測(cè)晶圓的版圖配合形成待測(cè)試版圖文件,待測(cè)試版圖文件導(dǎo)入所述飛針測(cè)試機(jī)的軟件操作系統(tǒng)后形成測(cè)試圖形文件。本發(fā)明能夠通過(guò)飛針測(cè)試機(jī)對(duì)各類轉(zhuǎn)接板晶圓或無(wú)源集成器件的晶圓進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,且對(duì)不同版圖的晶圓測(cè)試,無(wú)需購(gòu)買自動(dòng)探針臺(tái),并且不用根據(jù)不同版圖的待測(cè)晶圓定制相應(yīng)的昂貴探針卡,提高...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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