技術編號：6231527
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種壓電諧振器應用的方法，具體地說，是。背景技術壓電薄膜體聲波諧振器是近年來在射頻通信和生化傳感領域中受到廣泛關注的新型微納諧振器件。在生化傳感領域中，該器件基于吸附質量的敏感原理，以壓電薄膜產生高頻電聲諧振，其諧振頻率、相位或振幅隨檢測物質的變化作為傳感器的響應。這種傳感器靈敏度非常高，并且可以在硅片上采用現有半導體工藝進行制造，器件體積小，適合大規(guī)模集成形成傳感器陣列。該類傳感器有希望應用于化學物質分析以及生物基因檢測、蛋白質分析等方面。...
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