技術(shù)編號(hào)：6189153
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種傳感器件，所述傳感器件包括設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上的至少一個(gè)傳感器區(qū)域，所述傳感器區(qū)域包括設(shè)置在所述半導(dǎo)體襯底上的多晶硅垂直電極，所述多晶硅垂直電極形成傳感電容，每個(gè)垂直電極作為所述傳感電容的一個(gè)極板，所述垂直電極的極板之間有敏感膜片，所述敏感膜片與環(huán)境具有第一接觸面，透過所述第一接觸面吸收環(huán)境中待檢測(cè)物質(zhì)后，改變所述傳感電容的電容值，所述傳感電容根據(jù)所述介電常數(shù)變化生成變化的電容信號(hào)；至少一個(gè)傳導(dǎo)器件，從所述第二表面朝向所述第一表面貫穿所述半導(dǎo)體...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。