技術(shù)編號：6176399
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種過孔的檢測方法和檢測裝置，所述過孔設(shè)置于膜層中，所述檢測方法包括向所述過孔的內(nèi)壁發(fā)射入射光線；接收由所述內(nèi)壁反射形成的第一反射光線和由所述膜層的下底面反射形成的第二反射光線；根據(jù)所述第一反射光線和所述第二反射光線生成干涉圖樣；根據(jù)所述干涉圖樣檢測所述過孔的內(nèi)壁參數(shù)。本發(fā)明提供的檢測方法利用了光的干涉原理，實(shí)現(xiàn)了對過孔的實(shí)時檢測，更重要的是，該檢測方法不用破壞待檢測的產(chǎn)品，有效的節(jié)約了經(jīng)濟(jì)成本。專利說明過孔的檢測方法和檢測裝置[0001]本發(fā)...
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