技術(shù)編號：6172472
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工，公開了一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架，調(diào)整熱偶支撐架高度的升降機構(gòu)，支撐升降機構(gòu)的支撐腿，所述支撐腿與升降機構(gòu)均連接在支撐動平臺上，所述支撐腿為三個連桿，所述連桿一端與所述支撐動平臺可轉(zhuǎn)動連接，所述連桿的另一端與傳動部件可轉(zhuǎn)動連接。本發(fā)明熱偶升降裝置可對熱偶進行三個方向的移動，節(jié)約人力，操作方便。專利說明一種熱偶升降裝置[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工，特別是涉及一種熱偶升降裝置。背景技術(shù)[0002]為了測量半導(dǎo)體擴散設(shè)備的爐體恒溫...
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