一種熱偶升降裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，公開(kāi)了一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架，調(diào)整熱偶支撐架高度的升降機(jī)構(gòu)，支撐升降機(jī)構(gòu)的支撐腿，所述支撐腿與升降機(jī)構(gòu)均連接在支撐動(dòng)平臺(tái)上，所述支撐腿為三個(gè)連桿，所述連桿一端與所述支撐動(dòng)平臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連桿的另一端與傳動(dòng)部件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本發(fā)明熱偶升降裝置可對(duì)熱偶進(jìn)行三個(gè)方向的移動(dòng)，節(jié)約人力，操作方便。
【專利說(shuō)明】一種熱偶升降裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種熱偶升降裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了測(cè)量半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的爐體恒溫區(qū)的長(zhǎng)度，確定恒溫區(qū)的位置，確定生產(chǎn)硅片的位置，需要將熱偶(長(zhǎng)約1000mm)在爐體內(nèi)進(jìn)行升降操作。因此，需要熱偶升降裝置，支撐熱偶實(shí)現(xiàn)豎直方向的直線運(yùn)動(dòng)。
[0003]目前的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的熱偶升降裝置的底部多為固定的支撐架，因此，熱偶相對(duì)于工藝門(mén)的拉溫區(qū)孔的位置的調(diào)整操作很不方便。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的熱偶升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，熱偶升降裝置采用鋼材質(zhì)為支撐結(jié)構(gòu)，整個(gè)裝置的質(zhì)量較高，采用電機(jī)7驅(qū)動(dòng)，利用帶輪8、帶9實(shí)現(xiàn)熱偶支撐架Ia上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。該裝置的底部支撐為固定支撐腿11，不能進(jìn)行水平位置調(diào)整，只能靠工作人員手動(dòng)搬運(yùn)，現(xiàn)場(chǎng)工作人員操作極不方便。
[0004]熱偶支撐架Ia的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中需要直線導(dǎo)軌10進(jìn)行導(dǎo)向，而直線導(dǎo)軌10安裝在一根導(dǎo)軌支撐上，為了保證直線導(dǎo)軌10的直線度，需要對(duì)導(dǎo)軌支撐精加工，提高了成本，同時(shí)導(dǎo)軌支撐一般質(zhì)量較高，造成整個(gè)裝置的不穩(wěn)定。帶傳動(dòng)過(guò)程中，由于裝配松緊程度變化，引起滑動(dòng)，影響傳動(dòng)的精確程度。整個(gè)直線運(yùn)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)不夠緊湊，電機(jī)7、直線導(dǎo)軌10等所占空間較大，整個(gè)運(yùn)動(dòng)控制過(guò)程不夠精確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何實(shí)現(xiàn)熱偶升降裝置中，熱偶支撐架具有三個(gè)方向均可移動(dòng)的功能。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架，調(diào)整熱偶支撐架高度的升降機(jī)構(gòu)，支撐升降機(jī)構(gòu)的支撐腿，所述支撐腿與升降機(jī)構(gòu)均連接在支撐動(dòng)平臺(tái)上，所述支撐腿為三個(gè)連桿，所述連桿一端與所述支撐動(dòng)平臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連桿的另一端與傳動(dòng)部件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0009]其中，所述連桿與支撐動(dòng)平臺(tái)通過(guò)虎克鉸鏈連接。
[0010]其中，所述連桿與傳動(dòng)部件通過(guò)虎克鉸鏈連接。
[0011]其中，所述傳動(dòng)部件為第二氣缸，所述第二氣缸的活塞桿與虎克鉸鏈采用螺紋連接方式連接。
[0012]其中，所述升降機(jī)構(gòu)為第一氣缸。
[0013]其中，所述第一氣缸與熱偶支撐架可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0014]其中，所述熱偶支撐架、支撐動(dòng)平臺(tái)、連桿均采用鋁材質(zhì)。
[0015]其中，所述第二氣缸安裝在固定地腳上。
[0016](三)有益效果[0017]上述技術(shù)方案所提供的一種熱偶升降裝置，其支撐腿為三個(gè)連桿，連桿一端與支撐動(dòng)平臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，連桿的另一端與傳動(dòng)部件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，本發(fā)明可對(duì)熱偶進(jìn)行三個(gè)方向的移動(dòng)，節(jié)約人力，操作方便；此外，本發(fā)明熱偶升降裝置還采用氣壓傳動(dòng)代替現(xiàn)有的帶傳動(dòng)，對(duì)熱偶位置的調(diào)整更加精確，且結(jié)構(gòu)緊湊。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的熱偶升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明一種熱偶升降裝置的示意圖。
[0020]其中，1、熱偶支撐架；la、熱偶支撐架；2、第一氣缸；3、支撐動(dòng)平臺(tái)；4、連桿；5、第二氣缸；6、固定地腳；7、電機(jī)；8、帶輪；9、帶；10、直線導(dǎo)軌；11、固定支撐腿。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0022]如圖2，為本發(fā)明一種熱偶升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括熱偶支撐架1，熱偶支撐架I用于支撐熱偶，調(diào)整熱偶支撐架I高度的升降機(jī)構(gòu)第一氣缸2，第一氣缸2與熱偶支撐架I可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，支撐升降機(jī)構(gòu)的支撐腿，支撐腿與第一氣缸2均連接在支撐動(dòng)平臺(tái)3上，支撐腿為三個(gè)連桿4，連桿4 一端與所述支撐動(dòng)平臺(tái)3通過(guò)虎克鉸鏈連接，連桿4的另一端與傳動(dòng)部件第二氣缸5通過(guò)虎克鉸鏈連接，第二氣缸5的活塞桿與虎克鉸鏈采用螺紋連接方式連接，第二氣缸5安裝在固定地腳6上，固定地腳6起到與地面固定的作用，保證熱偶升降裝置的水平，支撐三個(gè)小型第二氣缸；熱偶支撐架1、支撐動(dòng)平臺(tái)3、連桿4均采用鋁材質(zhì)，鋁材質(zhì)使熱偶升降裝置質(zhì)量較輕，易于實(shí)現(xiàn)熱偶的三維移動(dòng)調(diào)整操作。
[0023]本發(fā)明熱偶升降裝置中，每個(gè)連桿4有5個(gè)自由度，三個(gè)連桿4構(gòu)成的整體可以實(shí)現(xiàn)三個(gè)方向的移動(dòng)，而無(wú)轉(zhuǎn)動(dòng)。工作過(guò)程中，底部的3個(gè)小型的第二氣缸5實(shí)現(xiàn)熱偶升降裝置在豎直方向上的小幅度上、下運(yùn)動(dòng)，在豎直方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，要機(jī)械鎖緊第二氣缸5與連桿4間的三個(gè)虎克鉸鏈，從而調(diào)節(jié)本發(fā)明熱偶升降裝置的整體高度。當(dāng)本發(fā)明熱偶升降裝置需要進(jìn)行水平方向移動(dòng)時(shí)，對(duì)連桿4與第二氣缸5間的虎克鉸鏈解鎖，第二氣缸5的活塞桿伸縮，從而可以實(shí)現(xiàn)熱偶升降裝置水平位置的調(diào)整，克服了現(xiàn)有裝置中，通過(guò)人工搬運(yùn)來(lái)改變熱偶升降裝置的水平位置。
[0024]本發(fā)明熱偶升降裝置中，調(diào)整熱偶高度時(shí)，采用一個(gè)可以實(shí)時(shí)反饋的第一氣缸2實(shí)現(xiàn)熱偶支撐架I的上、下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)第一氣缸2活塞桿的伸縮實(shí)現(xiàn)熱偶支撐架I高度位置變換。采用氣缸作為驅(qū)動(dòng)裝置，使結(jié)構(gòu)更加緊湊，避免了現(xiàn)有技術(shù)中，外部驅(qū)動(dòng)，如電機(jī)驅(qū)動(dòng)，造成的占據(jù)空間大的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了裝置結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化，并提高了傳動(dòng)精度；用于升降熱偶支撐架I的第一氣缸2與熱偶支撐架I通過(guò)一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈連接，在需要小幅轉(zhuǎn)動(dòng)熱偶時(shí)，則對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈解鎖，實(shí)現(xiàn)熱偶支撐架I的轉(zhuǎn)動(dòng)。在升降熱偶時(shí)，鎖緊轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈，從而使第一氣缸2驅(qū)動(dòng)熱偶支撐架I升降運(yùn)動(dòng)。
[0025]上述虎克鉸鏈可替換為其它公知的能實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)的部件，如兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈；
[0026]上述氣壓傳動(dòng)可替換為其它公知的能實(shí)現(xiàn)直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的部件，如液壓傳動(dòng)。
[0027]本發(fā)明熱偶升降裝置，可對(duì)熱偶進(jìn)行三個(gè)方向的移動(dòng)，節(jié)約人力，操作方便；此外，本發(fā)明熱偶升降裝置還采用氣壓傳動(dòng)代替現(xiàn)有的帶傳動(dòng)，對(duì)熱偶位置的調(diào)整更加精確，且結(jié)構(gòu)緊湊。
[0028]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架(1)，調(diào)整熱偶支撐架(I)高度的升降機(jī)構(gòu)，支撐升降機(jī)構(gòu)的支撐腿，其特征在于，所述支撐腿與升降機(jī)構(gòu)均連接在支撐動(dòng)平臺(tái)(3)上，所述支撐腿為三個(gè)連桿(4)，所述連桿(4) 一端與所述支撐動(dòng)平臺(tái)(3)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連桿(4)的另一端與傳動(dòng)部件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述連桿(4)與支撐動(dòng)平臺(tái)(3)通過(guò)虎克鉸鏈連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述連桿(4)與傳動(dòng)部件通過(guò)虎克鉸鏈連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)部件為第二氣缸(5)，所述第二氣缸(5)的活塞桿與虎克鉸鏈采用螺紋連接方式連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)為第一氣缸(2)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述第一氣缸(2)與熱偶支撐架(I)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述熱偶支撐架(I)、支撐動(dòng)平臺(tái)(3)、連桿(4)均采用鋁材質(zhì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱偶升降裝置，其特征在于，所述第二氣缸(5)安裝在固定地腳(6 )上。
【文檔編號(hào)】G01K1/14GK103542947SQ201310334994
【公開(kāi)日】2014年1月29日 申請(qǐng)日期:2013年8月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月2日
【發(fā)明者】郝琪, 林欣家, 董金衛(wèi) 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司