技術(shù)編號(hào):6155968
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種探針卡,且特別是有關(guān)于一種主動(dòng)式非接觸的探針卡。 背景技術(shù)由于半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,使得集成電路(Integrated Circuit,IC)體積微型化、功能多元化以及處理速度、頻率增加的要求得以實(shí)現(xiàn)。為達(dá)此要求,必須增加IC的 輸入/輸出(I/O)接點(diǎn)以滿(mǎn)足多功信號(hào)處理的需求。如此,使得I/O接點(diǎn)的配置朝向成 高密度矩陣分布與非接觸的電容耦合方式的信號(hào)傳輸,以降低芯片面積并得以提升處理 速度。在進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試時(shí),可使用非接觸式的探針卡來(lái)...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。