技術編號：6154128
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明有關一種探針卡組件及其中的探針座，特別是應用于晶片測試的探針卡組件及其中的探針座。背景技術在半導體的晶片制作工藝中，晶片切割前為了測試晶片上芯片(die)的良莠， 必須使用高性能的探針卡(probe card)來執(zhí)行晶片測試，如先前技術中的美國專利 US7304488、US7271603、US7053638等所揭露。探針卡上具有精密的測試探針，用來與待測 晶片接觸，導通電路，并執(zhí)行電性測試，以確保芯片的電氣特性與效能是依照設計規(guī)格制造 出來。近年來，...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權(quán)，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。