技術(shù)編號：6150755
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于納米微加工中的臺(tái)階標(biāo)準(zhǔn)樣品的制作，特別涉及一種利用氧 化物晶體表面自然臺(tái)階制作。背景技術(shù)隨著納米技術(shù)及納米技術(shù)中的微加工技術(shù)的發(fā)展，對納米到微米尺度范圍的測試 精度要求越來越高。很多納米技術(shù)的關(guān)鍵領(lǐng)域，如高密度信息儲(chǔ)存、超大規(guī)模集成電路、生 物芯片等研究中的發(fā)展都離不開對納米尺度薄膜厚度及臺(tái)階高度的精確測量。納米到微米 尺度范圍的尺度測量設(shè)備中，如掃描探針顯微鏡、原子力顯微鏡、臺(tái)階儀，輪廓儀等，必須定 期進(jìn)行可溯源校準(zhǔn)才能得到可信的數(shù)據(jù)。因此，提...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。