技術(shù)編號:6136070
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多個半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備,尤其涉及一種用來用多個測試儀對分為一組或多組的多個半導(dǎo)體器件中每一個進(jìn)行電特性測試的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備。而且,本發(fā)明還涉及一種用來用多個測試儀對多種成組多個半導(dǎo)體器件進(jìn)行電特性測試的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備。作為一種傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備,例如,在日本公開專利文件(JP-A-平-5-26959)中提出了一種半導(dǎo)體器件測試設(shè)備。在該半導(dǎo)體器件測試設(shè)備中,即使由一個測試儀測量的半導(dǎo)體器件的數(shù)目同時增多,也不必修改對...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。