技術(shù)編號(hào)：6121239
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種對(duì)形成于TFT陣列基板等基板上的陣列進(jìn)行檢 查的TFT陣列基板檢查裝置。背景技術(shù)10 TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶體管)陣列基板檢查裝置，是利用缺陷檢測(cè)用信號(hào)圖案驅(qū)動(dòng)TFT陣列基板，并借由對(duì)此時(shí)的驅(qū)動(dòng) 狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)而檢查缺陷位置或缺陷種類等，由此判斷整個(gè)陣列的優(yōu) 劣程度?？墒褂酶鞣N方法對(duì)該TFT陣列驅(qū)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，例如，借 由照射電子束或者光而進(jìn)行的方法、對(duì)流經(jīng)TFT的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的方15 法等。于借由照射電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。