技術(shù)編號:6115396
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微觀檢測裝置(micro inspection apparatus),用于檢測諸如液晶顯示器(LCD)和等離子顯示面板(PDP)等平板顯示裝置中所使用的平面玻璃面板。背景技術(shù) 通常,在諸如LCD和PDP等平板顯示裝置中所使用的平面玻璃面板,通過檢查員用眼睛檢查玻璃面板缺陷的宏觀檢測裝置、用于檢測玻璃面板的微觀檢測裝置進行檢測,同時使用顯微鏡以及檢查員用眼睛對玻璃面板進行第一次檢測的宏-微觀檢測裝置放大玻璃面板的各個部分,并使用顯微鏡精確地檢測...
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