專利名稱：：用于玻璃面板的微觀檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種微觀檢測(cè)裝置(microinspectionapparatus)，用于檢測(cè)諸如液晶顯示器(LCD)和等離子顯示面板(PDP)等平板顯示裝置中所使用的平面玻璃面板。
背景技術(shù)：
：通常，在諸如LCD和PDP等平板顯示裝置中所使用的平面玻璃面板，通過檢查員用眼睛檢查玻璃面板缺陷的宏觀檢測(cè)裝置、用于檢測(cè)玻璃面板的微觀檢測(cè)裝置進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)使用顯微鏡以及檢查員用眼睛對(duì)玻璃面板進(jìn)行第一次檢測(cè)的宏-微觀檢測(cè)裝置放大玻璃面板的各個(gè)部分，并使用顯微鏡精確地檢測(cè)玻璃面板。將參照?qǐng)D1至圖6描述使用顯微鏡檢測(cè)玻璃面板的傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置。圖1是示出了傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的實(shí)例的透視圖，而圖2是示出了圖1中A部分的放大透視圖。如圖所示，固定有玻璃面板(未示出)的工作臺(tái)(未示出)安裝在構(gòu)成微觀檢測(cè)裝置本體的劃線臺(tái)(surfacetable)100上。在工作臺(tái)下面安裝有光源燈300，用于向玻璃面板發(fā)光。在工作臺(tái)上方安裝有顯微鏡200，其利用光源燈300發(fā)出的光檢測(cè)玻璃面板的缺陷。顯微鏡200和光源燈300必須檢查整個(gè)玻璃面板，該玻璃面板具有很大的面積。為此，將顯微鏡200和光源燈300構(gòu)造成，使得顯微鏡200和光源燈300可以在劃線臺(tái)100上方沿X軸和Y軸方向移動(dòng)。顯微鏡200和光源燈300向相同位置移動(dòng)。具體地，顯微鏡200安裝在劃線臺(tái)100上方，同時(shí)顯微鏡200與劃線臺(tái)100間隔開。顯微鏡200連接在橋400的一側(cè)，橋400可沿形成于劃線臺(tái)100相對(duì)邊的軌道101線性移動(dòng)。顯微鏡200安裝在橋400上，從而顯微鏡200可以在垂直于軌道101延伸方向的方向上移動(dòng)。因此，顯微鏡200可以在X軸和Y軸方向上移動(dòng)。另一方面，光源燈300沿著安裝在劃線臺(tái)100上方的軌道301和302移動(dòng)，從而光源燈300可以在X軸方向和Y軸方向上移動(dòng)。通過用于控制光源燈300和顯微鏡200的控制程序，光源燈300和顯微鏡200移動(dòng)到相同的位置。圖3至圖5示出了固定有玻璃面板600的工作臺(tái)500。圖3是示出了傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置中使用的工作臺(tái)實(shí)例的透視圖，圖4是示意性示出了具有圖3中所示的工作臺(tái)的傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的縱向截面視圖，而圖5是示出了圖4中B部分的放大視圖。如圖所示，通孔540垂直地形成在構(gòu)成工作臺(tái)500本體的框架510的中央。在通孔540中設(shè)置有用于支撐玻璃面板600的多個(gè)支撐桿520。每個(gè)支撐桿520上安裝有用于支撐玻璃面板600的多個(gè)支撐螺栓530。支撐螺栓530安裝在每個(gè)支撐桿520上，從而當(dāng)每個(gè)支撐桿520下垂時(shí)，可以通過支撐螺栓530調(diào)整每個(gè)支撐桿520的頂面高度。因此，當(dāng)將玻璃面板600放置在支撐桿520的頂面上時(shí)，由于空氣壓力玻璃面板被吸附到安裝在框架510上的吸附板(未示出)上，從而使玻璃面板600固定在工作臺(tái)500上。玻璃面板600固定到工作臺(tái)500上之后，使用顯微鏡200和光源燈300檢測(cè)玻璃面板600的缺陷。如圖6所示，光源燈300包括殼體310，其構(gòu)成光源燈300的本體；開口320，形成在殼體310的上部，使光可以穿過射出；以及發(fā)光燈330，安裝在殼體310內(nèi)，用于將光通過開口320發(fā)射到玻璃面板600上。為了實(shí)現(xiàn)來自光源燈300的均勻光照射，通孔540垂直形成在工作臺(tái)500的中央，用于支撐玻璃面板600的支撐桿520設(shè)置在通孔540內(nèi)，由于支撐桿520下垂而用來校正支撐桿520高度的支撐螺栓530，安裝在支撐桿上，如上所述。支撐桿520由透明玻璃材料制成，從而光源燈300發(fā)出的光均勻地照射在玻璃面板600上。然而，在傳統(tǒng)的微觀檢測(cè)裝置中，顯微鏡和光源燈通過單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)單元來驅(qū)動(dòng)，從而顯微鏡和光源燈可以向相同的位置移動(dòng)。因此，難以控制顯微鏡和光源燈。此外，當(dāng)反復(fù)使用傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置時(shí)，可能發(fā)生操作錯(cuò)誤，結(jié)果使得很難將顯微鏡和光源燈精確地移動(dòng)到相同位置。而且，由于顯微鏡和光源燈通過單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)單元來移動(dòng)，傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)很復(fù)雜，因此，很難維護(hù)和修理傳統(tǒng)的微觀檢測(cè)裝置。此外，支撐桿由諸如玻璃等透明材料制成，以實(shí)現(xiàn)從光源燈發(fā)出的均勻光照射。結(jié)果，降低了支撐桿的強(qiáng)度，并因此，增加了支撐桿的數(shù)量和玻璃面板的下垂量。為了解決該問題，用于校正支撐桿高度的支撐螺栓安裝在傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的支撐桿上。然而，需要大量的支撐螺栓，以均勻支撐玻璃面板的整個(gè)表面。而且，需要花費(fèi)太多時(shí)間來校正各個(gè)支撐螺栓的高度。而且，玻璃面板僅固定到工作臺(tái)的框架上，結(jié)果使得固定力是有限的。從而，在檢測(cè)過程中玻璃面板可能移動(dòng)，因此，不可能精確地檢測(cè)玻璃面板。而且，每個(gè)支撐螺栓通過鎖緊螺母531連接到相應(yīng)的支撐桿上，而球軸承532安裝到每個(gè)支撐螺栓的上端，在上端每個(gè)支撐螺栓均與玻璃面板的后表面相接觸，如圖5所示，以實(shí)現(xiàn)玻璃面板的精確平穩(wěn)定位。然而，球軸承由于與玻璃面板的反復(fù)接觸而容易磨損或斷裂。結(jié)果，很難可靠地支撐玻璃面板進(jìn)而實(shí)現(xiàn)玻璃面板的精確定位。此外，支撐螺栓由金屬制成。因此，當(dāng)支撐螺栓設(shè)置在光源燈與顯微鏡之間時(shí)，光源燈發(fā)出的光被擋住，結(jié)果在玻璃面板上產(chǎn)生暗點(diǎn)，因此，不可能進(jìn)行精確的缺陷檢測(cè)。
發(fā)明內(nèi)容因此，考慮到上述問題，提出了本發(fā)明，本發(fā)明的目的在于提供一種微觀檢測(cè)裝置，其中，用于檢測(cè)玻璃面板缺陷的顯微鏡和光源燈通過相同的驅(qū)動(dòng)單元可以沿前后軸和左右軸同時(shí)移動(dòng)。本發(fā)明的另一目的在于提供一種微觀檢測(cè)裝置，其能夠使玻璃面板上產(chǎn)生的暗點(diǎn)降至最少。本發(fā)明的另一目的在于提供一種微觀檢測(cè)裝置，其能夠使支撐玻璃面板的工作臺(tái)的支撐力達(dá)到最大。本發(fā)明的又一目的在于提供一種微觀檢測(cè)裝置，其能夠?qū)⒂捎诓Ａ姘宓闹亓恳鸬闹螚U的下垂降至最小，并且容易控制玻璃面板的平面度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，上述和其它目的可以通過提供一種微觀檢測(cè)裝置來實(shí)現(xiàn)，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板。該微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，玻璃面板固定在其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)顯微鏡和光源燈。其中，驅(qū)動(dòng)單元包括橋，顯微鏡和光源燈安裝在其上部和下部，同時(shí)顯微鏡和光源燈彼此間隔開，該橋可移動(dòng)地連接至劃線臺(tái)固定軌道，劃線臺(tái)固定軌道沿構(gòu)成微觀檢測(cè)裝置本體的劃線臺(tái)的相對(duì)邊而形成；前后驅(qū)動(dòng)單元，用于沿順著前后軸的劃線臺(tái)固定軌道移動(dòng)橋；以及左右驅(qū)動(dòng)單元，用于沿左右軸同時(shí)移動(dòng)顯微鏡和光源燈。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板。該微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，玻璃面板固定在其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)顯微鏡和光源燈。其中，光源燈包括殼體，具有形成于其上部的開口和其中所限定的空間；發(fā)光燈，安裝在殼體的一個(gè)側(cè)，用于水平地發(fā)光；反射件，用于將發(fā)光燈發(fā)出的光向開口反射；以及聚光件，用于將反射件反射的光聚焦在玻璃面板上。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板。該微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，玻璃面板固定于其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)顯微鏡和光源燈。其中，光源燈包括殼體，具有形成于其上部的開口和其中所限定的空間；發(fā)光燈，安裝在該空間內(nèi)，用于朝向開口發(fā)射光；以及聚光件，用于將發(fā)光燈發(fā)出的光聚焦在玻璃面板上。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板。該微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，玻璃面板固定于其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)顯微鏡和光源燈。其中，工作臺(tái)包括框架，構(gòu)成工作臺(tái)的本體；通孔，形成于框架的中央；多個(gè)支撐桿，設(shè)置在通孔內(nèi)；以及多個(gè)支撐面板，設(shè)置在支撐桿上，用于支撐玻璃面板，支撐面板由透明材料制成。通過下面結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，將會(huì)更清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目的、特征和其它優(yōu)點(diǎn)，附圖中圖1是示出了傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的實(shí)例的透視圖；圖2是示出了圖1中A部分的放大透視圖；圖3是示出了傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置中使用的工作臺(tái)實(shí)例的透視圖；圖4是示意性示出了具有圖3所示工作臺(tái)的傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置的縱向截面視圖；圖5是示出了圖4中B部分的放大視圖；圖6是示出了使用傳統(tǒng)微觀檢測(cè)裝置檢測(cè)缺陷的方法的視圖；圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的微觀檢測(cè)裝置的透視圖；圖8是示出了圖7中C部分的放大透視圖；圖9是圖8的示意性前視圖；圖10是圖8的示意性側(cè)視圖；圖11是示出了根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的光源燈的透視圖，其在微觀檢測(cè)裝置中使用；圖12是示意性示出了具有圖11所示光源燈的微觀檢測(cè)裝置的縱向截面視圖；圖13是示意性示出了具有根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的光源燈的微觀檢測(cè)裝置的縱向截面視圖；圖14是示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的工作臺(tái)的透視圖，其在微觀檢測(cè)裝置中使用；圖15是示出了圖14中D部分的放大視圖；以及圖16a和圖16b示出了圖15中所示工作臺(tái)的操作，其中圖16a是示出了被移動(dòng)的玻璃面板的縱向截面視圖，以及圖16b是示出了被保持的玻璃面板的縱向截面視圖。具體實(shí)施例方式現(xiàn)在，參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的微觀檢測(cè)裝置的透視圖，圖8是示出了圖7中C部分的放大透視圖，圖9是圖8的示意性前視圖，而圖10是圖8的示意性側(cè)視圖。如圖所示，本發(fā)明提供了一種微觀檢測(cè)裝置，使用顯微鏡20精確檢測(cè)諸如液晶顯示器(LCD)和等離子顯示面板(PHP)等平板顯示裝置中所使用的玻璃面板的缺陷。劃線臺(tái)10的對(duì)邊端部可移動(dòng)地連接有橋40。橋40上安裝有顯微鏡20和向玻璃面板(未示出)發(fā)出光的光源燈30。顯微鏡20和光源燈30通過前后驅(qū)動(dòng)單元50和左右驅(qū)動(dòng)單元60同時(shí)移動(dòng)到相同位置。劃線臺(tái)10構(gòu)成微觀檢測(cè)裝置的本體。劃線臺(tái)10的頂面是平的。玻璃面板連接至劃線臺(tái)10的頂面。劃線臺(tái)10用于可靠地固定和支撐固定有玻璃面板的工作臺(tái)(未示出)。橋40構(gòu)造成使得橋40的相對(duì)端部向下彎曲。橋40連接到劃線臺(tái)10的對(duì)邊端部，從而橋40可以線性地移動(dòng)。顯微鏡20和光源燈30固定到橋40的一側(cè)。因此，顯微鏡20和光源燈30可以隨著橋40的移動(dòng)而沿前后軸向移動(dòng)。顯微鏡20是普通的電子顯微鏡。顯微鏡20在放大玻璃面板的同時(shí)，在玻璃面板上方移動(dòng)以檢測(cè)玻璃面板的缺陷。光源燈30設(shè)置在顯微鏡20的下方，同時(shí)與顯微鏡20間隔開。光源燈30發(fā)出光，同時(shí)光源燈30與顯微鏡20一起移動(dòng)到相同位置，從而光可以照射在玻璃面板上。因此，當(dāng)用顯微鏡20檢測(cè)玻璃面板時(shí)，可以明亮清楚地看到玻璃面板。前后驅(qū)動(dòng)單元50使橋40在劃線臺(tái)10上方線性移動(dòng)。前后驅(qū)動(dòng)單元50包括劃線臺(tái)固定軌道51，沿劃線臺(tái)10的對(duì)邊端部形成，且彼此平行地布置；橋移動(dòng)導(dǎo)向裝置52，連接至劃線臺(tái)固定軌道51，用于引導(dǎo)橋40沿劃線臺(tái)固定軌道51的移動(dòng)；以及橋驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)，用于沿著劃線臺(tái)固定軌道51移動(dòng)橋40。劃線臺(tái)固定軌道51沿劃線臺(tái)10的對(duì)邊端部延伸，且彼此平行布置。與橋移動(dòng)導(dǎo)向裝置52相接合的凹槽，沿劃線臺(tái)固定軌道51的長(zhǎng)度方向形成在劃線臺(tái)固定軌道51上。從而，橋40沿著劃線臺(tái)固定軌道51移動(dòng)，因此，橋沿著前后軸移動(dòng)。當(dāng)橋40的相對(duì)端部連接至劃線臺(tái)固定軌道51時(shí)，橋移動(dòng)導(dǎo)向裝置52用來引導(dǎo)橋40。以突出的形狀形成橋移動(dòng)導(dǎo)向裝置52，其與形成在劃線臺(tái)固定軌道51上的凹槽相接合，在橋40移動(dòng)過程中將橋的搖動(dòng)降至最小，從而橋40可以精確地沿劃線臺(tái)固定軌道51移動(dòng)。橋驅(qū)動(dòng)裝置使橋40沿順著前后軸的劃線臺(tái)固定軌道51移動(dòng)。橋驅(qū)動(dòng)裝置通常包括電動(dòng)機(jī)和傳送帶。通過另外的控制單元控制橋驅(qū)動(dòng)裝置，從而橋40可以精確地移動(dòng)到使用者指定的位置。因此，當(dāng)顯微鏡20和光源燈30連接至橋40上而僅移動(dòng)橋40時(shí)，顯微鏡20和光源燈30沿著前后軸同時(shí)移動(dòng)，以進(jìn)行玻璃面板的檢測(cè)。左右驅(qū)動(dòng)單元60用來沿著左右軸向同時(shí)移動(dòng)顯微鏡20和光源燈30。左右驅(qū)動(dòng)單元60包括橋固定軌道61，沿橋40的長(zhǎng)度方向形成于橋40的外側(cè)；顯微鏡支架62，顯微鏡20安裝在其上，且其沿順著左右軸的橋固定軌道61移動(dòng)；輔助軌道63，安裝在橋40的下方同時(shí)與橋40間隔開，從而輔助軌道63的相對(duì)端部固定到橋40的相對(duì)側(cè)面；燈支架64，光源燈30安裝在其上，并連接至輔助軌道63，從而燈支架64可以沿左右軸移動(dòng)；以及支架驅(qū)動(dòng)裝置65，用于沿順著左右軸的橋40同時(shí)移動(dòng)顯微鏡支架62和燈支架64。橋固定軌道61在與劃線臺(tái)固定軌道51的延伸方向相垂直的方向上沿著橋40的外側(cè)延伸。從而，當(dāng)顯微鏡支架62連接至橋固定軌道61時(shí)，顯微鏡支架62可以沿左右軸移動(dòng)。顯微鏡20固定到顯微鏡支架62的一側(cè)，而與橋固定軌道61相對(duì)應(yīng)的結(jié)合件，例如突起，形成在顯微鏡支架62的另一側(cè)。當(dāng)顯微鏡支架62沿著橋固定軌道61移動(dòng)，而顯微鏡20固定到顯微鏡支架62上時(shí)，顯微鏡20可以沿著左右軸移動(dòng)。輔助軌道63設(shè)置在劃線臺(tái)10的頂面上，且與橋40平行布置。輔助軌道63的相對(duì)端部一體地連接至橋40的相對(duì)側(cè)面。從而，當(dāng)燈支架64連接到輔助軌道63上時(shí)，燈支架64可以沿左右軸移動(dòng)。當(dāng)燈支架64連接到輔助軌道63上時(shí)，燈支架64沿順著左右軸的輔助軌道63移動(dòng)。向著顯微鏡20的透鏡發(fā)出光的光源燈30安裝在燈支架64上。通過支架驅(qū)動(dòng)裝置65，光源燈30與顯微鏡20一起沿著左右軸移動(dòng)。支架驅(qū)動(dòng)裝置65用來在劃線臺(tái)10上方沿左右軸同時(shí)移動(dòng)顯微鏡支架62和燈支架64。支架驅(qū)動(dòng)裝置65包括第一驅(qū)動(dòng)滑輪(皮帶輪)651，用于移動(dòng)顯微鏡支架62；第二驅(qū)動(dòng)滑輪(皮帶輪)652，用于移動(dòng)燈支架64；驅(qū)動(dòng)軸653，第一驅(qū)動(dòng)滑輪651和第二驅(qū)動(dòng)滑輪652連接到其上；以及滑輪(皮帶輪)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)654，用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸653。第一驅(qū)動(dòng)滑輪651是與普通傳動(dòng)皮帶相連接的滑輪。顯微鏡支架62固定到傳送帶上，而傳送帶以這樣的方式連接到橋40的上部預(yù)定區(qū)域和第一驅(qū)動(dòng)滑輪651，從而可以移動(dòng)傳送帶。當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)滑輪651旋轉(zhuǎn)時(shí)，傳送帶移動(dòng)，從而固定到傳送帶上的顯微鏡支架62沿順著左右軸的橋固定軌道61移動(dòng)。第二驅(qū)動(dòng)滑輪652是與普通傳動(dòng)皮帶相連接的滑輪。燈支架64固定到傳送帶上，而傳送帶以這樣的方式連接到橋40下部預(yù)定區(qū)域和第二驅(qū)動(dòng)滑輪652，從而可以移動(dòng)傳送帶。當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)滑輪652旋轉(zhuǎn)時(shí)，傳送帶可移動(dòng)，從而固定到傳送帶上的燈支架64沿順著左右軸的輔助軌道63移動(dòng)。連接有第一驅(qū)動(dòng)滑輪651和第二驅(qū)動(dòng)滑輪652的驅(qū)動(dòng)軸653的一側(cè)端部，連接到滑輪驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)654上。因此，僅利用滑輪驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)654就可以沿著左右軸移動(dòng)顯微鏡支架62和燈支架64，從而可以很容易、很方便地實(shí)現(xiàn)沿著左右軸同時(shí)移動(dòng)顯微鏡20和光源燈30的控制和操作。因此，當(dāng)要沿著劃線臺(tái)10的前后軸移動(dòng)顯微鏡20和光源燈30時(shí)，僅利用前后驅(qū)動(dòng)單元50就可以沿著劃線臺(tái)10的前后軸移動(dòng)橋40，從而顯微鏡20和光源燈30可以同時(shí)移動(dòng)到相同的位置。另一方面，當(dāng)要沿著左右軸移動(dòng)顯微鏡20和光源燈30時(shí)，驅(qū)動(dòng)軸653通過滑輪驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)654旋轉(zhuǎn)，從而顯微鏡20和光源燈30可以沿著左右軸同時(shí)移動(dòng)。通過這種方式，顯微鏡20和光源燈30可以精確地移動(dòng)到劃線臺(tái)10上使用者期望的位置。如上所述，顯微鏡20和光源燈30通過彼此一體連接的前后驅(qū)動(dòng)單元50和左右驅(qū)動(dòng)單元60移動(dòng)，而不使用分開的驅(qū)動(dòng)單元。結(jié)果是，可以更容易、更方便地實(shí)現(xiàn)顯微鏡20和光源燈30的控制，并可以把操作錯(cuò)誤的發(fā)生降至最少。因此，使光源燈30的發(fā)光能力達(dá)到最大，從而可以實(shí)行更準(zhǔn)確、更精確的檢測(cè)。圖11是示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的光源燈的透視圖，其在微觀檢測(cè)裝置中使用，而圖12是示意性示出了具有圖11所示光源燈的微觀檢測(cè)裝置的縱向截面視圖。如圖所示，發(fā)光燈33和用于將發(fā)光燈33發(fā)出的光聚焦在玻璃面板1上的聚光件32安裝在殼體31內(nèi)。因此，可以將由于固定有玻璃面板1的工作臺(tái)70的對(duì)應(yīng)部件引起的在光源燈30內(nèi)產(chǎn)生的暗點(diǎn)降至最少。殼體31構(gòu)成光源燈30的本體。殼體31具有限定在其中的空間。在殼體31的上部形成有對(duì)應(yīng)于顯微鏡20的開口311。因此，從發(fā)光燈33發(fā)出的光經(jīng)過空間312，然后經(jīng)過開口311照射在固定于顯微鏡20與光源燈30之間的玻璃面板1上。發(fā)光燈33固定在殼體31內(nèi)部。發(fā)光燈33是普通的發(fā)光元件，例如是高亮度發(fā)光二極管(LED)或燈，當(dāng)電力作用于發(fā)光元件時(shí)，其發(fā)出光。聚光件32用來以傾斜方式聚集發(fā)光燈33所發(fā)出的光。聚光件32包括用于折射光以聚集光的普通凸透鏡321。因此，可以防止光被固定有玻璃面板1的工作臺(tái)70的支撐桿520和支撐螺栓530阻擋，從而可以避免通過顯微鏡20檢測(cè)玻璃面板1時(shí)由于產(chǎn)生暗點(diǎn)而引起的不精確檢測(cè)。此外，聚光件32固定在開口311內(nèi)，以防止不必要的雜質(zhì)進(jìn)入殼體31內(nèi)，從而光的發(fā)射不會(huì)受到雜質(zhì)的干擾。如上所述，與顯微鏡20一起移動(dòng)的光源燈30所發(fā)出的光通過聚光件32以傾斜形式聚焦在玻璃面板1上。因此，可以防止光被由不透明材料制成的且位于顯微鏡20與光源燈30之間的支撐桿520和支撐螺栓530阻擋，進(jìn)而防止產(chǎn)生暗點(diǎn)。此外，光聚焦在一點(diǎn)上，因此，可以通過明亮清晰的圖像進(jìn)行缺陷檢測(cè)。此外，如圖13所述，發(fā)光燈33安裝在殼體31的一側(cè)，從而光可以從發(fā)光燈33水平發(fā)出，而反射件34固定在殼體31內(nèi)部，其可以將發(fā)光燈33水平發(fā)出的光反射到開口311。反射件34包括普通反射板341，例如鏡子。因此，光源燈30的總高度可以進(jìn)一步減小，從而即使發(fā)光燈33到工作臺(tái)70底部的移動(dòng)距離不充分時(shí)，光源燈30也可以容易地安裝和移動(dòng)。圖14是示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的工作臺(tái)的透視圖，其在微觀檢測(cè)裝置中使用。通孔72形成在構(gòu)成工作臺(tái)70本體的框架71的中央。在通孔72內(nèi)部設(shè)置有用于支撐玻璃面板的多個(gè)支撐桿73。在支撐桿73上設(shè)置有用于支撐玻璃面板的多個(gè)支撐面板74。因此，可以更穩(wěn)定可靠地固定玻璃面板?？蚣?1構(gòu)成微觀檢測(cè)裝置中所使用的工作臺(tái)的本體?？蚣?1固定到微觀檢測(cè)裝置的劃線臺(tái)的頂面上。通孔72形成在框架71的中央。因此，當(dāng)諸如PDP和LCD等平板顯示裝置中所使用的玻璃面板設(shè)置在通孔72中時(shí)，顯微鏡和光源燈沿著玻璃面板的前后軸移動(dòng)，以檢測(cè)玻璃面板的缺陷。支撐桿73以較大數(shù)量固定在通孔72內(nèi)，從而支撐桿73以規(guī)則間隔排列，以支撐玻璃面板。優(yōu)選地，支撐桿73由金屬制成，從而當(dāng)支撐桿73的下垂降至最小時(shí)，支撐桿73可以支撐玻璃面板。支撐面板74直接與玻璃面板接觸，以支撐玻璃面板。支撐面板74由傳輸光的透明材料制成。支撐面板74以較大數(shù)量設(shè)置在支撐桿73上，用于穩(wěn)定地支撐玻璃面板的整個(gè)表面。如上所述，通過玻璃面板與支撐面板74之間的表面接觸，玻璃面板被支撐在通孔上方，因此，可以穩(wěn)定地支撐玻璃面板，并使玻璃面板的下垂降至最小。從而可以進(jìn)行更準(zhǔn)確、更精確的檢測(cè)。圖15是示出了圖14中D部分的放大視圖。每個(gè)支撐桿73構(gòu)造成，使得每個(gè)支撐桿73的高度大于每個(gè)支撐桿73的厚度。因此，抵抗垂直載荷的支撐力可以達(dá)到最大。在每個(gè)支撐桿73上安裝有多個(gè)調(diào)節(jié)螺釘731，當(dāng)調(diào)節(jié)相應(yīng)的支撐面板74的高度時(shí)，調(diào)節(jié)螺釘731用于支撐相應(yīng)的支撐面板74。換句話說，支撐桿73由金屬制成，而且將支撐桿73構(gòu)造成，使得支撐桿73的縱向長(zhǎng)度大于支撐桿73的高度。因此，由支撐桿73、支撐面板74、和玻璃面板的重量引起的支撐桿的下垂可以降至最小，從而可以穩(wěn)定地支撐玻璃面板。而且，調(diào)節(jié)螺釘731安裝在支撐桿73上，從而支撐面板74的高度可以通過調(diào)節(jié)螺釘731的轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)節(jié)。因此，可以容易方便地校正由于支撐桿73的微小下垂引起的高度變化。此外，在每個(gè)支撐桿74的中部形成有空氣注入孔751，用于吸入和排出空氣的空氣注入噴嘴75連接到空氣注入孔751的下端。因此，可以利用大氣壓力將設(shè)置在支撐面板74上的玻璃面板吸附到支撐面板74上，或從支撐面板74上分離玻璃面板，從而可以移動(dòng)玻璃面板。因此，可以均勻地固定玻璃面板的整個(gè)表面。而且，在玻璃面板移動(dòng)過程中，可以將機(jī)械動(dòng)作部件的移動(dòng)降至最小，從而將機(jī)械動(dòng)作部件的反復(fù)移動(dòng)引起的操作錯(cuò)誤降至最小。圖16a和圖16b示出了圖15中所示工作臺(tái)的操作。具體地，圖16a是示出了被移動(dòng)的玻璃面板的縱向截面視圖，而圖16b是示出了被保持的玻璃面板的縱向截面視圖。如圖所示，空氣注入孔751形成在支撐面板74內(nèi)，而連接至空氣供給管752的空氣注入噴嘴75連接到空氣注入孔751的下端。因此，當(dāng)空氣通過空氣注入噴嘴75注入到空氣注入孔751內(nèi)時(shí)，玻璃面板1由于大氣壓力與支撐面板74分離，從而在玻璃面板1與支撐面板74之間形成一空間。在這種狀態(tài)下，用很小的力就可以沿著左右軸移動(dòng)玻璃面板1，而沒有機(jī)械摩擦。另一方面，當(dāng)通過空氣注入噴嘴75抽吸空氣時(shí)，空氣被從支撐面板74與玻璃面板1之間的空間排出。因此，玻璃面板1被吸附到支撐面板74上，從而玻璃面板1被可靠地固定到支撐面板74上。當(dāng)多個(gè)空氣注入噴嘴75安裝到其中均勻分布有空氣注入孔751的支撐面板74上時(shí)，可以均勻地吸附玻璃面板1的整個(gè)表面，從而使用較小的大氣壓力就可以可靠地固定玻璃面板。從上面的描述很顯然，通過固定顯微鏡和光源燈的橋、移動(dòng)橋的前后驅(qū)動(dòng)單元、以及沿著橋移動(dòng)顯微鏡和光源燈的左右驅(qū)動(dòng)單元，顯微鏡和光源燈可以沿劃線臺(tái)的前后軸和左右軸同時(shí)移動(dòng)。因此，本發(fā)明具有如下效果，可以容易方便地控制顯微鏡和光源燈的移動(dòng)，而且可以對(duì)玻璃面板進(jìn)行更準(zhǔn)確、更精確的檢測(cè)，而不會(huì)有操作錯(cuò)誤。而且，利用凸透鏡將從發(fā)光燈所發(fā)出的光聚焦在顯微鏡上，以使暗點(diǎn)的發(fā)生降至最少。因此，本發(fā)明具有如下效果，即解決了傳統(tǒng)檢測(cè)裝置中由于諸如安裝在工作臺(tái)上的支撐桿等部件引起的在玻璃面板上產(chǎn)生暗點(diǎn)而不能進(jìn)行精確檢測(cè)的問題。而且，用于支撐玻璃面板的支撐面板設(shè)置在支撐桿上。因此，本發(fā)明具有使支撐玻璃面板的力達(dá)到最大的效果。此外，玻璃面板的重量得以均勻分布。因此，本發(fā)明具有使支撐桿的下垂降至最小的效果，從而進(jìn)行快速、精確檢測(cè)。而且，在支撐面板內(nèi)形成有空氣注入孔，且空氣注入噴嘴連接到相應(yīng)的空氣注入孔的下端。結(jié)果，可以利用大氣壓力均勻地固定玻璃面板的整個(gè)表面。因此，本發(fā)明具有將玻璃面板穩(wěn)定可靠地固定到工作臺(tái)上的效果。此外，在玻璃面板移動(dòng)過程中不發(fā)生機(jī)械接觸。因此，本發(fā)明具有將由于反復(fù)移動(dòng)造成的操作錯(cuò)誤降至最小的效果。盡管為了說明目的，已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，在不背離權(quán)利要求所公開的本發(fā)明范圍和精神的情況下，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改、改進(jìn)、等同替換。權(quán)利要求1.一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板，所述微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，所述玻璃面板固定在其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在所述工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)所述玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)所述顯微鏡和所述光源燈，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括橋，所述顯微鏡和所述光源燈安裝在其上部和下部，同時(shí)所述顯微鏡和所述光源燈彼此間隔開，所述橋可移動(dòng)地連接至劃線臺(tái)固定軌道，所述劃線臺(tái)固定軌道沿構(gòu)成所述微觀檢測(cè)裝置本體的劃線臺(tái)的相對(duì)邊而形成；前后驅(qū)動(dòng)單元，用于沿順著前后軸的所述劃線臺(tái)固定軌道移動(dòng)所述橋；以及左右驅(qū)動(dòng)單元，用于沿左右軸同時(shí)移動(dòng)所述顯微鏡和所述光源燈。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述左右驅(qū)動(dòng)單元包括橋固定軌道，形成于所述橋的外側(cè)，從而所述橋固定軌道沿著所述橋延伸；顯微鏡支架，所述顯微鏡安裝于其上，所述顯微鏡支架可移動(dòng)地連接至所述橋固定軌道；輔助軌道，具有固定到所述橋的對(duì)邊下端的相對(duì)端部；燈支架，所述光源燈安裝于其上，所述燈支架可移動(dòng)地連接至所述輔助軌道；以及支架驅(qū)動(dòng)裝置，用于沿順著左右軸的所述橋同時(shí)移動(dòng)所述顯微鏡支架和所述燈支架。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述支架驅(qū)動(dòng)裝置包括第一驅(qū)動(dòng)滑輪，用于移動(dòng)所述顯微鏡支架；第二驅(qū)動(dòng)滑輪，用于移動(dòng)所述燈支架；驅(qū)動(dòng)軸，所述第一驅(qū)動(dòng)滑輪和所述第二驅(qū)動(dòng)滑輪連接到其上；以及滑輪驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，用于旋轉(zhuǎn)所述驅(qū)動(dòng)軸。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述光源燈包括殼體，具有形成于其上部的開口和其中所限定的空間；發(fā)光燈，安裝在所述空間內(nèi)，用于向所述開口發(fā)射光；以及聚光件，用于將所述發(fā)光燈發(fā)出的光聚焦在所述玻璃面板上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述發(fā)光燈安裝在所述空間的一側(cè)，從而光可以從所述發(fā)光燈水平地發(fā)射，以及所述光源燈還包括反射件，安裝在所述空間內(nèi)，用于將所述發(fā)光燈發(fā)出的光向所述開口反射。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述反射件包括反射板，固定在所述殼體內(nèi)部，使得所述反射板是傾斜的。7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中的任一項(xiàng)所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述聚光件包括固定到所述開口內(nèi)部的凸透鏡。8.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述工作臺(tái)包括框架，構(gòu)成所述工作臺(tái)的本體；通孔，形成于所述框架的中央；多個(gè)支撐桿，設(shè)置在所述通孔內(nèi)；以及多個(gè)支撐面板，設(shè)置在所述支撐桿上，用于支撐所述玻璃面板，所述支撐面板由透明材料制成。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述支撐桿構(gòu)造成，使得所述支撐桿的高度大于所述支撐桿的厚度，以及所述工作臺(tái)還包括多個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，安裝在所述支撐桿上，用于支撐所述支撐面板。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述工作臺(tái)還包括多個(gè)空氣注入孔，穿過所述支撐面板垂直地形成；以及空氣注入噴嘴，連接到所述空氣注入孔的下端，用于吸入和排出空氣，從而所述玻璃面板可以吸附到所述支撐面板上和從所述支撐面板上分離。11.一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板，所述微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，所述玻璃面板固定在其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在所述工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)所述玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)所述顯微鏡和所述光源燈，其中，所述光源燈包括殼體，具有形成于其上部的開口和其中所限定的空間；發(fā)光燈，安裝在所述空間內(nèi)，用于朝向所述開口發(fā)射光；以及聚光件，用于將所述發(fā)光燈發(fā)出的光聚焦在所述玻璃面板上。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述發(fā)光燈安裝在所述空間的一側(cè)，使得光可以從所述發(fā)光燈水平地發(fā)射，以及所述光源燈還包括反射件，安裝在所述空間內(nèi)，用于將所述發(fā)光燈發(fā)出的光向所述開口反射。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述反射件包括反射板，所述反射板固定在所述殼體內(nèi)部，使得所述反射板是傾斜的。14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中的任一項(xiàng)所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述聚光件包括固定到所述開口內(nèi)部的凸透鏡。15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述工作臺(tái)包括框架，構(gòu)成所述工作臺(tái)的本體；通孔，形成于所述框架的中央；多個(gè)支撐桿，設(shè)置在所述通孔內(nèi)；以及多個(gè)支撐面板，設(shè)置在所述支撐桿上，用于支撐所述玻璃面板，所述支撐面板由透明材料制成。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述支撐桿構(gòu)造成，使得所述支撐桿的高度大于所述支撐桿的厚度，以及所述工作臺(tái)還包括多個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，安裝在所述支撐桿上，用于支撐所述支撐面板。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述工作臺(tái)還包括多個(gè)空氣注入孔，穿過所述支撐面板垂直地形成；以及空氣注入噴嘴，連接到所述空氣注入孔的下端，用于吸入和排出空氣，從而所述玻璃面板可以吸附到所述支撐面板上和從所述支撐面板上分離。18.一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)平板顯示裝置中所使用的玻璃面板，所述微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，所述玻璃面板固定在其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在所述工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)所述玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)所述顯微鏡和所述光源燈，其中，所述工作臺(tái)包括框架，構(gòu)成所述工作臺(tái)的本體；通孔，形成于所述框架的中央；多個(gè)支撐桿，設(shè)置在所述通孔內(nèi)；以及多個(gè)支撐面板，設(shè)置在所述支撐桿上，用于支撐所述玻璃面板，所述支撐面板由透明材料制成。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述支撐桿構(gòu)造成，使得所述支撐桿的高度大于所述支撐桿的厚度，以及所述工作臺(tái)還包括多個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，安裝在所述支撐桿上，用于支撐所述支撐面板。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的微觀檢測(cè)裝置，其中，所述工作臺(tái)還包括多個(gè)空氣注入孔，穿過所述支撐面板垂直地形成；以及空氣注入噴嘴，連接到所述空氣注入孔的下端，用于吸入和排出空氣，從而所述玻璃面板可以吸附到所述支撐面板上和從所述支撐面板上分離。全文摘要本發(fā)明公開了一種微觀檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)諸如液晶顯示器(LCD)和等離子顯示面板(PDP)等平板顯示裝置中所使用的平面玻璃面板。該微觀檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，玻璃面板固定于其上；顯微鏡和光源燈，分別安裝在工作臺(tái)的上方和下方，用于檢測(cè)玻璃面板的缺陷；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于沿X軸和Y軸方向移動(dòng)顯微鏡和光源燈。驅(qū)動(dòng)單元包括橋，顯微鏡和光源燈安裝在該橋的上部和下部，同時(shí)顯微鏡和光源燈彼此間隔開，該橋可移動(dòng)地連接到沿著構(gòu)成微觀檢測(cè)裝置本體的劃線臺(tái)的相對(duì)邊形成的劃線臺(tái)固定軌道；前后驅(qū)動(dòng)單元，用于沿順著前后軸的劃線臺(tái)固定軌道移動(dòng)該橋；以及左右驅(qū)動(dòng)單元，用于沿著左右軸同時(shí)移動(dòng)顯微鏡和光源燈。文檔編號(hào)G01B9/04GK1924513SQ20061011196公開日2007年3月7日申請(qǐng)日期2006年8月28日優(yōu)先權(quán)日2005年8月31日發(fā)明者李敏圭,李敬勛,李東奎,鄭好倫申請(qǐng)人:De&T株式會(huì)社