技術編號：6114168
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種對用于制作印刷電路板的掩膜基板或液晶顯示板用的玻璃基板等基板進行測定的基板測定裝置。背景技術 作為這樣的基板測定裝置的一種，用于測定基板表面上的兩點間距離的測長儀已經(jīng)投入使用(請參考專利文獻1)。在這種測長儀中采用有這樣的結構，即，沿著裝載了基板的載物臺表面，設置有向X、Y方向可移動的拍攝部，并根據(jù)使用該拍攝部來拍攝基板表面的兩點時的拍攝部的移動量，測定該兩點間的距離。然而，伴隨著近年來的基板的大型化，上述的測長儀產(chǎn)生了這樣的問題，即，載置在...
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