技術編號：6113460
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及于用于樣品氣體進料流以確定該氣體流中顆粒污然物的存在和特性的系統(tǒng)和方法。特別地，本發(fā)明涉及于包括顆粒計數器和顆粒捕捉過濾器的系統(tǒng)，其中有益的是該顆粒捕捉過濾器與顆粒計數器并聯排列。背景技術 許多專用氣體的使用者，諸如半導體器件制造商，要求低的氣體中懸浮顆粒含量。例如，在制造材料中，顆粒污染物導致器件制造工藝中的低產量和成品半導體器件中的可靠性問題。因此，通常對下列但不限制于其的氣體以及許多其它氣體要求嚴格的潔凈度，諸如Ar、He、N2、Xe、Kr...
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