技術(shù)編號：6088102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制造時，晶圓或光罩在制程期間依序在多個步驟中進(jìn)行加工。隨著積體密度逐漸增加，則對晶圓上所形成的結(jié)構(gòu)的品質(zhì)上的需求亦提高。為了可對所形成的結(jié)構(gòu)的品質(zhì)進(jìn)行檢測且發(fā)現(xiàn)可能存在的缺陷，則對操控晶圓所用的構(gòu)件和各步驟的品質(zhì)，準(zhǔn)確性和可再生性的需求亦提高。這表示在以多個步驟來生產(chǎn)晶圓時，一種對缺陷的可靠-且及早的辨認(rèn)是特別重要的。因此，須適當(dāng)?shù)貙λa(chǎn)生的缺陷進(jìn)行分類，以便對晶圓達(dá)成一種快速...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。