專利名稱：：用在缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法。
背景技術(shù)：
：在半導(dǎo)體制造時，晶圓或光罩在制程期間依序在多個步驟中進行加工。隨著積體密度逐漸增加，則對晶圓上所形成的結(jié)構(gòu)的品質(zhì)上的需求亦提高。為了可對所形成的結(jié)構(gòu)的品質(zhì)進行檢測且發(fā)現(xiàn)可能存在的缺陷，則對操控晶圓所用的構(gòu)件和各步驟的品質(zhì)，準確性和可再生性的需求亦提高。這表示在以多個步驟來生產(chǎn)晶圓時，一種對缺陷的可靠-且及早的辨認是特別重要的。因此，須適當?shù)貙λa(chǎn)生的缺陷進行分類，以便對晶圓達成一種快速的加工和檢測。在先前的缺陷自動分類“AutomaticDefectClassification”(ADC)中，須對晶圓上-或光罩上的缺陷進行人工分類。以知識為主的學(xué)習(xí)因此極為費時。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種方法，藉此可簡單且快速地產(chǎn)生一“ADC-運行”(ADC-Run)時所需的全部資料和資料檔(知識-基準，自動對準，焦點設(shè)定)。上述目的藉由具有申請專利范圍第1項特征的方法來達成。此方法特別有利，此乃因藉由LeicaADCHP可簡單且快速地產(chǎn)生一“ADC-運行”(ADC-Run)時所需的全部資料和資料檔(知識-基準，自動對準，焦點設(shè)定)。于此，需使用一部份已預(yù)設(shè)的資料和資料檔。由于不再像先前ADC版本中一樣需對晶圓上的缺陷進行人工分類，則為了設(shè)定一種新的ADC處方而學(xué)習(xí)一種知識-基準時所需的時間可下降至50％。此外，藉由多種情況中所獲得的“預(yù)組功能”(PregroupingFunction)可使知識-基準的品質(zhì)獲得改良，這對ADC-運行的準確性又有直接的影響。ADCHP在LeicaADC中是一種獨立的學(xué)習(xí)模組。使用者必須在各別的步驟中給予所需的資料，以及確認此資料且情況需要時改變此資料。各別的步驟在LeicaADCHP-Dialog(對話)中顯示成獨立的頁面。使用者對各別頁面的引用是在所謂精靈(Wizard)-格式中進行，即，經(jīng)由<Back>和<Next>按鈕來進行。新的學(xué)習(xí)模式相對于目前的學(xué)習(xí)模式而言所具有的優(yōu)點是新的學(xué)習(xí)模式不復(fù)雜且與使用者依正確的順序來進行時所需的已下降的步驟數(shù)目有關(guān)。就目前為止的學(xué)習(xí)模式而言，吾人需要各種已預(yù)先分類的缺陷。新的學(xué)習(xí)模式所需的全部只是一個或多個具有盡可能多的未分類的缺陷的晶圓。由于在一些步驟中須與一種視訊控制臺(VisualConsole)表面交互作用，則LeicaADCHP-Dialog不是以模式方式來顯示而是顯示出最頂端(Top-Most)。對話(Dialog)可以不可見的方式而自動切換或使用者能以不可見的方式或又以可見的方式來對此對話進行切換。上述用于缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法包含以下各步驟-選出一種覆查(review)-資料檔，-由使用者將參數(shù)和資料輸入至學(xué)習(xí)模式的頁面(50)上，這些參數(shù)和資料是使用者已熟知者，-起始一種對準-步驟以及一種對光的強度進行調(diào)整的步驟，-藉由數(shù)個缺陷的驅(qū)動以自動地對照明的最佳強度進行調(diào)整且情況需要時調(diào)整至最佳的照明，-依據(jù)數(shù)個例子來對此偵測進行檢測，其中依據(jù)圖像來使此偵測參數(shù)最佳化，-自動對(各)晶圓的全部缺陷進行驅(qū)動，其中須偵測各別的缺陷且一種描述符(descriptor)分配至各別的缺陷，以及-對各缺陷的描述符進行分析且進行自動分組。參數(shù)和資料的輸入包括半導(dǎo)體基板上已存在的各元件的選取，其中這些元件可以是記憶體電路，邏輯電路，無電阻或有電阻的空晶圓。晶圓上各層的參數(shù)或資料包含一種聚合物層，氧化物層，接觸區(qū)或金屬層的說明。使用者選取至少一種已使用的物鏡的照明方式以及聚焦方式?？蛇x取亮場，紫外線或DUV作為照明方式。內(nèi)定(default)的調(diào)整是使用亮場且物鏡對此亮場具有100倍的放大率。進行一種人工的二點式對準，其中第一點以人工方式藉由桌面的運行來對準。在第一點的學(xué)習(xí)期間，須儲存此自動對準-檔所需的自動資料。每一對準點以物鏡的三種不同的放大率來進行學(xué)習(xí)。照明的最佳強度的調(diào)整是藉由隨機地(randomly)選取一定數(shù)目的缺陷來達成。隨后對所選取的缺陷進行驅(qū)動且攝取每一缺陷的圖像，其中此照明的亮度的起始值以及此照明的調(diào)整是依據(jù)一種柱狀圖的評估來達成。就照明的最佳強度的調(diào)整而言，只需考慮這些不大于視頻圖像-寬度和-高度的25％的缺陷即可?？紤]二十個缺陷來調(diào)整該照明的強度。由晶圓上已自動驅(qū)動的缺陷來攝取圖像且暫時儲存著，直至全部的缺陷的圖像已攝取完成為止。全部的圖像已攝取之后，這些圖像以極小物件(thumbnail)的形式顯示在顯示器上。當多個極小物件超過聚焦時所需的門限(threshold)值時，一些極小物件即須舍棄。各缺陷的描述符在分析和自動分組時使各缺陷的已被攝取的極小物件劃分成多個組。顯示器上以極小物件圖的形式顯示出各缺陷的已選取的組的新的第一范例。本發(fā)明以下將依據(jù)顯示在各圖式中的實施例來描述。各圖式中相同的參考符號表示相同的元件。圖1是安裝著本發(fā)明的方法的一晶圓檢測裝置的構(gòu)造上的概要圖。圖2是ADCHP工具條(Toolbar)-按鈕，使用者藉此按鈕來呼叫一種缺陷自動辨認用的功能。圖3是“ADC”-表單(menu)中的ADCHP呼叫表。圖4是“LeicaADCHPControlDesk”視窗，其將已一部份存在于前一ADC版本中的ADC主題清楚地組合至一視窗中。圖5是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者呼叫此頁面且因此打開一輸入資料檔，即，設(shè)定一種覆查-資料檔。圖6是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者呼叫此頁面且因此對一種處方檔“RecipeFile”給予一種名稱。圖7是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此可設(shè)定ADC-知識基準-資料。圖8是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此可進行此學(xué)習(xí)以及進行一種自動對準。圖9是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此可進行一種自動的光調(diào)整。圖10是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此可使偵測參數(shù)的設(shè)定達成最佳化。圖11是熒幕上的極小物件的圖解。圖12是信息盒的圖解。圖13是一種改變敏感性-對話(ChangeSensitivityDialog)的圖解。圖14是一種視窗，其對使用者發(fā)出一種警示。圖15是采用新的偵測門限(threshold)時一種指示視窗的圖解。圖16是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此頁面可使一種知識-基準自動產(chǎn)生。圖17是“缺陷碼劃分(DefectCodeMapping)”-對話的圖解。圖18是一種指示-對話的圖解。圖19是起始一種ADC-運行“ADC-Runs”用的對話的圖解。圖20是一種完成(Finish)-對話的圖解。圖21是一種報告(Report)-對話的圖解。圖22是一種已印出的EasyADCReports的圖解。1晶圓檢測裝置2基座4掃描桌5目鏡7顯微物鏡8晶圓9載體單元11顯示器13相機15電子單元16晶圓支件25視窗26學(xué)習(xí)處方27編輯處方28擴大處方29運行處方具體實施方式圖1顯示晶圓檢測裝置1的構(gòu)造上的概要圖，此晶圓檢測裝置1中安裝著本發(fā)明的方法?；?上整合地安裝著一種掃描桌4以作為晶圓8用的承載桌。此掃描桌4可在X-座標方向中和Y-座標方向中運行。此掃描桌4上放置著或鉤夾著即將進行檢測的晶圓8。一種觀測裝置(其較佳是設(shè)有一種顯微物鏡7)經(jīng)由一載體單元9而與基座2相連接。此顯微物鏡7可使此晶圓8在放大情況下進行觀看。多個顯微物鏡7可設(shè)在旋轉(zhuǎn)器(未顯示)上，以便可在不同的放大率下進行動態(tài)的觀看。晶圓8的已放大而受到觀測的結(jié)構(gòu)可經(jīng)由一目鏡5直接進行靜態(tài)的觀測或經(jīng)由一顯示器11來觀測，此顯示器11是與CCD-相機13相連接。另外設(shè)有一種電子單元15，藉此可達成系統(tǒng)自動化的功能。此電子單元15特別是可用來控制該掃描桌14，對該相機13進行讀取且可用來控制該顯示器11。通常須設(shè)有一種晶圓支件16，使其可容納該待檢測的晶圓8，且此晶圓支件在檢測時段中被固定。該掃描桌14以可在各別互相垂直的X-座標方向中和Y-座標方向中運行的方式而形成。因此，晶圓8上每一待觀測的位置可被引導(dǎo)至顯微物鏡7(圖1)的光軸7a下方。圖2顯示ADCHP具條(Toolbar)-按鈕20，使用者藉此按鈕來呼叫一種缺陷自動辨認用的功能。ADCHP-對話經(jīng)由ADCHP工具條(Toolbar)-按鈕20來呼叫或經(jīng)由“ADC”-表單中或ADC-對話的上下文(context)-表單中視訊控制臺-應(yīng)用(Viscon-Application)21的主工具條19來呼叫(參閱圖3)。每一使用者(由使用者-等級”O(jiān)perator”開始)都可介入此表單-登入。由于ADCHP是一種分開的選項(Option)，則當ADCHP亦已安裝時表單-登入只能以可見方式來進行。此種選項(Option)方式會受到保護，類似于目前經(jīng)由登記-登入中者，此登記-登入藉由安裝程式而產(chǎn)生于已選取的選項(option)中。若一種程式已載入視訊控制臺(Viscon)中，則表單-登入被去驅(qū)動(deactivated)而顯示出。圖4顯示一種所謂“LeicaADCHPControlDesk”視窗，其將已一部份存在于前一ADC版本中的ADC主題清楚地組合至一視窗中且作為一種輸出基準以起動各別的模組26，27，28和29。詳細而言此視窗是■“學(xué)習(xí)(Leran)處方”學(xué)習(xí)且設(shè)定一種新的ADC-處方及一種知識-基準，隨后進行ADC-運行(RunRecipe)，■“編輯(Edit)處方”用來處理一已存在的知識-基準，■“擴大(Expand)處方”用來擴大一已存在的知識-基準，■“運行(Run)處方”用來起動一種ADC-運行。各別的模組分別設(shè)有一種按鈕。本實施形式中其是一種”學(xué)習(xí)處方”-按鈕26，“編輯處方”-按鈕27，”擴大處方”-按鈕28以及”運行處方”-按鈕29。在操作各別的按鈕26，27，28，29時即執(zhí)行各別的主題。已存在于前一ADC-版本中的主題此處只短暫地被載入。■“編輯(Edit)處方”在此按鈕27壓下之后，使用者須選取已存在的知識-基準-資料檔，其由外部的應(yīng)用程式”KBWizard”來起動，且須顯示此資料檔的內(nèi)容。資料檔可在該處進行處理且整體上對知識-基準進行測試?！觥皵U大(Expand)處方”使用者以按鈕28來選取已存在的知識-基準-資料檔以及選取一種覆查(Review)-資料檔。在隨后的ADC運行中，在背景中收集新的資料且暫時儲存著。此運行結(jié)束時，此暫存的資料和所使用的知識-基準(KB)資料檔由應(yīng)用程式”KBWizard”載入且顯示出。使用者現(xiàn)在可適當?shù)卦谥R-基準中采用此新的資料?！觥斑\行(Run)處方”藉由選取此按鈕29以選取一覆查-資料檔及一ADC-處方且使ADC-運行可起動。自動地對由使用者所選取的全部缺陷進行偵測且藉由ADC-處方中已查覺的知識-基準資料檔來對各缺陷進行分類。所得到的結(jié)果在結(jié)束時又被描述成覆查-資料檔。與“學(xué)習(xí)處方”-按鈕26的操作有關(guān)的主題將詳述于下。ADCHP-學(xué)習(xí)模式顯示成一種非-模式對話。使用者必須在8個依序的步驟中(即，8個頁面上)輸入所需的資料或選取資料檔。最后的頁面只是ADCHP-學(xué)習(xí)的結(jié)果。于此，使用者可藉由<Back>和<Next>-按鈕30，31(精靈風(fēng)格)在實際的狀態(tài)允許下到達先前的步驟或到達下一個步驟(參閱圖5)。通常，各別頁面的顯示是與使用者等級(level)無關(guān)。其它使用者介面-元素(其只在發(fā)展-使用者等級時可看見)則是例外(即，與使用者等級有關(guān))。這些元素只在發(fā)展-相位時可被看見且在釋放(Release)-版本時去除或通常對全部的使用者等級都是不可看見的。圖5顯示此學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者呼叫此頁面且因此打開一輸入資料檔34，即，設(shè)定一種覆查-資料檔。此頁面33稱為“OpenInputFile”。頁面33上顯示此資料檔(無路徑)。利用一種開檔(FileOpen)-按鈕35，則對此資料檔輸入時的使用者而言可顯示各種目錄。當一種輸入檔已確定時，此輸入檔暫時地打開，但視訊控制臺-順序機(sequencer)不起動。使用此檔“EasyADCLearn.vsl”以硬(hard)編碼成原檔(scriptfile)。由已開啟的檔讀出第一晶圓的批次特征(Lotld)-，晶圓特征(Waferld)-，步驟特征(Stepld)-和設(shè)定特征(Setupld)所需的資料。此檔然后又被關(guān)閉?？赡艿臉藴?調(diào)整(例如，自動起始)與此過程無關(guān)或又設(shè)定成原來狀態(tài)。藉由一種取消-按鈕39，則使用者可使此過程中斷。圖6是學(xué)習(xí)模式的另一種頁面38，使用者呼叫此頁面且因此對一種處方檔“RecipeFile”給予一種名稱。此頁面33稱為“RecipeFile”。返回(Back)-按鈕30的操作在頁面38中不允許。當選取一種有效的輸入檔37時，下一(Next)-按鈕31的操作是允許的。利用一取消(Cancel)-按鈕39，則使用者可使ADCHP學(xué)習(xí)模式中斷。LeicaADCHP處方檔顯示在編輯盒40中。先前已讀出的名稱成份依據(jù)原版而相組合且顯示所形成的檔名(最后的部份是“.vsl”)。各名稱成份藉由“_”符號(底線)來隔開。所形成的資料檔名中不適當?shù)淖帜副蝗コ疫B字符以底線來取代。使用者亦可依據(jù)其預(yù)設(shè)情況來改變各個已預(yù)設(shè)的名稱(全部或一部份)。使用“Kopie”中的此檔“EasyADCRun.vsl”(已完成硬編碼)作為結(jié)果處方檔(ResultRecipeFile，ADC-運行時的流程控制-資料檔)用的原件。頁面38包含多個檢查盒41，42，43和44。各檢查盒41，42，43和44用來決定各名稱的成份。因此，使用Lotld，Stepld和Setupld作為內(nèi)定的資料檔。所形成的檔名(不是以“vsl”作為結(jié)尾)亦可作為其它資料檔(自動對準-，焦點設(shè)定-檔等等)用的原版。結(jié)果-資料檔(Result-Dtaen-File)通常以與輸入檔相同的名稱，相同的格式以及以標準-結(jié)果-目錄來描述。當選取至少一名稱成份時，則允許使用該返回(Back)-按鈕30和該下一(Next)-按鈕31。亦允許使用該取消(Cancel)-按鈕39。圖7顯示該學(xué)習(xí)模式的頁面50，其上指出ADC知識基準-資料的使用者。此頁面50標示成“ADCBasicData”。在稱為“StructureType”的選取欄51中使用者可在記憶體”Memory”和邏輯電路”Logic”之間進行選擇。另一種選擇“空白的未結(jié)構(gòu)化的晶圓”(BareWafer)亦是可能的。為了決定ADC運行-模式(重復(fù)-或隨機-模式)或自動對準模式(一般的自動對準或空白晶圓對準)，則可對應(yīng)于此種選擇來進行。內(nèi)定-設(shè)定是在邏輯電路“Logic”上進行設(shè)定。在另一個稱為“LayerType”的選取欄52中，使用者可選擇”是否在晶圓上施加一種層或多個層(“Layer”)。同樣，令人感興趣的是哪些層將施加在晶圓上。無光阻以“w/oResist”來表示，光阻以“withResist”來表示(參閱圖7)。光阻或其它層施加在晶圓上或半導(dǎo)體基板上?！鳖A(yù)選或內(nèi)定設(shè)定”“時是”w/oResist”。在下一個可能的設(shè)定方式中，使用者可選取一種層形式。聚合物層以“Poly”來表示，氧化物層以“Oxid”來表示，接觸區(qū)以“Contact”來表示，金屬層以“Metal”來表示。同樣，可選取各種不同的層的施加流程。因此，例如，氧化物(Oxid)層可在聚合物(Poly)層之前即施加而成，這是以“BeforePoly”來表示。層形式“金屬”被選取時使用者可在單一的金屬層(Metal1)，雙重的金屬層(Metal2)和n-重的金屬層(n-Metal)之間進行選擇?！笆欠翊嬖谥环N主層或一種下級層”是用來決定該隨機模式和聚焦形式。層的內(nèi)定設(shè)定項是”Poly”，在“Oxid”時是BeforePoly“且在Metal”時是“Metal1”。氧化物-和金屬-下層-無線電盒只有在“Oxid”或“Metal”事先選取時才會被驅(qū)動，否則其即顯示成未受驅(qū)動(inactive)。在下一選取欄53中，使用者可選取照明模式“illuminationmode”。稱為BF的亮場，稱為UV的紫外線和稱為DUV的深(Deep)UV等等所在的無線電盒都可由使用者來使用。在表列(List)盒54中可供使用的物鏡顯示予使用者，其中只顯示這些適合于已選取的ADC-型式的物鏡。就內(nèi)定設(shè)定項而言，選取亮場“BF”且建議一種具有100倍-或更小的放大率的物鏡。下表(表I)顯示出一依據(jù)所選取的資料而形成的焦點-設(shè)定。<tablesid="table1"num="001"><tablewidth="733">層/ADC-型式聚焦-型-式TV-聚焦時的偏移值聚合物TV-聚焦400聚合物-光阻TV-聚焦0聚合物前的氧化物激光-聚合物-光阻前的氧化物TV-聚焦0聚合物后的氧化物TV-聚焦2000聚合物-光阻后的氧化物TV-聚焦2000接觸區(qū)激光-接觸區(qū)-光阻激光-金屬1TV-聚焦1500金屬1-光阻TV-聚焦0金屬2TV-聚焦1800金屬2-光阻TV-聚焦0n-金屬TV-聚焦2500n-金屬-光阻TV-聚焦0</table></tables>在TV-聚焦時，使用“TV-Focus(聚焦)Flexible2”的內(nèi)定值。返回-按扭30，下一-按鈕31和取消-按鈕39在本視窗中是允許的。當壓下<Next>按鈕31時，不能看見ADCHP-Dialog。產(chǎn)生“EasyADCLeran”-檔的復(fù)制檔且調(diào)整一些特定的動作(自動對準)和資料(攫取設(shè)定)。對“EasyADCRun.vsl”-檔(稍后的ADCRunRecipe)的已取名稱的復(fù)制檔來進行相同的變化。輸入檔以已調(diào)整的原檔來載入且起動VisconNT-順序機。此檔自動地處理直至選取晶圓為止。使用-且顯示此標準-晶圓選取-對話(Dialog)。依據(jù)標準方式來選取全部的現(xiàn)存的晶圓(EasyADC原檔(ScriptFile)中的內(nèi)定設(shè)定項)。圖8是學(xué)習(xí)模式的一種頁面60，使用者藉此可進行此學(xué)習(xí)以及進行一種自動-或至少半自動的對準。頁面80稱為“AlignmentProcedure”。在確認已由使用者來進行晶圓-選取之后，載入第一晶圓且對此檔進行處理直至自動對準為止。依據(jù)晶圓上已存在的各層的設(shè)定，以起動該相對應(yīng)的自動對準的學(xué)習(xí)模式(半自動對準或稍后的空白晶圓對準)。使用者可進行一種人工的二點式對準，其中使用者只以人工來對準最初的點(桌面的運行是藉由搖桿或藉由鼠標-雙按鍵(click)而在LiveVideo圖像中進行)且須予以確認。在第一點的學(xué)習(xí)期間，須儲存自動對準-檔所需的自動資料。每一個對準點以三種不同的物鏡放大率來進行學(xué)習(xí)，其中放大率最大的物鏡藉由選取而預(yù)設(shè)在頁面50(ADC基本資料)上。第二點已自動地依據(jù)第一點的已儲存的資料來學(xué)習(xí)且對準。已選取的ADC-物鏡通常由軟體來預(yù)設(shè)。須使用此物鏡，此乃因其對稍后的光調(diào)整(已使用的方法對準點)而言是需要的。若在第二對準點上未發(fā)現(xiàn)已設(shè)定的第一點的學(xué)習(xí)結(jié)構(gòu)，則第二點須圍繞一晶粒(Die)而“移動”至晶圓的中央點且在該處又須對該結(jié)構(gòu)進行搜尋。在該對準被一種誤差中斷之前，第二點最多可圍繞6個晶粒而“移動”。在此種情況下，一種指示-視窗顯示予使用者，此指示-視窗指出該對準已中斷且晶圓須卸下。在該對準結(jié)束之后，視訊控制臺-順序機暫停(EasyADC原檔(ScriptFile)中已形成的暫停動作(無”信息盒-顯示”))，ADCHP-對話又可看見且顯示出下一頁面。當該對準在進行時或由一種誤差所中斷時，則不允許下一-按鈕31按下。對該對準已成功時，則允許下一-按鈕31按下。取消-按鈕39是允許的且使整個ADCHP學(xué)習(xí)模式中斷。圖9是學(xué)習(xí)模式的一種頁面70，使用者藉此可進行一種自動的光調(diào)整。此頁面稱為“光對準(LightAlignment)”。在壓下一種“PerformAutomaticLightadjustment”-按鈕71之后，隨機選取一特定數(shù)目的點(缺陷由資料檔而來)。若存在一種數(shù)值資訊，則只選取不大于視訊圖像-寬度和-高度的25％的這些缺陷。這些缺陷被驅(qū)動且攝取一些圖像?！盁袅炼取?起始值依據(jù)柱狀圖評估值來決定且在顯微鏡上調(diào)整。這表示亮度須向下調(diào)整，使缺陷圖像不會發(fā)生“過控制(overcontrolled)”?，F(xiàn)有的全部的彩色通道都可用來進行此項探討且以相對應(yīng)的方式來調(diào)整。然后，進行一種自動的光調(diào)整。完成之后已獲得的資料儲存在知識基準-資料檔中。標準方式是使用20點(缺陷)來決定”起始值”，且使用此光調(diào)整的”對準”-方法。頁面70上顯示一種狀態(tài)盒72“ProgressControlBox”和一種資訊盒73“Read-OnlyEditBox”。在自動的光調(diào)整”LightAdjustment”期間其進展情況顯示在狀態(tài)盒72中。狀態(tài)本文(text)在完成時或在失敗時顯示在資訊盒73中。當進行光調(diào)整時該返回-按鈕30不允許按下。當光調(diào)整已停止時允許該返回-按鈕30按下。晶圓被卸下且顯示此頁面50“ADCBasicData”。當光調(diào)整已成功時，允許下一按鈕31按下。當進行該光調(diào)整時，允許該取消-按鈕按下，且因此使已打開的全部的資料檔關(guān)閉且去除。圖10是學(xué)習(xí)模式的一種頁面80，使用者藉此可使偵測參數(shù)的設(shè)定達成最佳化。此頁面80稱為“OptimizeADCDetection”。藉由一種稱為“StartOptimization”的按鈕81，以起動此過程。此最佳功能應(yīng)確保焦點設(shè)定用的標準值和偵測參數(shù)作用在所選取的晶圓上。若情況不是如此，則使用者仍可再一次使已預(yù)設(shè)的標準值改變。在壓下該按鈕81之后，使視訊控制臺-順序機起動，選取-且起動各缺陷，以及進行圖像的攝取。按鈕81上的本文改變成“StopOptimization”。圖像攝取時的進展情況顯示在狀態(tài)盒82中。使用者可藉由重新壓下此按鈕來中斷此過程。若已攝取所需的全部圖像，則這些圖像在下一次對話(Dialog)中在下一次顯示時以極小物件的形式而顯示在熒幕上。使用10個缺陷(已完成硬編碼)來進行最佳化。藉由登記-載入或發(fā)展-使用者等級，則可使此數(shù)目改變。當偵測-最佳化進行時，不允許壓下該返回-按鈕30。當偵測-最佳化進行時，不允許壓下該下一-按鈕31。當偵測-最佳化進行時，不允許壓下該取消-按鈕39。藉由壓下<StartOptimization>-按鈕81，則視訊控制臺-順序機又起動，按鈕本文改變成“StopOptimization”且選取實際晶圓的一預(yù)設(shè)數(shù)目的缺陷。起動各缺陷且因此觸發(fā)一種特殊的ADC-動作(action)。此動作中須攝取圖像，在一已發(fā)展完成的ADC-例行路徑(routine)上偵側(cè)各缺陷且暫時儲存著各圖像直至全部圖像的攝取動作已完成時為止。此過程的進展情況藉由狀態(tài)盒來顯示。在圖像攝取期間，使用者可藉由重新壓下按鈕來中斷此過程。圖11顯示多個顯示在顯示器11上的極小物件911，912，913，…，91n。若已攝取全部的圖像，則ADCHP-Dialog以不可見的方式而進行切換且圖像顯示在極小物件-對話(Thumbnail-Dialog)90中(整個圖像顯示在熒幕上)。在此一時間點時該視訊控制臺-順序機會暫停。極小物件-對話90基本上劃分成第一區(qū)91，第二區(qū)92，第三區(qū)93和第四區(qū)94。第一區(qū)91包括水平的表列，其中極小物件911，912，913，…，91n以偵測標記和缺陷特征(Defect-1d)來顯示。此時所選取的圖像最多以640×480圖像點的解析度而顯示在第二區(qū)92中。若此圖像存在，則各參考圖像會縮小而顯示在第三區(qū)93中。藉由缺陷圖像下方的鼠標按鍵，游標觸控及/或瀏覽-按鈕95，則可使實際的圖像選擇改變。缺陷標記可經(jīng)由<HideDefectDetection>-按鈕96來消除且又可再導(dǎo)入。瀏覽-按鈕95用來選取且顯示下一個-或前一個缺陷圖像。<HideDefectDetection>-按鈕96以一種雙態(tài)觸變鈕(togglebutton)來形成，且因此使偵測標記能以可見-或不可見的方式來切換。FocusDifference-Defect/Reference按鈕97可顯示一種信息盒86(參閱圖12)。在確認時已選取的缺陷圖像(和已存在的參考圖像)須舍棄，即，由顯示器中消除。若已舍棄的不完美圖像“BadFocus-Bilder”超過內(nèi)部門限值(內(nèi)定30％)，則須使聚焦值改變(即，由激光切換至TV-聚焦或以500納米的步進值使TV-聚焦-偏移值改變)。各缺陷然后重新起動且接收各種資料。于此，關(guān)閉上述的極小物件-對話(ThumbnailDialog)90且在掃描過程中ADCHP-Dialog又顯示出來。一種WrongDefectDetection-按鈕86可使已選取的圖像的偵測門限值重新被決定。于此，顯示一種新的對話80(參閱圖10)。一種更新(Refresh)-按鈕可使表列中全部圖像的門限值的平均值被求出，且全部的偵測都以此平均值來重新計算。然后重新構(gòu)成該表列?！癆utothreshold”(＝1)的圖像不考慮用來求得該平均值。一種內(nèi)定(default)-按鈕88可使全部圖像的偵測參數(shù)的全部的變化被消除。該表列以原來的值來重新構(gòu)成。以一種Apply-按鈕89來結(jié)束此對話，計算該門限值的平均值且此平均值用作廣域的(global)偵測參數(shù)?！癆utothreshold”(＝1)的圖像不考慮用來求得該平均值。結(jié)束此最佳對話(Optimize-Dialog)，ADCHP-Dialog又以可見的方式而切換且新的總偵測門限值載入上述的知識-基準中。該取消(Cancel)-按鈕39關(guān)閉該最佳對話(Optimize-Dialog)而使ADCHP-Dialog又顯示出來。全部的改變已舍棄。.圖13是一種改變敏感性-對話(ChangeSensitivityDialog)100的圖解。此對話100用來獲得已選取的缺陷圖像的偵測-敏感性“Detection-Threshold”的最佳設(shè)定。此缺陷圖像101在中央處以所屬的偵測門限值顯示在對話100中。若藉由先前的設(shè)定(在頁面50“ADCBasicData”上)而間接地使用自動偵測門限值，則此時設(shè)定一種50％的值。利用二個按鈕102可使偵測的敏感性下降或提高。顯示在中央的缺陷圖像101以目前所選取的敏感性來顯示該偵測的特征值。此值顯示在該偵測圖像101中。一已縮小的圖像103在左方又出現(xiàn)在該缺陷圖樣101旁且顯示出敏感性已變小時此偵測的變化。同樣，一已縮小的圖像103在右方又出現(xiàn)在該缺陷圖樣101旁且顯示出敏感性已提高時此偵測的變化。藉由鼠標按鍵來點選一已縮小的圖像或藉由圖像下方按鈕102的下壓，則實際的敏感度會改變成此值且此圖像現(xiàn)在顯示在中央。然后對左方和右方的變化重新進行計算。一種<HideDefectDetection>-按鈕105以一種雙態(tài)觸變鈕(togglebutton)來形成。上述的偵測標記能以可見-或不可見的方式來切換。一種稱為“敏感度步級大小(SensitivityStepSize)”的滑動尺106在操作該按鈕102時用來使敏感度的變化值的大小改變。一種刪除影像(DeleteImage)-按鈕107用來舍棄其它評估用的缺陷。此缺陷由最佳-對話(Optimization-Dialog)的表列中去除。然后結(jié)束此對話且使用者到達先前的對話。圖14是視窗10的圖解，其對使用者發(fā)出一種警示。若已舍棄的“錯誤偵測”(WrongDetection)圖像超過內(nèi)部門限值(內(nèi)定30％)，則(自動)選取且驅(qū)動新的缺陷以及接收各種資料。一種Apply-按鈕107起始此種應(yīng)用。圖15是采用新的偵測門限(threshold)值時一種指示視窗110的圖解。此指示視窗對使用者指出藉由采用新的偵測門限值，則其它全部圖像的偵測亦可改變。藉由最佳-對話90中<Refresh>-按鈕87的下壓，則新值可用在其它全部的圖像中。藉由<YES>-按鈕111的確認，以采用中央圖像顯示區(qū)的偵測門限值且使用者又到達先前的對話100。藉由對話100中該取消-按鈕39改變(Change)的操作以舍棄全部已進行的改變且使用者又到達先前的最佳-對話90(參閱圖11)。圖16是學(xué)習(xí)模式的一種頁面，使用者藉此頁面可使一種知識-基準自動產(chǎn)生。利用一種開始收集資料(StartCollectingData)-按鈕121，以接收全部已選取的晶圓的全部缺陷的所需的全部資料且儲存著。此狀態(tài)在狀態(tài)盒122和資訊盒123中顯示予使用者。資訊盒123中顯示仍將“處理”的缺陷的全部數(shù)目(例如，“750”中的“267”)。當資料接收-過程在進行時，該返回-按鈕30的操作是不允許的。當資料接收-過程在進行時，該下一-按鈕31的操作同樣是不允許的。當資料接收-過程在進行時，該取消-按鈕39的操作是不允許的。然后，當該取消-按鈕39的操作已允許時，則所有已打開的資料檔關(guān)閉且清除。上述的流程如下視訊控制臺-順序機又起始且選取一輸入檔的全部的缺陷。在第一步驟中，使晶圓上的缺陷受到驅(qū)動，攝取圖像，產(chǎn)生各描述符且各描述符在ADC-Result-Daten中儲存在缺陷上。此缺陷的圖像藉由下述的設(shè)定來儲存著·“WritetoArchiveFile”(寫入至原檔中)·“AllImages”(全部的圖像)·“ImageCompression”(圖像壓縮)是·“Leica-ImageStore”(Leica-圖像儲存)否在第二步驟中，視訊控制臺-順序機暫停在籃形(Basket)平面上(在該輸出檔儲存之前)。在第三步驟中產(chǎn)生多個由描述符的集合所形成的組(“預(yù)組合(Pregrouping”))。在第四步驟中，此預(yù)組合試圖只產(chǎn)生最多20組。少于2個范例的這些組被舍棄。這樣所造成的組暫時復(fù)制至知識-基準中，其中每一組的缺陷碼和”缺陷描述”第一次”被連續(xù)編碼”(1，2，3…或EasyClass1，EasyClass2，EasyClass3，…)。在第五步驟中顯示一種對話130以對缺陷進行劃分(“DefectCodeMapping”)(參閱圖17)。此種“DefectCodeMapping”-對話130基本上以第一視窗131，第二視窗132，第三視窗133和第四視窗134來顯示。第一視窗131中對每一在第四步驟中所產(chǎn)生的組顯示一種分類-圖像(icon)。第二視窗132中，已選取的組的新的第一例的圖像顯示在極小物件-顯示區(qū)中。在第三視窗133中顯示實際的缺陷碼-表(table)。藉由選取一缺陷碼且壓下一<Map>-按鈕135，使此碼對應(yīng)于已選取的種類。使此種類的圖像改變，此時此圖像會獲得一種綠色的鉤符號136且顯示相對應(yīng)的缺陷碼-本文。此種劃分“Mapping”亦可藉由缺陷碼-表中的一種雙按鍵的點選來進行。藉由壓下<DeleteGroup>-按鈕137，則實際上已顯示的組即被標示成“即將消除”。相對應(yīng)的分類-圖像會收到一種紅色的“×”號138。一種稱為“OptimizeImageDisplay”的雙態(tài)觸變鈕139在壓下狀態(tài)下可使缺陷標記周圍的區(qū)段以范例圖像的原來大小顯示出。若一范例圖像中此缺陷標記太大，則此顯示區(qū)不必改變。藉由重新壓下雙態(tài)觸變鈕139，則可使整個圖像顯示又變小。當全部的缺陷組(group)已處理(即，已作成圖像或標示成待消除的缺陷)時，則操作一種施加(Apply)-按鈕129是允許的。在第六步驟中，藉由確認以試圖使每一已成像的組(不是用作待消除的已標記的組且已舍棄)的各別的范例的數(shù)目減少。這是需要的，因此使具有很多缺陷的特定的組不會占有知識-基準的大部份且缺陷較佳是屬于此種類型。此結(jié)果在知識-基準中被采用，使用者于是到達ADC學(xué)習(xí)模式。在圖18所示的指示-對話140的顯示器11上操作該取消-按鈕39。在操作此<YES>-按鈕141之后，此劃分(“Mapping”)和整個ADC學(xué)習(xí)模式即中斷。圖19是起始一種ADC-運行“ADC-Runs”用的對話150的圖解。利用一種StartADCRun-按鈕151，則在壓下此按鈕151之后，已選取的晶圓的全部缺陷的分類即成為”離線”(offline，即，不必重新驅(qū)動)。此種分類是藉由實際的ADC-知識基準來達成。對話150包括一種狀態(tài)盒152和一種資訊盒153。藉由狀態(tài)盒153可顯示仍將分類的缺陷的總數(shù)(例如，“750個中的123個”)。當離線式(Offline)ADC運行時，操作該返回一按鈕30是不允許的。當離線式(Offline)ADC運行時，操作該下一-按鈕31是不允許的。同樣，當離線式(Offline)ADC運行時，操作該取消-按鈕39是不允許的。當全部已打開的資料檔關(guān)閉且清除時，則操作該取消-按鈕39是允許的。當下一-按鈕31壓下時，該順序機又起動。寫入該結(jié)果(Result)-資料檔且該順序機自動結(jié)束，此時全部已打開的資料檔關(guān)閉。圖20是一種完成(Finish)-對話160的圖解。一輸出檔設(shè)有一資訊盒161。此資訊盒161用來顯示已儲存的資料檔，只顯示檔名。EasyADCVSL檔同樣顯示在Read-OnlyEditBox162中。在資訊盒162中顯示已產(chǎn)生的“ADC-Run”檔，只顯示檔名。完整的路徑顯示在頂部(Tooltip)中。全部缺陷(TotalDefects)的數(shù)目顯示在資訊盒163中。資訊盒163中可讀出全部缺陷的總數(shù)。已發(fā)現(xiàn)的缺陷(DefectsDetected)顯示在資訊盒164中。以百分比來顯示的缺陷的再偵測(Redetection)同樣顯示在資訊盒166中。然后，顯示出以ADC方式所偵測的缺陷的絕對數(shù)目和百分比。LED149以彩色方式顯示“該百分比的值是否超過一已預(yù)先定義的值”。若此百分比的值超過一已預(yù)先定義的值，則LED149發(fā)出綠光，否則LED149發(fā)出紅光。已分類的缺陷(DefectsClassified)的數(shù)目顯示在讀出(Read)-資訊盒165中?？煞诸惖娜毕?Classifiability)的百分比的值同樣顯示在資訊盒167中。然后，顯示出以ADC方式所分類的缺陷的絕對數(shù)目和百分比。LED148以彩色方式顯示”該百分比的值是否超過一已預(yù)先定義的值”。若此百分比的值超過一已預(yù)先定義的值，則LED148發(fā)出綠光，否則LED149發(fā)出紅光。藉由操作一種報告(Report)-按鈕147而顯示一種報告-對話170(圖21)，其與使用者有關(guān)。只由使用者等級”工程師”來顯示一種已擴大的報告。一種完成(Finish)-按鈕146操作所達成的結(jié)束是允許的。此種報告-對話170與使用者有關(guān)。圖21是一種報告(Report)-對話170的圖解，其中資料在資訊盒171中已擴大地顯示出。已顯示的資料是檔資訊(P)輸出檔名(+路徑)，處方資訊(P)，ADCHPRecipe(處方)檔名(+路徑)，知識-基準檔名(+路徑)，自動對準檔名(+路徑)，聚焦型“激光”或具有攫取設(shè)定(GrabSetup)檔名(+路徑)的“視訊(VIDEO)”，知識庫資訊(A)(P)，已使用的物鏡，已使用的對比方法，聚焦型式，已使用的孔徑，已使用的光強度，統(tǒng)計資訊(P)，晶圓的數(shù)目，缺陷的總數(shù)，已分類的缺陷的數(shù)目，ADC種類的數(shù)目，每一種類中的缺陷(以矩陣形式表示)，以絕對數(shù)目/百分比表示的已偵測的缺陷的數(shù)目，以絕對數(shù)目/百分比表示的已分類的缺陷的數(shù)目，每一ADC-缺陷種類(P)的分類的數(shù)目，性能(performance)資訊(A)(P)，準確性，純度，混淆矩陣(A)(P)以及缺陷表列(A)。已分類的表包括每一資料組中的以下的資料槽(s1ot)數(shù)，事件(Event)數(shù)，人工分類，ADC-分類以及具有信任(Confidence)值的ADC-分類。因此，只發(fā)出最初三百個登入項。(A)表示這些資料只在已擴大的報告中才可看到。(P)用來表示這些資料可印出。上述的報告對話170設(shè)有一種打印(Print)-按鈕171。顯示器11上顯示ADCHPReports的打印預(yù)告。此種打印可由標準印表機來達成。此種打印以橫格式來進行，此乃因在高格式中路徑大部份未完全顯示或印出。圖22是一種已印出的EasyADCReports180的圖解。利用一種SaveAs-按鈕173(參閱圖21)來操作時，則ADCHPReports可儲存成一種本文檔(以TXT作為結(jié)尾)。權(quán)利要求1.一種用在缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法，其特征在于其包括以下步驟選出一種覆查(review)-資料檔，由使用者將參數(shù)和資料輸入至學(xué)習(xí)模式的頁面(50)上，這些參數(shù)和資料是使用者已熟知，起始一種對準-步驟以及一種對光的強度進行調(diào)整的步驟，藉由數(shù)個缺陷的驅(qū)動以自動地對照明的最佳強度進行調(diào)整且情況需要時調(diào)整至最佳的照明，依據(jù)數(shù)個例子來對此偵測進行檢測，其中依據(jù)圖像來使此偵測參數(shù)最佳化，自動對(各)晶圓的全部缺陷進行驅(qū)動，其中須偵測各別的缺陷且一種描述符(descriptor)分配至各別的缺陷，以及對各缺陷的描述符進行分析且進行自動分組。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的學(xué)習(xí)方法，其中參數(shù)和資料的輸入包括半導(dǎo)體基板上已存在的各元件的選取，其中這些元件可以是記憶體電路，邏輯電路，無電阻或有電阻的空晶圓。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的學(xué)習(xí)方法，其中晶圓上各層的參數(shù)或資料包含一種聚合物層，氧化物層，接觸區(qū)或金屬層的說明。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的學(xué)習(xí)方法，其中使用者選取至少一種已使用的物鏡的照明方式以及聚焦方式。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的學(xué)習(xí)方法，其中可選取亮場，紫外線或深紫外線(DUV)作為照明方式。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的學(xué)習(xí)方法，其中內(nèi)定(default)的調(diào)整是使用亮場且物鏡對此亮場具有100倍的放大率。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的學(xué)習(xí)方法，其中進行一種人工的二點式對準，其中第一點以人工方式藉由桌面的運行來對準，在第一點的學(xué)習(xí)期間，須儲存此自動對準-檔所需的自動資料，每一對準點以物鏡的三種不同的放大率來進行學(xué)習(xí)。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的學(xué)習(xí)方法，其中照明的最佳強度的調(diào)整是藉由隨機地(randomly)選取一定數(shù)目的缺陷來達成，隨后對所選取的缺陷進行驅(qū)動且攝取每一缺陷的圖像，其中此照明的亮度的起始值以及此照明的調(diào)整是依據(jù)一種柱狀圖的評估來達成。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的學(xué)習(xí)方法，其中就照明的最佳強度的調(diào)整而言，只需考慮這些不大于視頻圖像-寬度和-高度的25％的缺陷即可。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的學(xué)習(xí)方法，其中考慮二十個缺陷來調(diào)整該照明的強度。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的學(xué)習(xí)方法，其中由晶圓上已自動驅(qū)動的缺陷來攝取圖像且暫時儲存著，直至全部的缺陷的圖像已攝取完成為止。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的學(xué)習(xí)方法，其中全部的圖像已攝取之后，這些圖像以極小物件的形式顯示在顯示器(11)上。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的學(xué)習(xí)方法，其中當多個極小物件超過聚焦時所需的門限(threshold)值時，一些極小物件即須舍棄。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的學(xué)習(xí)方法，其中各缺陷的描述符在分析和自動分組時使各缺陷的已被攝取的極小物件劃分成多個組，顯示器上以極小物件圖的形式顯示出各缺陷的已選取的組的新的第一范例。全文摘要本發(fā)明涉及一種用于缺陷自動分類中以知識為主的資料庫的學(xué)習(xí)方法。依據(jù)本方法，當本系統(tǒng)進行一種自動學(xué)習(xí)模式時，使用者可節(jié)省一系列的登入(entry)，這需要將使用者登入的數(shù)目減少。文檔編號G01N21/88GK1823350SQ200480019987公開日2006年8月23日申請日期2004年6月3日優(yōu)先權(quán)日2003年7月12日發(fā)明者德克·松克森,拉夫·福列德利赫,安德利斯·德爾格,貸特雷夫·修普,西恩·凡露,沃爾夫?qū)だ矢駹柹暾埲?萊卡顯微系統(tǒng)半導(dǎo)體股份有限公司