技術編號：6034014
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體研磨機臺裝置領域，尤其涉及研磨機臺上傳感器的防水罩。 背景技術化學機械研磨是半導體制程中常見的一道工序?；瘜W機械研磨是采用研磨機臺結合研磨液和去離子水對晶圓進行研磨。晶圓滑片探測傳感器主要是用于探測晶圓在化學機械研磨過程中是否有從研磨機臺的研磨頭下滑出。在研磨過程中，如若晶圓從研磨頭下滑出沒有被晶圓滑片探測傳感器探測到，該晶圓便會被研磨機臺的研磨頭或修整頭壓碎，且會影響到正在研磨機臺上研磨的其他晶圓。晶圓滑片探測器位于研磨頭的上方，晶圓...
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