技術(shù)編號：6019908
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,SOG (Spin on Glass)是一種由溶劑與介電質(zhì)混合而成的液態(tài)介電質(zhì)。因為含有SiO2或接近SiO2結(jié)構(gòu)的材料，再加上本身是以旋涂的方式來涂布在芯片的表面，因此稱這種液態(tài)介質(zhì)為“旋涂玻璃”。SOG是一種相當(dāng)簡易的平坦化技術(shù)，因為介電層材料是以溶劑的形態(tài)覆蓋在硅片表面，因此SOG對高低起伏外觀的“溝填能力”非常好，可以避免純粹以CVD法制作介質(zhì)層時所面臨...
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