專利名稱：一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,SOG (Spin on Glass)是一種由溶劑與介電質(zhì)混合而成的液態(tài)介電質(zhì)。因?yàn)楹蠸iO2或接近SiO2結(jié)構(gòu)的材料，再加上本身是以旋涂的方式來(lái)涂布在芯片的表面，因此稱這種液態(tài)介質(zhì)為“旋涂玻璃”。SOG是一種相當(dāng)簡(jiǎn)易的平坦化技術(shù)，因?yàn)榻殡妼硬牧鲜且匀軇┑男螒B(tài)覆蓋在硅片表面，因此SOG對(duì)高低起伏外觀的“溝填能力”非常好，可以避免純粹以CVD法制作介質(zhì)層時(shí)所面臨的孔洞問題。如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)用于旋涂玻璃的旋涂裝置的結(jié)構(gòu)圖，包括源瓶14、出液管道12、以及設(shè)置于出液管道12上的氣泡傳感器13，氣泡傳感器13設(shè)置在源瓶14外側(cè)的上端，安裝在八分之一英寸的出液管道12的上方，并且使得出液管道12穿過(guò)氣泡傳感器13，氣泡傳感器13便可以檢測(cè)到源瓶14中是否還有液體。當(dāng)源瓶14中液位低于出液管道12的下端端口時(shí)，氣泡進(jìn)入到出液管道12中，出液管道12中有氣泡產(chǎn)生，氣泡傳感器13在檢測(cè)到存在氣泡時(shí)出現(xiàn)報(bào)警，于是停止硅片工藝?，F(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)是當(dāng)出現(xiàn)報(bào)警時(shí)，出液管道中已經(jīng)有氣泡，極易造成當(dāng)前硅片涂花；另外，當(dāng)瞬間出現(xiàn)氣泡時(shí)，氣泡傳感器不易感應(yīng)到，以至不能及時(shí)報(bào)警；當(dāng)報(bào)警后，后續(xù)的硅片將需要手動(dòng)取出，更換液源后才可以繼續(xù)工藝，處理起來(lái)會(huì)非常繁瑣，并易造成硅片的人為劃傷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，解決了因?yàn)樾垦b置的源瓶液位低于出液管道的下端端口時(shí)，不能及時(shí)報(bào)警或報(bào)警時(shí)已經(jīng)產(chǎn)生氣泡而導(dǎo)致硅片涂花的問題，且在需要換液時(shí)會(huì)減少人為因素導(dǎo)致的異常，同時(shí)也提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明還提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關(guān)電路和主機(jī)；所述液位傳感器，設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測(cè)源瓶?jī)?nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶?jī)?nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)所述液位傳感器檢測(cè)到所述源瓶?jī)?nèi)液面的高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給所述開關(guān)電路；所述開關(guān)電路，連接所述液位傳感器和所述主機(jī)之間，將所述液位傳感器的輸出信號(hào)關(guān)傳送給所述主機(jī)；所述主機(jī)，用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號(hào)，觸發(fā)報(bào)警。本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明提供的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，在發(fā)出報(bào)警后，出液管道中實(shí)際上還有旋涂玻璃SOG液體，不會(huì)對(duì)當(dāng)前硅片有影響；并且在安裝時(shí)將液位傳感器的設(shè)置高度與液位的報(bào)警高度相匹配，當(dāng)檢測(cè)到所述源瓶?jī)?nèi)液面的高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給開關(guān)電路；再由開關(guān)電路將信號(hào)輸送給主機(jī)，進(jìn)行報(bào)警，本發(fā)明在發(fā)出報(bào)警后，還可以工藝多片硅片，但出液管道中仍然不會(huì)有氣泡產(chǎn)生，這樣方便工程師處理故障，提高了設(shè)備利用率；本發(fā)明減少了手動(dòng)取片可能導(dǎo)致的劃傷等問題，簡(jiǎn)化了制備工藝，節(jié)約了設(shè)備和資材成本。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的SOG旋涂設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明系統(tǒng)實(shí)施例一的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明系統(tǒng)實(shí)施例一的系統(tǒng)控制電路圖；圖4為本發(fā)明系統(tǒng)實(shí)施例二結(jié)構(gòu)剖面圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的目的在于，提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，解決了因?yàn)樾垦b置的源瓶液位低于出液管道的下端端口時(shí)，不能及時(shí)報(bào)警或報(bào)警時(shí)已經(jīng)產(chǎn)生氣泡而導(dǎo)致硅片涂花的問題，且在需要換液時(shí)會(huì)減少人為因素導(dǎo)致的異常，同時(shí)也提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關(guān)電路和主機(jī)；所述液位傳感器設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測(cè)源瓶?jī)?nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶?jī)?nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)所述液位傳感器檢測(cè)到所述源瓶?jī)?nèi)的液面高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給所述開關(guān)電路；所述開關(guān)電路連接所述液位傳感器和所述主機(jī)，將所述液位傳感器的輸出信號(hào)關(guān)傳送給所述主機(jī)；所述主機(jī)用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號(hào)，觸發(fā)報(bào)警。優(yōu)選的，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應(yīng)距離內(nèi)。較優(yōu)的，所述源瓶上設(shè)有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。更優(yōu)的，所述固定板卡套于所述源瓶瓶壁外側(cè)。優(yōu)選的，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外的底座上。較優(yōu)的，所述底座高度可調(diào)。優(yōu)選的，所述液位傳感器的設(shè)置高度比所述出液管道的下端端口高5mm 8mm。較優(yōu)的，所述液位傳感器為電容式接近開關(guān)傳感器或電感式接近開關(guān)傳感器。優(yōu)選的，所述開關(guān)電路包括繼電器，所述繼電器的輸出端與所述主機(jī)連接，其輸入端與所述主機(jī)的公共端連接，兩個(gè)電源端的一端接24V直流電壓，一端接所述液位傳感器的輸出端。下面結(jié)合附圖及實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步進(jìn)行描述，本發(fā)明提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括電容式接近開關(guān)傳感器或電感式接近開關(guān)傳感器，并且通過(guò)將液位傳感器在其感應(yīng)距離內(nèi)設(shè)定合適的高度，用于監(jiān)測(cè)源瓶?jī)?nèi)液面的高度。
如圖2所示，為本發(fā)明系統(tǒng)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖，包括源瓶31及出液管道12，其中，出液管道12 —端伸入到源瓶31的底部位置，用于將源瓶31中的旋涂玻璃SOG液體排出，加工硅片使用。在源瓶31外側(cè)固定設(shè)置一個(gè)底座22，并且將其控制在液位傳感器感應(yīng)距離范圍內(nèi)，底座22的高度可調(diào)，即具有伸縮功能，在底座22的上面設(shè)有液位傳感器21，本實(shí)施例中的液位傳感器21為電容式接近開關(guān)傳感器，通過(guò)調(diào)節(jié)底座22的高度，使傳感器21的高度設(shè)定與達(dá)到液位報(bào)警的高度相匹配，具體將液位傳感器21的高度設(shè)置于高于出液管道12的下端端口 5_ 8mm,當(dāng)源瓶?jī)?nèi)的液體低于液位傳感器21的設(shè)定高度時(shí),液位傳感器21發(fā)出信號(hào)，并通過(guò)開關(guān)電路(參照?qǐng)D3)觸發(fā)主機(jī)(參照?qǐng)D3)報(bào)警。如圖3所示，為本發(fā)明系統(tǒng)實(shí)施例一的系統(tǒng)控制電路圖，液位傳感器I設(shè)置在源瓶31外能有效檢測(cè)源瓶31內(nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且液位傳感器I的設(shè)置高度與源瓶31內(nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)液位傳感器I檢測(cè)到源瓶31內(nèi)液面的高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給所述開關(guān)電路；所述開關(guān)電路連接液位傳感器I和主機(jī)3，將液位傳感器I的輸出信號(hào)關(guān)傳送給主機(jī)3。其中，所述開關(guān)電路包括繼電器2，液位傳感器I有一電源端接地6，另一電源端接24V直流電壓5，繼電器2有四個(gè)引腳，分別為兩個(gè)電源端口及一個(gè)輸出端、一個(gè)輸入端，兩個(gè)電源端的一端接24V直流電壓5，另一端接液位傳感器I的輸出端；其輸出端與主機(jī)3連接，輸入端接主機(jī)公共端4。當(dāng)液位傳感器I檢測(cè)到源瓶31內(nèi)的液面高度低于液位傳感器I的設(shè)定高度時(shí)，電路的穩(wěn)定性改變，由高電平轉(zhuǎn)為低電平，使繼電器2的電源端通電，繼電器2吸合，主機(jī)3與公共端4導(dǎo)通，公共端為低電平，觸發(fā)主機(jī)3報(bào)警信號(hào)。如圖4所示，為本發(fā)明系統(tǒng)的實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)剖面圖，包括源瓶31，將源瓶31設(shè)置于平臺(tái)36上，其中平臺(tái)36設(shè)置于底板32上，源瓶壁的外側(cè)設(shè)有固定板35，連接支架34的上部與固定板35連接，連接支架34的下端與液位傳感器33連接，在液位傳感器33與源瓶31之間設(shè)有隔墊物，防止液位傳感器33與源瓶31接觸，連接支架34起固定液位傳感器33的作用，使液位傳感器33的高度高于出液管道下端端口 5_ 8_，當(dāng)源瓶31內(nèi)的液體低于液位傳感器33的設(shè)定高度時(shí)，液位傳感器33發(fā)出信號(hào)，并通過(guò)開關(guān)電路觸發(fā)主機(jī)報(bào)警。綜上所述，本發(fā)明提供用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，在發(fā)出報(bào)警時(shí)，出液管道中實(shí)際上還有旋涂玻璃SOG液體，也就是出液管道的下端端口并未離開液面，從而不會(huì)產(chǎn)生氣泡，也就不會(huì)使當(dāng)前硅片被涂花；并且可以調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)報(bào)警時(shí)液位高度的液位傳感器的高度，即使出現(xiàn)報(bào)警后，也可以繼續(xù)旋涂多片硅片后，而出液管道中仍然不會(huì)有氣泡；另外，本發(fā)明方便工程師處理故障，提高了設(shè)備利用率，減少了手動(dòng)取片可能導(dǎo)致的硅片劃傷等問題，在提高制備精度的同時(shí)，簡(jiǎn)化了制備工藝，節(jié)約了設(shè)備和資材成本。本發(fā)明是參照根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法、設(shè)備(系統(tǒng))、和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的流程圖和/或方框圖來(lái)描述的。應(yīng)理解可由計(jì)算機(jī)程序指令實(shí)現(xiàn)流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結(jié)合?？商峁┻@些計(jì)算機(jī)程序指令到通用計(jì)算機(jī)、專用計(jì)算機(jī)、嵌入式處理機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備的處理器以產(chǎn)生一個(gè)機(jī)器，使得通過(guò)計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備的處理器執(zhí)行的指令產(chǎn)生用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的裝置。這些計(jì)算機(jī)程序指令也可存儲(chǔ)在能引導(dǎo)計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備以特定方式工作的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中，使得存儲(chǔ)在該計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中的指令產(chǎn)生包括指令裝置的制造品，該指令裝置實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能。這些計(jì)算機(jī)程序指令也可裝載到計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備上，使得在計(jì)算機(jī)或其他可編程設(shè)備上執(zhí)行一系列操作步驟以產(chǎn)生計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的處理，從而在計(jì)算機(jī)或其他可編程設(shè)備上執(zhí)行的指令提供用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的步驟。盡管已描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本發(fā)明范圍的所有變更和修改。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，其特征在于，還包括液位傳感器、開關(guān)電路和主機(jī)； 所述液位傳感器，設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測(cè)源瓶?jī)?nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶?jī)?nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)所述液位傳感器檢測(cè)到所述源瓶?jī)?nèi)的液面高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給所述開關(guān)電路； 所述開關(guān)電路，連接所述液位傳感器和所述主機(jī)，將所述液位傳感器的輸出信號(hào)傳送給所述主機(jī)； 所述主機(jī)用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號(hào)，觸發(fā)報(bào)警。
2.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應(yīng)距離內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述源瓶上設(shè)有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。
4.如權(quán)利要求3所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述固定板卡套于所述源瓶瓶壁外側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外的底座上。
6.如權(quán)利要求5所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述底座高度可調(diào)。
7.如權(quán)利要求2或5所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器的設(shè)置高度比所述出液管道的下端端口高5mm 8mm。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器為電容式接近開關(guān)傳感器或電感式接近開關(guān)傳感器。
9.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)電路包括繼電器，所述繼電器的輸出端與所述主機(jī)連接，其輸入端與所述主機(jī)的公共端連接，兩個(gè)電源端的一端接24V直流電壓，一端接所述液位傳感器的輸出端。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，還包括液位傳感器、開關(guān)電路和主機(jī)；液位傳感器設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測(cè)源瓶?jī)?nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且液位傳感器的設(shè)置高度與源瓶?jī)?nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)液位傳感器檢測(cè)到源瓶?jī)?nèi)的液面高度低于報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給開關(guān)電路；開關(guān)電路連接液位傳感器和主機(jī)，將液位傳感器的輸出信號(hào)傳送給所述主機(jī)；所述主機(jī)用于接收開關(guān)電路傳送的信號(hào)，觸發(fā)報(bào)警。本發(fā)明解決了因?yàn)樾垦b置的源瓶液位低于出液管道的下端端口時(shí)，不能及時(shí)報(bào)警或報(bào)警時(shí)已經(jīng)產(chǎn)生氣泡而導(dǎo)致硅片涂花的問題，且在需要換液時(shí)會(huì)減少人為因素導(dǎo)致的異常，同時(shí)也提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01F23/22GK103041954SQ201110310338
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
發(fā)明者彭亮, 周華強(qiáng), 徐峰, 熊炳輝 申請(qǐng)人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司